Архив за 1996 год

Номер патента: 1037450

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Ковалев, Мотавкина, Шаронов

МПК: A61K 35/14

Метки: ацетилхолинэстеразы, истинной

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИСТИННОЙ АЦЕТИЛХОЛИНЭСТЕРАЗЫ путем отделения эритроцитов крови, гемолизирования их, промывания полученной стромы эритроцитов и центрифугирования, отличающийся тем, что, с целью расширения сырьевой базы, упрощения способа и повышения активности целевого продукта, в качестве источника сырья используют кровь промысловых китов, при этом гемолиз и отмывание стромы эритроцитов проводят подкисленной уксусной кислотой дистиллированной водой при pH 4,5-5,0.

Номер патента: 1713330

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Ившин, Субботин

МПК: F41G 1/16

Метки: оружия, прицел, стрелкового

ПРИЦЕЛ ДЛЯ СТРЕЛКОВОГО ОРУЖИЯ, содержащий основание с установленным в нем подпружиненным целиком с ножевой опорой, размещенной в V-образной прорези регулировочного винта, отличающийся тем, что, с целью повышения точности стрельбы путем обеспечения стабильности положения целика по вертикали, в него введена опорная ось, размещенная в соответствующих соосных отверстиях, выполненных в основании, ножевой опоре и регулировочном винте, причем плоскость симметрии клина ножевой опоры смещена по вертикали относительно оси симметрии торцевой части регулировочного винта, при этом ножевая опора и регулировочный винт установлены на опорной оси с возможностью продольного перемещения, а одна из плоскостей клина ножевой опоры сопряжена с соответствующей...

Номер патента: 1138977

Опубликовано: 27.01.1996

Автор: Эмирбеков

МПК: A61K 38/00

Метки: аминокислот, компенсации, мозге, недостатка

СПОСОБ КОМПЕНСАЦИИ НЕДОСТАТКА АМИНОКИСЛОТ В МОЗГЕ, включающий охлаждение организма и введение аминокислот, отличающийся тем, что, с целью повышения степени проницаемости гематоэнцефалического барьера, после охлаждения организма ему дают возможность самосогревания и после чего осуществляют введение аминокислот.

Номер патента: 682075

Опубликовано: 27.01.1996

Автор: Поляничко

МПК: A61B 17/00

Метки: мочевого, пузыря, резекции

СПОСОБ РЕЗЕКЦИИ МОЧЕВОГО ПУЗЫРЯ путем рассечения стенок пузыря с последующим удалением опухоли, отличающийся тем, что, с целью улучшения абластики и предотвращения имплантационного метастазирования, после рассечения стенок пузыря сшивают между собой края сегмента пузыря, содержащего опухоль, и иссекают его.

Номер патента: 1200580

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Володин, Грибанова, Куклина, Новиков, Челищев

МПК: C22B 3/06

Метки: железомарганцевых, извлечения, конкреций, металлов, цветных

СПОСОБ ИЗВЛЕЧЕНИЯ ЦВЕТНЫХ МЕТАЛЛОВ ИЗ ЖЕЛЕЗОМАРГАНЦЕВЫХ КОНКРЕЦИЙ кислотным выщелачиванием в присутствии восстановителя, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения металлов, в качестве восстановителя используют металлическое железо в количестве 1/3 - 2/3 моль на 1 моль Mn4+, содержащегося в исходных конкрециях, и процесс ведут 20 - 50 мин.

Номер патента: 946121

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Поляченко, Саранча, Снежков

МПК: B64D 33/04

Метки: двигателя, реверса, створками, турбореактивного, тяги

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ СТВОРКАМИ РЕВЕРСА ТЯГИ ТУРБОРЕАКТИВНОГО ДВИГАТЕЛЯ, содержащая двухпозиционный приводной гидроцилиндр, соединенный качалкой со створкой реверса, приводной гидроцилиндр замка, фиксирующий створку в полетном положении, золотниковый кран управления гидроцилиндрами и вал управления золотником крана, связанный с рычагом управления двигателем, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности работы системы путем предотвращения самопроизвольного перехода створки реверса в положение "реверс", в систему введен дополнительный замок фиксации качалки в полетном положении, соединенный с рычагом управления двигателем.

Номер патента: 1089799

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Левинсон, Мазгаров, Павлычев, Фахриев, Хайруллин, Хафизов

МПК: B01D 53/14

Метки: газов, сернистых, соединений

СПОСОБ ОЧИСТКИ ГАЗОВ ОТ СЕРНИСТЫХ СОЕДИНЕНИЙ путем абсорбции их водным раствором этаноламина в присутствии полиалкиленполиаминов, отличающийся тем, что, с целью снижения степени коррозии оборудования и повышения степени очистки, процесс ведут в присутствии N,N-тетраметилдипропилентриамина или N-диметилпропилендиамина или их смесей, взятых в количестве 0,8-8,0% от массы абсорбента.

