C23C 14/32 — с использованием взрыва; испарением и последовательной ионизацией паров

Номер патента: 1494559

Опубликовано: 10.03.1996

Авторы: Бердников, Казаков, Кудряшов, Куфирин

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, мишени, распыления

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ, включающий выполнение углубления в основании мишени, расплавление распыляемого компонента и заполнение им углубления с одновременным охлаждением основания, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и повышения его производительности, распыление компонента осуществляют после заполнения им углубления основания мишени в плазме магнетронного разряда.

Номер патента: 1799034

Опубликовано: 20.05.1996

Авторы: Каймасов, Лытин, Плотников, Степанов

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойких, ионно-плазменных, нанесения, покрытий

...Предлагаемый способ нанесения покрытия целесообразно применять для металлов с низкой температурой отпуска, для которых верхний предел нагрева ограничен температурой, например, 450 С,Поэтому разогрев температуры поверхности иэделия выше 500 С может привести к отпуску металла и ухудшению механических свойств, з нагрев до температуры ниже 450 ОС ухудшает условия конденсации материала покрытия на поверхность изделия, что ухудшает его адгезию, а процесс конденсации в каждом цикле, в результате которого формируется очередной слой покрытия, осуществляют при снижении температуры до значений, определяемых температурой нагрева поверхности, т.е. до 430-470 С.Диапазон температур, при которых осуществляют формирование покрытия при снижении...

Номер патента: 1644551

Опубликовано: 20.05.1996

Авторы: Калинин, Нефедов, Питиримов, Рубанов, Скуднов, Чиненков

МПК: C23C 14/32

Метки: ионно-плазменного, нанесения, покрытий

Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий преимущественно на мелкоразмерный инструмент, содержащее вакуумную камеру, в которой размещены электродуговой источник плазмы и держатель инструмента, расположенный от источника на расстоянии Lэ, равном расстоянию l0,1 десятипроцентной плотности ионного тока на держатель, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий путем уменьшения капельной фазы, держатель снабжен экраном, край которого удален от источника на расстояние l0,1 и размещен на уровне края рабочего торца катода источника, а расстояние H заглубления инструмента от края экрана выбрано из соотношения Lэ/H 12,5 31.

Номер патента: 1832751

Опубликовано: 20.01.1998

Автор: Коровкин

МПК: C23C 14/32, C23C 8/24

Метки: износостойких, металлов, покрытий, соединений

1. Способ получения износостойких покрытий из соединений металлов, включающий конденсацию металла на поверхность изделий и обработку изделий с нанесенным покрытием в камере с низкотемпературной плазмой газового дугового разряда с горячим катодом при создании в камере магнитного поля, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий за счет уменьшения размеров зерен, конденсацию металла и обработку изделий в камере с низкотемпературной плазмой выполняют одновременно при температуре изделий 80 - 500oС, при этом во время обработки к изделиям прикладывают потенциал относительно стенок камеры.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработку изделий газовой плазмой выполняют перед нанесением металла.

Номер патента: 1824923

Опубликовано: 10.04.1998

Авторы: Носков, Орликов, Панковец, Шангин

МПК: C23C 14/32

Метки: поджига, системы, электроразрядной

...4 генераторов плазмы подключены к вторичной обмотке импульсного трансформатора 9. Покрытие наносится на подложку 10, размещенную напротив мишени 1, Устройство поджига работает следующим ооразом. При давлении 10-410 Па на мишень 1 поджига относительно анода 3 подается отрицательный потенциал от источника 7 (400 - 800 В), При подаче поджигаюшего импульса на электрод 4 (1 3 кВ) между ним и катодом 5 по поверхности изолятора 6 возникает разряд, сопровождаюшийся повышением давления за счет газоотделения с образованием катодного пятна на поверхности катода. Потоки плазмы паров металлов, образовавшиеся в катодных пятнах п генераторов, где локальное давлеУстройство для поджига электроразрядной системы, содержащее расходуемый...

Номер патента: 1737930

Опубликовано: 10.04.1998

Авторы: Носков, Орликов

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, пленок, тонких

Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме, содержащее газоразрядную камеру, систему формирования и ускорения потока наносимого материала, импульсный источник питания и подложкодержатель с подложкой, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности работы устройства, газоразрядная камера выполнена в виде спирали, охватываемой корпусом из немагнитного материала с профилем сверхзвукового сопла, открытого в сторону подложки, причем начальный участок спирали подключен к импульсному генератору источника питания, а конец спирали, размещенный у открытой части сопла, заземлен.

