Способ измерения скорости напыления пленок при испарении в вакууме

Номер патента: 560006

Опубликовано: 30.05.1977

Автор: Гольфенштейн

МПК: C23C 13/00

Метки: вакууме, веществ, испарения, скорости

...что поток испаряющихся 1 астиц модулирустся псрсмснцым электрическим полем и измсрястся амплитудноезцачецие частотцо-модулироваццого тока цасышсция электродов эмиттироваццых поверх(остью испарения.Анализ Золы-ампсрцьх характеристик прииспарсции рассматриВПГмых 13 си 1 сст 13 показь 1- 3 ас, 110 Ок иГ 1 и(сци 51 эл(к роцо 3 цабл 10- ДаСТС 51 ПРИ ИИЗКИ.Ц;3 ЦР 1351 ГЦИ 51 Х (ПОР 51;1 К(1100-: 200 В),11 а 1 сп 1 Г)1(с пок 13 и; 30,)можиа 5) схс)1 рса 1) лизации прсдлагасмо: 0 способ(1."ОСт;ТОИОГ Ди ГО)1) 1 Г.,ИЯ т ГК( ИПСЬИ 1 ГЦИ 51гГктроцов.От истОПик); 0 ис 3 С(ки, ии) 1 сц 1 х и;1 П) 5 ЖГ 1 И, МГЖ ") 1 03 ГРХОС ЬО ИСЦ Ь 0(31 И и ИССТКО); И ПИК 11:1.3)ГСЯ а:т)5 ЖГИИГ С (1 СТО 01( а; рЯжс 111 Г р Ск 1 (1) . Э го 1 111) 51 жс560006...

Номер патента: 555278

Опубликовано: 25.04.1977

Авторы: Александров, Голованова, Кацнельсон

МПК: G01B 11/06

Метки: вакууме, испарением, нанесения, оптического, пленок, покрытия, процессе, толщин

...ПЛОСКОСТЬ Г;ЦВНОГО СЕг 1 ЕНИЯРЕШСтКН; ПЕРПЕНДИКУЛЯРНЯЯ К СЕ 1 г 1 т 12 нкам, ОРИЕ 1 П 1.рована под углом 40 50 к падающему световомуПуЧКу ЛуЧЕй, ВХОдНОй ЛЮК ОГрапнг 1 ЕН КраяМИ Иэаб.раженвятела какалаисточника света, а вь 1 ходнойЛЮК ВЬгПОЛНЕН В ВИДЕ ДнафРаГМЫ СРаЗМЕРамн, НЕПрЕВЫШаЮщИМИ ВЕЛНгл 1 НЬ 1 уКаза ЕНОГО ИЗОбражЕНИяв мопохроматическом свете,На чертеже дана схема предлагаемого устройства.Оло содержит источник света 1 (источниксплошного спектра), формирующую оптику,СОСЬящу 1 О из объективов 2,3 и 4, вакуумноплотных фотометрических окон 5 и 6 и фильтра 7, Входе луча внутри формирующей оптики установпе.на диффакционная решетка 8. Плоскость главногосечения решетки, перпендикулярная к ее штрихам,на которых происходит дифракция,...

Номер патента: 1827605

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Волков, Зеленев, Ляшенко, Рекус, Чирков, Шленский

МПК: G01N 25/14

Метки: веществ, газификации, жидких, испарения, скорости

...заданнотеплоносителя с термопаройропитания 12 устройства.Устройство работает следующим зом,Включается блок питания 12 и на тельный элемент 2. Далее с помощью 10 и термопары 11 устанавливается держивается постоянной заданная т ратура теплоносителя 4. При э помощью блока 9 управления пода пель исследуемой жидкости (который навливает интервал времени м моментом подачи очередной капли и м том подачи последующей капли) по сигнал на автоматическую капельницу торая каплю исследуемой жидкости и на поверхность жидкого теплоносите вертикальному штоку электрода 7. По на поверхность теплоносителя 4, капл греваблока и под- емпетом с чи ка- устаежду омендается6, коодает ля по падая я исс1827605 Составитель О.ШленскийТехред М.Моргентал Корректор...

Номер патента: 1099098

Опубликовано: 23.06.1984

Авторы: Готра, Лозинский, Хромяк

МПК: G01B 11/06

Метки: диэлектрической, напыления, пленки, процессе, свидетель, толщины

...в том, что направляют световойпоток на пленку, регистрируют величину интенсивности светового потока,прошедщего через пленку и свидетель,по которой судят о толщине пленки,определяют уровень интенсивности, непропорциональный толщине пленки, и пе 55ремещают скачкообразно свидетель придостижении этого уровня в плоскостиперпендикулярной направлению напыления,На чертеже изображена принципиальная схема устройства, иллюстрирующая способ контроля толщины диэлектрической пленки в процессе напыления ее на свидетель.Устройство содержит источник 1 света, маску 2 фотоприемник 3 и измерительный прибор 4. Индексом 5 обозначен прозрачный свидетель, на который наносят пленку 6.Способ осуществляется следующим образом,Падающий световой поток от источника...

Номер патента: 450344

Опубликовано: 15.11.1974

Авторы: Котенев, Николаев

МПК: H03K 13/20

Метки: вакуумного, вещества, испарения, осаждения, пленки, процессе, скорости

...триггере 7, в троичный триггер 9, который;находится в режиме раздельного запуска, а триггер 7 переходит в,нулевое состояние.Если в момент прихода следующего тактового импульса троичный триггер 7 находитсяв таком же состоянии, как и в момент прихода предыдущего тактового импульса, то состояние троичного триггера 9 не изменяется, и навыходе троичного триггера 9 импульс не возникает.Если же количество импульсов за периодмежду тактовыми импульсами изменяется, например увеличивается на один, то троичныйтриггер 7 перейдет в положение 0. В этомслучае в момент переноса кода,из троичноготриггера 7 в цроичный триггер 9 на выходепоследнего появляется импульсДешифратор10 передает импульс на,вход 11 триггера 13,если в нем находится на один...