Номер патента: 1089836

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Бастриков, Бондарев, Коршунов, Мушников, Осокин, Силаев

МПК: B22D 11/00

Метки: веса, заготовки, металлов, многоручьевой, многослойные, полунепрерывной, разливки, разного, удельного

1. СПОСОБ МНОГОРУЧЬЕВОЙ ПОЛУНЕПРЕРЫВНОЙ РАЗЛИВКИ МЕТАЛЛОВ РАЗНОГО УДЕЛЬНОГО ВЕСА В МНОГОСЛОЙНЫЕ ЗАГОТОВКИ, включающий первоначальную подачу жидкого металла в приемный кристаллизатор сверху, а в остальные кристаллизаторы - из приемного кристаллизатора через разводку снизу, формирование в кристаллизаторах корок затвердевшего металла до заданной толщины и периодическое вытягивание заготовок из кристаллизаторов, отличающийся тем, что, с целью повышения качества многослойных заготовок, осуществляют последовательную подачу металлов с разным удельным весом, выдержку каждого металла до образования корок заданной толщины, последующее вытеснение жидкого металла порцией другого металла, повтор этих операций до получения требуемого количества слоев...

Номер патента: 1089873

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Макатун, Маковецкий, Мацепуро, Наумова, Носов, Чалей, Шульман

МПК: B23Q 3/15

Метки: крепления, поле, электрическом

СПОСОБ КРЕПЛЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ В ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕ, включающий размещение закрепляемых деталей на опорной поверхности электростатического зажимного устройства с нанесением на эту поверхность электровязкой жидкости, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей и повышения надежности крепления, на поверхность закрепляемых деталей, обращенную к опорной поверхности электростатического зажимного устройства, наносят пленку антистатического лака типа АСЛ-31 - АСЛ-36 и подвергают сушке при 18 - 30oС в течение 15 - 25 мин.

Номер патента: 1090083

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Барсуков, Блиндерман, Кисельгоф, Костюченко, Михайлов, Рябиков

МПК: F02C 9/00

Метки: подачей, топлива, электронно-гидромеханическая

1. ЭЛЕКТРОННО-ГИДРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА РЕГУЛИРОВАНИЯ ПОДАЧЕЙ ТОПЛИВА дозатором в газотурбинный двигатель, содержащая гидромеханический регулятор и по крайней мере два электронных канала регулирования, а также устройства контроля, связанные своими входами с дополнительными выходами электронных каналов, электронный селектор и электрогидравлический переключатель, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности, она содержит электронные ключи, логическую схему И и гидромеханический селектор, причем основные выходы электронных каналов регулирования через электронные ключи связаны с входами электронного селектора, а выходы устройств контроля соединены с управляющими входами соответствующих электронных ключей, с дополнительными входами...

Номер патента: 1811658

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Баранов, Макарычев

МПК: B21C 25/02

Метки: матрица, правки, пресс-изделий, прессования

МАТРИЦА ДЛЯ ПРЕССОВАНИЯ И ПРАВКИ ПРЕСС-ИЗДЕЛИЙ, содержащая корпус с калибрующим очком и соосно примыкающую к нему направляющую втулку с выходным каналом, профиль поперечного сечения которого подобен профилю калибрующего очка, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества получаемых пресс-изделий и повышения производительности процесса, направляющая втулка со стороны калибрующего очка имеет пологую кольцевую выточку криволинейного сечения с соотношением ширины и глубины, равным 3 - 7.

Номер патента: 1616037

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Бадеева, Бескопыльный, Иванов, Калашников, Клюев, Крохина, Лоскутов, Митрохин, Платова, Фридланд

МПК: C01B 25/165

Метки: гипофосфита, натрия

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГИПОФОСФИТА НАТРИЯ на основе элементарного фосфора, отличающийся тем, что, с целью снижения токсичности и создания безотходного способа за счет рецикла выделяющего в процессе реакции гидроксида - оксиэтилтриметиламмония, элементный фосфор подвергают взаимодействию с гидроксидом - оксиэтилтриметиламмония и водой при молярном соотношении реагентов соответственно 1 : (5 - 6,5) : (8 - 30) в среде растворителя при температуре 40 - 80oС с последующей обработкой реакционной массы эквимолярным количеством гидроксида натрия.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве...