Номер патента: 1662130

Опубликовано: 27.04.1999

Авторы: Кочетов, Ляшенко, Митин, Николаенко, Скворцов, Федорова, Церевитинов

МПК: C23C 14/32

Метки: инструмента, режущего, упрочнения

1. Способ упрочнения режущего инструмента, включающий облучение изделия импульсной плазмой, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости режущего инструмента, облучение осуществляют потоком газоразрядной плазмы в виде цилиндрического шнура, сжимающегося к оси под действием собственного магнитного поля, с энергией потока, составляющей 3-200 кДж при длительности 3-15 мкс.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что облучение производят 1-3 импульсами.

Номер патента: 1614519

Опубликовано: 20.05.1999

Авторы: Езерский, Николаев, Табаков, Шерстнев

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойкое, инструмента, покрытие, режущего

Износостойкое покрытие режущего инструмента, содержащее сложный нитрид титана с равномерно распределенными по его объему дополнительными компонентами железа, никеля, хрома, отличающееся тем, что, с целью повышения стойкости инструмента, дополнительные компоненты введены в следующем соотношении, мас.%: железо 4 - 20, никель 0,5 - 3, хром 1 - 5.

Номер патента: 1637372

Опубликовано: 20.05.1999

Авторы: Голтвяница, Джонс, Езерский, Николаев, Табаков, Худяков, Шерстнев

МПК: C23C 14/32

Метки: испарителя, катод, электродугового

1. Катод электродугового испарителя для нанесения износостойких покрытий на основе нитридов титана-алюминия, содержащий расходуемую вставку из алюминида титана и водоохлаждаемый катододержатель, отличающийся тем, что, с целью снижения стоимости, за счет упрощения процесса изготовления, расходуемая вставка снабжена титановой оболочкой, закрепленной на катододержателе.2. Способ изготовления катода, включающий плавление компонентов алюминида титана и механическую обработку слитка, отличающийся тем, что, с целью снижения стоимости за счет упрощения процесса изготовления, изготовление вставки осуществляют плавлением компонентов в титановой оболочке.3. Способ по п.2, отличающийся тем,...

Номер патента: 1473372

Опубликовано: 27.05.1999

Авторы: Езерский, Николаев, Табаков, Шерстнев

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойких, инструменте, покрытий, режущем

Способ получения износостойких покрытий на режущем инструменте, включающий очистку обрабатываемой поверхности ускоренными ионами материала расходуемого катода в вакууме и нанесение износостойкого покрытия распылением материала расходуемого катода в вакуумном дуговом разряде в среде реакционного газа, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости инструмента, в процессе нанесения износостойкого покрытия дополнительно распыляют катод из нержавеющей стали.

Номер патента: 1549108

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Барвинок, Богданович, Китаева, Козлов, Малкин

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, никелида, покрытия, титана

Способ получения покрытия из никелида титана в вакууме, включающий предварительную очистку поверхности и последующее распыление никелида титана, отличающийся тем, что, с целью повышения демпфирующих свойств покрытия, распыление никелида титана осуществляют электродуговым вакуумным методом, при этом процесс напыления осуществляют импульсно и перед каждым последующим слоем проводят ионную обработку поверхности.

Номер патента: 1802548

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Барвинок, Богданович, Куйвашев, Малкин, Плотников, Федосов

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещен электродуговой испаритель с расходуемым электродом, открытая с торцов дополнительная камера, в которой размещен подложкодержатель, и источник питания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, дополнительная камера электроизолирована и охватывает подложкодержатель таким образом, что поверхность подложкодержателя находится вне прямой видимости со стороны внутренней поверхности вакуумной камеры.

Номер патента: 1491038

Опубликовано: 27.09.1999

Авторы: Акимов, Воеводин, Морозов, Спасский, Чмир

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, износостойких, покрытий

Способ получения износостойких покрытий в вакууме, включающий очистку поверхностей обрабатываемых изделий и их нагрев ионной бомбардировкой, осаждение износостойкого покрытия из плазменной фазы и закалку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет предотвращения отслаивания и растрескивания покрытий в процессе закалки изделий с низкой температурой отпуска, перед осаждением износостойкого покрытия формируют промежуточный слой ионным азотированием поверхности при 780 - 850oC.

Номер патента: 1536857

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Беликов, Рузаев

МПК: C23C 14/32

Метки: быстрорежущих, инструментов, металлорежущих, сталей, упрочнения

Способ упрочнения металлорежущих инструментов из быстрорежущих сталей, включающий закалку, отпуск, механическую обработку и нанесение износостойких покрытий в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости инструмента, отпуск осуществляют при 550 - 570oC и совмещают его с нанесением покрытий.

Номер патента: 1225273

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Гусев, Елисеев, Калинкин, Щеголев

МПК: C23C 14/32

Метки: напылением, плазменным, пленок, тонких

1. Способ получения тонких пленок плазменным напылением, включающий зажигание дугового разряда в атмосфере инертного газа между анодом и термокатодом, формирование контрагированной плазменной струи, введение в нее наносимого материала и конденсацию его паров на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения их электрофизических свойств и повышения производительности процесса, наносимый материал вводят в плазменную струю в виде порошка с размером частиц 30 - 45 мкм со скоростью 8 - 10 г/мин при скорости истечения плазменной струи 8 - 9 м/с, давлении инертного газа 5,3 - 8,0 Па и потенциале на аноде 300 - 400 В, затем плазменную струю подвергают...

