Устройство для автоматического управления процессом напыления тонких пленок

О П И С А Н И Е 353595ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Соав Соеотокив Социалистическиа РеспубликКомитет ло деламиэобретеннй и открыт УДК 621.793.14:535. .853,34 (088,8) овете Миннстро СССР Авторыизобретения Д, Забежинский, Л. Б. Кацнельсон, Г. И. Старои Ш. А, фурман аявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОКп Изобретение относится к области пленочной микроэлектроники и может быть применено при создании многослойных интерференционных систем, например фильтров, спектроделителей.Известно устройство для автоматического управления процессом напыления тонких пленок в вакууме, включающее источник оптического излучения, средство монохроматизации, фотоэлектрический приемник, дифференцирующий блок, усилитель и исполнительный орган, Однако с его помощью можно изготавливать только один тип диэлектрических покрытий - узкополосые фильтры; кроме того, оно содержит довольно сложную оптико-механическую систему, обеспечить надежную работу которой в условиях производства трудно, что отрицательно сказывается на точности получения пленок заданной толщины.Для повышения точности получения пленок заданной толщины описываемое устройство содержит делитель числа перемен фазы выходного сигнала усилителя, имеющий регулируемый коэффициент деления и состоящий из задатчика и счетчика числа импульсов и схемы совпадения, соединенной с исполнительным органом, причем усилитель выполнен избирательным с фазочувствительным релейным выходом, а дифференцирующий блок - импульсным с импульсами, следующими на резонансной частоте избирательного усилителя.На фиг. 1 представлена структурная схемаустройства; на фиг. 2 - структурная схема5 делителя числа перемен фазы выходного сигнала усилителя,Устройство состоит из источника оптического излучения 1, средства монохроматнзации 2,фотоэлектрического приемника 3, дифферен 10 цирующего блока 4, усилителя 5, исполнительного органа б, делителя 7 числа перемен фазы выходного сигнала усилителя, содержащего счетчик 8 и задатчик 9 числа импульсов исхему совпадения 10.15 Устройство работает следующим образом,Лучистый поток от источника излучения 1,пройдя через образец 11, на который в вакуумной камере 12 напыляется с испарптелей Иизготавливаемая пленка, направляется в сред 20 ство монохроматизацпи 2, выделяющее лучистый поток с длиной волны Х, на которой производится контроль. Поток вызывает на фотоприемнике 3 сигнал, пропорциональньшпропусканию образца 11. По мере роста тол 25 щины пленки в процессе напыления сигналменяется, достигая экстремальных значенийСоставитель Техред Г исимова Редак Струве тор О. Усова во ина Заказ 1796,1 Изд,1493ЦИИИПИ Комитета по делам изобретенийМосква, М(.35, Рау Подписное Министров СССРТираж 826открытий при Совекая наб., д. 4;5 Сапунов Типография,приемника 3 поступает в дифференцирующий блок 4, с выхода которого снимается сигнал в виде импульсов, следующих с частотой оз и имеющих амплитуду, равную приращению7входного сигнала за время 1= - , причем знак импульса соответствует знаку приращения. Усилитель б, на вход которого поступают импульсы с выхода дифференцирующего блока 4, выполнен избирательным с резонансной частотой го и узкополосым, Вследствие этого в усилителе отфильтровываются шумы и помехи и пропускается только инфранизкочастотный сигнал, модулированный частотой оз. Этот сигнал после демодуляции поступает на релейный элемент на выходе усилителя, переключающийся в моменты перемены знака (фазы) импульсов, снимаемых с блока 4. Это происходит при достижении пленкой толщины, соответствующий экстремальному пропусканию образца с наносимой пленкой. Счетчик 8 считает число перемен фазы и, когда оно станет равным числу и, установленному на задатчике импульсов 9, со схемы совпадения 10 на исполнительный орган б поступает команда на прекращение, подачи напыляемого вещества. Число.п устанавливается на задатчике перед началом напыления пленки; оно показывает во сколько раз требуемая оптическая толщина наносимого слоя больше четверти длины волны, на которой ведется контроль.Отличительным достоинством устройства является возможность подбора условий получе 5 ния числа и путем изменения как длины волны Х, так и номера экстремума, на котором следует прекратить напыление.Наличие селекции сигнала повышает надежность и точность работы всего устройства.10Предмет изобретенияУстройство для автоматического управленияпроцессом напыления тонких пленок в вакууме, содержащее источник оптического излу чения, средство монохроматизации, фотоэлектрический приемник, дифференцирующий блок, усилитель и исполнительный орган, отличаюиееся тем, что, с целью повышения точности получения пленки заданной толщины, оно со держит делитель числа перемен фазы выходного сигнала усилителя, имеющий регулируемый коэффициент деления и состоящий из задатчика и счетчика числа импульсов и схемы совпадения, соединенной с исполнитель ным органом, причем усилитель выполнен избирательным с фазочувствительным релейным выходом, а дифференцирующий блок - импульсным с импульсами, следующими на резонансной частоте избирательного усилителя.