Номер патента: 811543

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Галяутдинова, Кашеваров, Мазгаров, Окружнов, Фахриев, Якушкин

МПК: B01D 53/14

Метки: абсорбент, газов, сернистых, соединений

АБСОРБЕНТ ДЛЯ ОЧИСТКИ ГАЗОВ ОТ СЕРНИСТЫХ СОЕДИНЕНИЙ на основе водных растворов N-диметилпропилендиамина, отличающийся тем, что, с целью повышения его сорбционной емкости по меркаптанам, он дополнительно содержит фракцию жидких углеводородов с т. кип. 110-320oС при следующем соотношении компонентов, мас.%:N-Диметилпропилендиамин - 5-50Вода - 0,1-5Фракция жидких углеводородов с т. кип. 110-320oС - Остальное

Номер патента: 1814797

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Баранов, Макарычев

МПК: B22F 3/20

Метки: полунепрерывного, прессования, сплавов, титановых, шихтовых

1. СПОСОБ ПОЛУНЕПРЕРЫВНОГО ПРЕССОВАНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ШИХТОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ, включающий засыпку шихты порциями в конусную матрицу, прессование и проталкивание изделия через матрицу шайбой с пресс-штемпелем за один проход, отличающийся тем, что перед засыпкой порции шихты очередного изделия через матрицу проталкивают калибр в виде диска, имеющий нижнюю и верхнюю плоскости, соответствующие требуемой форме торцов изделия, и выточку на цилиндрической боковой поверхности, причем диск выполняют с диагональю поперечного сечения, равной диаметру прессованного изделия.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что используют составной калибр из отдельных сегментов весом 3 - 10 кг.

Номер патента: 1387553

Опубликовано: 27.01.1996

Автор: Железнов

МПК: E21C 50/00

Метки: добычи, ископаемых, подводной, полезных, твердых

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДВОДНОЙ ДОБЫЧИ ТВЕРДЫХ ПОЛЕЗНЫХ ИСКОПАЕМЫХ, включающее подъемную трубу с механизмом для перемещения полезного ископаемого, отличающееся тем, что, с целью повышения КПД, механизм для перемещения полезного ископаемого выполнен из трубных и шаровых секций, при этом шаровые секции соединены между собой посредством троса, причем каждая трубная секция выполнена в виде контура линейного электродвигателя, внутри которого расположены шаровые секции, а подъемная труба выполнена замкнутой.

Номер патента: 690766

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Бибик, Богайчук, Ляшко, Северин

МПК: B64D 9/00, B66C 19/00

Метки: аппарата, выгрузки, грузов, летательного, отсеки, погрузки

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОГРУЗКИ И ВЫГРУЗКИ ГРУЗОВ В ОТСЕКИ ЛЕТАТЕЛЬНОГО АППАРАТА, содержащее установленные по бортам отсека рельсы, перемещающуюся по рельсам раму на катках, и четыре грузозахватных органа на тросах с приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения эксплуатационных качеств при одновременном нагружении всех грузозахватных органов, последние попарно снабжены отдельным приводом с индивидиальным управлением, при этом тросы одной пары грузозахватных органов соединены между собой и образуют замкнутый контур.

Номер патента: 1619535

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Василенчук, Гальперин, Отраднов, Романовцева, Супрун, Шинкоренко

МПК: B07B 4/04

Метки: разделения, сыпучих

...соплах 5 регулируется заслонками 6. Установка ловушек 7 позволяет предварительно выделять из материала крупные частицы, которые преграждают путь воздушному потоку к мелким частицам. Вогнутая форма полки обесп.ечивает максимальный разгон частиц при сходе с полки в направлении, противоположном воздушному потоку, благодаря чему достигается широкий "веер" разбрасывания частиц. В результате обеспечивается более эффективное разделение в каждой ступени каскада и повышается эффективность устройства в целом,5 10 15 20 25 30 35 Сущность процесса разделения сыпучего материала в данном устройстве поясняется схемой движения частиц, представленной на фиг,2,Твердые частицы различной крупности ссыпаются с полки 2, нижний край которой расположен...

Номер патента: 1001610

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Войтко, Крыгин, Маслов, Русаков

МПК: B64C 13/34

Метки: блок, датчиков, положения, самолета, штурвала

БЛОК ДАТЧИКОВ ПОЛОЖЕНИЯ ШТУРВАЛА САМОЛЕТА, содержащий входной вал с жестко закрепленным на нем приводным элементом, выходные валы, на каждом из которых установлены зубчатое колесо и ограничитель поворота, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы блока, зубчатые колеса и ограничители поворота жестко закреплены на выходных валах, приводной элемент выполнен в виде разнесенных вдоль оси входного вала двух зубчатых и двух цилиндрических секторов, взаимодействующих с соответствующими зубчатыми колесами и ограничителями поворота, каждый из которых выполнен в виде двух упоров с цилиндрической рабочей поверхностью, концентричной поверхности сопрягаемого с ним цилиндрического сектора, причем центральный угол между упорами равен...

