Куйвашев
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1802548
Опубликовано: 27.06.1999
Авторы: Барвинок, Богданович, Куйвашев, Малкин, Плотников, Федосов
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещен электродуговой испаритель с расходуемым электродом, открытая с торцов дополнительная камера, в которой размещен подложкодержатель, и источник питания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, дополнительная камера электроизолирована и охватывает подложкодержатель таким образом, что поверхность подложкодержателя находится вне прямой видимости со стороны внутренней поверхности вакуумной камеры.