Номер патента: 1412367

Опубликовано: 27.08.2000

Авторы: Гусев, Елисеев, Калинкин, Щеголев

МПК: C23C 14/32

Метки: нанесения, напылением, плазменным, пленок, тонких

Способ получения тонких пленок плазменным напылением по авт.св. N 1225273, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса при изготовлении ГИС, перед нанесением токопроводящего слоя формируют диэлектрический слой путем подачи в плазменную струю смеси испаряемого порошка и кислорода при степени двухфазности потока (0,3 - 0,5), причем в качестве испаряемого порошка используют кермет.

Номер патента: 1508606

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Демкин, Нестерова

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойких, катода, материал, покрытий

Материал катода для получения износостойких покрытий по авт. св. N 1453948, отличающийся тем, что, с целью повышения срока службы покрытия в условиях повышенной влажности и температуры за счет улучшения адгезии, он дополнительно содержит иттрий при следующем соотношении исходных компонентов, мас.%:Кремний - 9 - 13Иттрий - 2,5 - 15Алюминий - Остальное

Номер патента: 1453948

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гашинин, Демкин, Нестерова

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойких, испарителя, катода, материал, нанесения, покрытий, электродугового

Материал катода электродугового испарителя для нанесения износостойких покрытий, содержащий алюминий, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий, он дополнительно содержит кремний при следующем соотношении компонентов, мас.%: кремний 9 - 13, алюминий - остальное.

Номер патента: 1637371

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гашинин, Елкин, Нестерова

МПК: C23C 14/32

Метки: мишеней, нанесения, покрытий

Способ получения мишеней для нанесения покрытий, включающий абразивную обработку металлической основы и детонационное нанесение смеси порошков металлического и неметаллического компонентов, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных свойств мишеней, абразивную обработку и нанесение смеси порошков осуществляют циклично, причем число циклов абразивной обработки и нанесения составляет 1 : 1 - 3 : 1 соответственно.

Номер патента: 1455764

Опубликовано: 27.10.2004

Авторы: Ключко, Полякова, Таран

МПК: C23C 14/32

Метки: внутреннюю, длинномерных, испаритель, металлов, нанесения, поверхность, покрытий, электродуговой

Электродуговой испаритель металлов для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий, содержащий расходуемый полый катод, внутри которого размещены электромагнитные катушки, и аноды в виде дисков, установленных по торцам катода, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытий и стабильности работы, он снабжен центрирующим механизмом, выполненным с возможностью осевого перемещения, а длина 1[м], наружный диаметр d[м] катода и диаметр d[м] дисков анода выбраны из выраженияD-d>1.

Номер патента: 1244959

Опубликовано: 10.11.2009

Авторы: Блинов, Завьялов, Матрохин, Помещиков, Проказа, Чередниченко, Шалдаев

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее соосно расположенные расходуемый катод с отверстием для подачи рабочего газа, полый анод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, повышения производительности и упрощения конструкции, в катоде со стороны рабочего торца выполнено углубление в форме усеченного конуса, большее основание которого обращено в сторону подложкодержателя, а высота усеченного конуса больше радиуса этого основания, причем меньшее основание конуса соединено с отверстием подачи рабочего газа, площадь сечения которого So определена соотношением

Номер патента: 1367529

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Андреев, Аникин, Бурков, Изотов, Кабалдин, Мокрицкий, Щелкунов

МПК: B23P 15/28, C23C 14/32

Метки: инструмента, твердосплавного

Способ изготовления твердосплавного инструмента с многослойным износостойким покрытием, включающий последовательное нанесение на твердосплавную основу промежуточного слоя из чистого металла ионно-плазменным осаждением и износостойкого слоя из карбида титана, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструмента, в качестве промежуточного слоя используют молибден, а нанесение износостойкого слоя осуществляют осаждением из газовой фазы.

Номер патента: 1707991

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Аникин, Кабалдин, Ковалев, Мокрицкий

МПК: C23C 14/32

Метки: инструмента, керамики, режущей

Способ изготовления инструмента из режущей керамики, включающий механическую обработку инструмента и осаждение на него сплошного мягкого слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения работоспособности, перед осаждением мягкого слоя инструмент разогревают до 900-1000°C, а осаждение мягкого слоя осуществляют при следующем соотношении исходных компонентов, мас.%: Ниобий15-10 Цирконий Остальное

Номер патента: 1759035

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Кабалдин, Медакин, Мокрицкий, Шанин

МПК: C23C 14/32

Метки: инструмента, керамики, режущего

Способ изготовления режущего инструмента из керамики, включающий перед нанесением покрытия предварительную термическую обработку при 650-700°C в течение 40-60 мин, отличающийся тем, что, с целью повышения работоспособности при прерывистом резании сложнолегированных сталей, после предварительной термообработки проводят самостоятельное охлаждение до 350-400°C и дополнительный нагрев до 800-830°C с выдержкой в течение 10-20 мин.