Номер патента: 1507049

Опубликовано: 27.01.1996

Автор: Михеев

МПК: G01S 1/16

Метки: глиссадный, радиомаяк

ГЛИССАДНЫЙ РАДИОМАЯК, содержащий передатчик, амплитудный модулятор, три делителя мощности, четыре фазовращателя, четыре аттенюатора, три сумматора и три передающие антенны, причем выход четвертого фазовращателя подключен к входу четвертого аттенюатора, а выход третьего сумматора - к входу третьей передающей антенны, отличающийся тем, что, с целью повышения точности угла глиссады в условиях сложного рельефа местности, в него введены распределительный блок, четвертый делитель мощности, низкочастотный генератор импульсов, три фазовых манипулятора, четвертая и пятая передающие антенны, при этом выход передатчика подключен к входу амплитудного модулятора, первый и второй выходы которого подключены к первому и второму входам распределительного...

Номер патента: 1208765

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Валитов, Калистратова, Симонов, Шамсутдинов

МПК: C07C 273/18, C07D 295/18

Метки: производных, феноксифенилмочевины

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОИЗВОДНЫХ ФЕНОКСИФЕНИЛМОЧЕВИНЫ общей формулыгде R = R1 = CH3 или R и R1 вместе с атомом азота, с которым они связаны, образуют морфолино-, пиперидино-, метилпиперазиновое кольцо;R2 - H, CL, CH3;R3 - H, CL;R4 - H, CL, OCH3,взаимодействием производного феноксианилинов общей формулыгде R2, R3 и R4 имеют указанные значенияс N-содержащим соединением в среде органического растворителя, отличающийся тем, что, с целью...

Номер патента: 1816065

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Бобылев, Гладких

МПК: F16H 9/24

Метки: вариатор, гладких

...работает. следующим образом.В исходном состоянии, т,е. до начала вращения ведущего вала 2 и при фиксированном положении штанги 25, соответствующем определенному передаточному отношению, нижний, рабочий участок цепи 4 расположен в рабочем зазоре 10 по некоторому радиусу 82. Верхний же участок цепи 4, расположенный за пределами зазора 10, находится в подвешенном и натянутом состоянии с помощью ролика 23 и пружины 22 и свободен от контакта с другими элементами вариатора,. Крутящиймомент прикладывается к ведущему валу 2, Звездочка 6 за счет взаимодействия с цепью 4 начинает вытягивать ее звенья из рабочего зазора 10, Одновременно звенья свободного верхнего участка цепи 4, опираясь на ролик 23, проходят в направлениях к рабочему зазору...

Номер патента: 866813

Опубликовано: 27.01.1996

Автор: Цетович

МПК: B01F 13/02, B01F 5/00

Метки: смеситель

1. СМЕСИТЕЛЬ, содержащий корпус с днищем, в котором размещен узел подачи газа в виде горизонтально расположенных соосных неподвижного и вращающегося элементов с отверстиями, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения за счет осуществления возможности смещения сыпучих материалов, элементы выполнены в виде установленных одна в другой труб, а отверстия на вращающейся трубе размещены в шахматном порядке.2. Смеситель по п.1, отличающийся тем, что отверстия в неподвижной трубе выполнены в виде щелей.

Номер патента: 1565302

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Бунин, Иноземцев, Кораблин, Малахов, Самохин, Серова

МПК: G03F 7/26, H01L 21/312

Метки: подложке, полупроводниковой, рельефа

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕЛЬЕФА НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКЕ, включающий последовательное нанесение на подложку слоев электронорезисторов с термообработкой каждого слоя, формирование многослойной маски путем экспонирования и проявления системы слоев и перенос рисунка маски в подложку путем химического травления подложки в окнах маски, отличающийся тем, что, с целью повышения точности получения точности элементов рельефа, нанесение на подложку первого слоя электронорезиста осуществляют из раствора сополимеров полиметилметакрилата и метакриловой кислоты в смеси бутилацетата, толуола и этилцеллозольва, причем данный слой наносят толщиной 0,01 - 0,1 мкм, а его термообработку проводят при 210 - 220oС.

Номер патента: 1508680

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Лукасевич, Таранков, Титов, Трунов

МПК: F22B 1/02

Метки: парогенератор

1. ПАРОГЕНЕРАТОР, содержащий корпус, в паровом объеме которого размещен пароперегревательный трубчатый пучок с периферийным кожухом, соединенным с пароотводящей трубой и подключенным через отверстия в своей верхней стенке к паровому объему корпуса, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности путем снижения коррозии, он дополнительно содержит вертикальные пароперепускные патрубки и отбойные крышки, установленные соответственно в отверстиях верхней стенки кожуха со стороны парового объема корпуса и над патрубками.2. Парогенератор по п.1, отличающийся тем, что верхняя стенка кожуха установлена с наклоном к периферии корпуса.3. Парогенератор по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что он снабжен дырчатым щитом, установленным между...

Номер патента: 749049

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Мащуков, Самохвалов, Смирнова, Строителев

МПК: C01F 5/06

Метки: используемого, периклаза, электротехнике

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИКЛАЗА, ИСПОЛЬЗУЕМОГО В ЭЛЕКТРОТЕХНИКЕ, путем плавления магнийсодержащего сырья, последующей кристаллизации расплава и его охлаждения, отличающийся тем, что, с целью улучшения электроизоляционных свойств продукта, после стадии кристаллизации периклаз подвергают закалке водой.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что закалке подвергают периклаз, имеющий температуру 1100 - 2700oС.

Номер патента: 1817586

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Гавриш, Марьяновский, Топчаев

МПК: G05D 7/01

Метки: жидкости, расходом

...регулирующих органов 2, 3 вдоль неподвижных стенок расходомера 1. Количество проходящей жидкости определяется скоростью вращения регулирующих органов 2, 3 при прочих постоянных факторах, например, геометрических размерах устройства. Из расходомера 1 жидкость вытекает через выход 7.Приведенное выше описание устройства характеризует его работу в качестве расходомера, Но в случае возникновения тормозящего усилия на валу 5 скорость вращения регулирующих органов 2, 3 может быть уменьшена, и движение может полностью прекратиться. Соответственно, уменьшится расход жидкости или даже полностью прекратитсяТормозящее действие осуществляется следующим образом.В зависимости от величины командного сигнала, устанавливаемого блоком задания...

Номер патента: 1003425

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Вильданов, Кашеваров, Мазгаров, Саттаров, Фахриев

МПК: B01D 53/14

Метки: абсорбент, газов, меркаптанов, сероводорода

АБСОРБЕНТ ДЛЯ ОЧИСТКИ ГАЗОВ ОТ СЕРОВОДОРОДА И МЕРКАПТАНОВ, включающий соль железа, соль этилендиаминтетрауксусной кислоты, соль и/или гидроокись щелочного металла и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения его поглотительной способности, скорости регенерации и снижения температуры замерзания, он дополнительно содержит N,N-диметиламинопропионитрил и этиленгликоль в следующих количествах, г/л:Соль железа (в пересчете на железо) - 3-9Соль этилендиаминтетрауксусной кислоты - 20-75Соль и/или гидроокись щелочного металла - 10-150Вода - 300-750N,N-Диметиламинопропионитрил - 10-100Этиленгликоль - До 1 л

Номер патента: 1566691

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Веренинов, Ендовин, Миронов

МПК: C07F 7/00

Метки: метилхлоргерманов

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТИЛХЛОРГЕРМАНОВ общей формулы (CH3)nGeCl4-n, где n = 1, 2 или 3, диспропорционированием четыреххлористого германия с метилсиланом общей формулы (CH3)3SiX, где X = CH3, Cl, CH = CH2, OSi(CH3)3, при нагревании в присутствии катализатора, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, процесс осуществляют в газовой фазе при 200 - 550oС и времени контакта 5 - 60 с, а в качестве катализатора используют металлический палладий, нанесенный на носитель.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве носителя используют ...

Номер патента: 1567030

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Богушевич, Николенков, Самохин, Сутырин, Хриткин

МПК: H01L 21/312

Метки: арсенида, галлия, литографии, метка, подложке, совмещения, электронной

МЕТКА СОВМЕЩЕНИЯ НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ, выполненная в виде углубления в подложке, имеющего плоское дно, и выступов, расположенных на дне углубления, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности совмещения, поперечное сечение выступов имеет треугольную форму.

Номер патента: 751256

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Чуйко, Якубинская

МПК: B04B 5/00, H01L 21/00

Метки: нанесения, пленок, тонких

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, например пленок фоторезиста на подложки, включающий нанесение на подложку раствора фоторезиста, центрифугирование подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества нанесения на подложку раствора фоторезиста, край стороны подложки, на которую наносят раствор, скругляют по всему периметру.