Номер патента: 1501534

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Андреев, Кабалдин, Кожевников, Лазовский, Мокрицкий

МПК: C23C 12/00, C23C 14/32

Метки: износостойкого, покрытия, формирования

Способ формирования износостойкого покрытия, включающий нанесение основного слоя из нитридов, карбидов или карбонитридов тугоплавких металлов конденсацией, ионной бомбардировкой и азотирование слоя в тлеющем разряде, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытия, перед нанесением основного слоя проводят осаждение дополнительного слоя из тугоплавких металлов, после чего наносят часть основного слоя толщиной до 3,0 мкм, а после азотирования - остальную часть основного слоя.

Номер патента: 1766095

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Медакин, Мокрицкий, Попова, Сергеев, Шанин, Южаков

МПК: C04B 41/80, C23C 14/32

Метки: инструмента, керамики, режущей

Способ изготовления инструмента из режущей керамики, включающий термообработку в вакууме инструментальной основы и последующее нанесение покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения работоспособности при прерывистом резании, термообработку инструментальной основы осуществляют в следующей последовательности: нагрев до 650-700°C, выдержка в течение 1,0-1,5 ч, самостоятельное охлаждение до 350-400°C, повторный нагрев до 650-700°C с выдержкой в течение 20-40 мин.

Номер патента: 1342047

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Андреев, Аникин, Бурков, Изотов, Кабалдин, Мокрицкий, Фадеев

МПК: B23P 15/28, C23C 14/32

Метки: инструмента, твердосплавного

1. Способ изготовления твердосплавного инструмента на вольфрамово-кобальтовой основе, включающий ионно-плазменное нанесение материала подслоя с последующим нанесением нитрида материала подслоя, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструмента, перед нанесением материала подслоя дополнительно наносят слой карбида титана газофазным осаждением толщиной не более 3,0 мкм, причем толщина нитрида материала подслоя составляет 3-4 мкм, а толщина подслоя составляет 1-1,5 мкм. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, материал подслоя выполнен из титана или циркония.

Номер патента: 1466261

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Андреев, Кабалдин, Кожевников, Лазовский, Мокрицкий

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойкого, покрытия

Способ получения износостойкого покрытия, преимущественно на режущих инструментах, включающий нанесение нижнего слоя из нитридов, карбидов или карбонитридов тугоплавких металлов IV-VI групп периодической системы элементов, ионное азотирование, осаждение подслоя из тугоплавких металлов и поверхностного слоя из нитридов, карбидов или карбонитридов тугоплавких металлов IV-VI групп периодической системы элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытия, перед нанесением нижнего слоя осаждают промежуточный слой из тугоплавких металлов IV-VI групп периодической системы элементов толщиной 1-1,5 мкм.

Номер патента: 1639087

Опубликовано: 10.04.2010

Авторы: Аникин, Верещака, Григорьев, Кабалдин, Ковалев, Мокрицкий

МПК: C23C 14/32

Метки: инструмента, керамики, режущей

Способ изготовления инструмента из режущей керамики, включающий предварительную термообработку инструментальной основы, нанесение износостойкого покрытия с промежуточным слоем, заключительную термообработку, отличающийся тем, что, с целью повышения работоспособности, перед предварительной термообработкой на инструментальную основу наносят слой углерода, предварительную термообработку проводят электронной бомбардировкой в течение 2-3 ч при температуре 830-850°C в вакууме, после чего проводят ионную очистку в течение 1-1,5 ч до удаления дефектного слоя с поверхности основы, заключительную термообработку осуществляют в вакууме при температуре 200-600°C в течение 20-60 мин, а...

Номер патента: 1824924

Опубликовано: 10.05.2012

Авторы: Вершина, Матвеев, Пителько, Стукач

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойких, инструмент, металлорежущий, нанесения, покрытий

Способ нанесения износостойких покрытий на металлорежущий инструмент, включающий параллельное размещение большого количества инструментов на вращающемся подложкодержателе, очистку поверхности инструментов, нагрев и нанесение покрытия при неподвижном подложкодержателе с ориентацией рабочих кромок инструмента к плазменному испарителю в среде реакционного газа путем бомбардировки поверхности ускоренными ионами активных металлов расходуемого катода испарителя, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет увеличения износостойкости путем снижения температуры рабочих кромок, нагрев инструмента осуществляют при неподвижном подложкодержателе с ориентацией нерабочих торцов...