H05K 3/06 — удаление токопроводящего материала химическим или электролитическим способом, например фототравлением

Номер патента: 138979

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Бирманас, Василявичус, Румбавичус, Чарнецкис

МПК: H05K 3/06

Метки: печатных, схем

...диэлектрика путем полива и затем сушится, При экспонировании копировального слоя через негатив происходит световое дубле. ние соответствующих участков слоя. После этого копировальный:лой проявляется и производится его дополнителыое дубление в растворе хромового ангидрида с последующей сушкой. Перед травлением слои подвергается термической обработке в термостате при темперагуре 100 - 120 в течение 1 - 1,5 час.В процессе термической обработки происходит частичная внутри и межмолекулярная дегидратация, приводящая к увеличению веса полимера и резкому снижению его растворимости. Слой приобрегает влага- и кислотоупорные свойства, После травления слой полимера еханическ (с помощью конусообразных стержней или металлическихЛо 138979 щеточек)...

Номер патента: 153310

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: H05K 3/06

Метки: 153310

...печатный монтаж на прозрачном временном основании переносится на любой диэлектрик. Для этого печатный монтаж на временном основании покрывается соответствующихг диэлектрику клеем и накладывается на диэлектрик, также покрытый клеем. Собранные схемы закладываются под пресс и нагреваются. При этом печатный хгонтаж надежно приклеивается к диэлектрику; временное основание удаляется.Схемы могутзакладываться под пресс по одной или собранными в пакет и отделенными друг от друга триацетатной пленкой. При изготовлении двухсторонних схем после переноса печатного монтажа на одну сторону диэлектрика производится сверление отверстий на тех контактных площадках, через которые осуществляется контакт с обратной стоЛЪ 153310 Предмет изобретения Способ...

Номер патента: 153342

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: H05K 3/06

Метки: 153342

...пленки требуемого состава, которая впоследствии подвергается термообработке, Необходимость в прессовке и шлифовке отпадает.На диэлектрическую подложку (кварц, керамикася электропроводящий слой, но при использовании меложки необходимость нанесения электропроводящего.Затем электролитическим осаждением из раствора со153342подложку наносится тонкий слой из смеси металлов требуемого состава. После.данесения таким путем металлической пленки производится ее обжиг в течение 0,5 - 0,6 мин в атмосфере кислорода или воздуха при температуре 800 - 1100, Предварительно пленка может быть окислена при температуре 400 в 7,Описанным способом можно получать пленки любых ферритов, за исключением ферритов из щелочных металлов. Для электролитического...

Номер патента: 169611

Опубликовано: 01.01.1965

Автор: Антипов

МПК: H05K 3/06

Метки: диэлектрике, печатных, плат, схем, травления, фольгированном

...обеспечивающих одновременно перемешивание и разбрызгивание раствора травителя.Конструкция устройства изображена на чертеже,Ванна 1, заполненная раствором хлорного железа, снабжена крышкой 2, укрепленной на шарнирах 3. Внутри ванны размещены решетка 4, на которую устанавливают платы печатных схем, и магистраль а со сжатым Воздухом. К магистрали присоединены форсункп, образованные короткими трубками 6, соединенными с магистралью и окружающими их более длинными трубками 7, снабженными отверстиями, расположенными вдоль их обраон про- резульаствора 1 ДЕЛ Я 10- патрузующих ходит ч тате чег и его р щихся бок 8. етенп едмет из Устройство для травления плат печатных схем на фольгированном диэлектрике, содержащее ванну, заполненную раствором,...

Номер патента: 170093

Опубликовано: 01.01.1965

Автор: Крумин

МПК: G03F 7/12, H05K 3/06

Метки: печатных, трафаретных, форм

...вследствие плохой адгезии пигментножелатинового слоя к капроновой основе,По предлокенному способу улучшение адгезии пигментно-келатинового слоя и повышение тиражеустойчивости форм достигнуто обработкой коллоидного рельефа, полученного после экспонирования и проявления пигментно-келатинового слоя, раствором резорцина в этиловом спирте.Перед натяжением на раму капроновую сетчатую основу выдерживают 2 - 3 час в 2 - 3%-ном растворе муравьиной кислоты. Основу натягивают в мокром виде, обезжиривают мелом и промывают теплой водой. Пигментную бумагу сенсибилизируют в 3%-ном растворе двухромокислого аммония и прикатывают к эмульсионной стороне диапозитива, покрытого водостойким лаком и обработанного 10/,-ным раствором воска в...

Номер патента: 176620

Опубликовано: 01.01.1965

Автор: Жилевич

МПК: H05K 3/06

Метки: институт, научно-исследовательский, сидаравичюс, электрографии

...чески сложны и не обеспечивают получения требуемого качества печатной схемы.В описываемом способе изготовления печатных схем повышение качества печатных схем и упрощение технологии их изготовле ния достигнуто тем, что фольгированную подложку предварительно покрывают слоем органического фотополупроводника, который после электростатической зарядки и получения на нем порошкового изображения схемы 15 подвергают термообработке и удаляют с пробельных участков слой фотополупроводника и фольги, растворяя фотополупроводник в толуоле и вытравляя фольгу.Печатные схемы могут быть изготовлены 20 по предлагаемому способу на слоях фото- полупроводника, полученного, например, полимерпзацией Х-впш лкарбазола с добавкои 5% фенилацетиленида меди и...

Номер патента: 196138

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Когданина, Сундь

МПК: G03F 1/00, H05K 3/06

Метки: монтажа, печатного, фотошаблона

...1 аблоцов доедмет цзоорс гения Способ изготовления фотошаолоцд для печатиого монтажа, осцоваццый ца удалении методом траьлецця пробельных участков металлцзироваииой заготовки, отлсс сасоиссссся тем, что, с целью повышесшя точности цзготовлеция фотошаблоця, металлизировдццую заготовку получают цдцесеиием ца стекляицую подложку слоя металла, который покрыв;1 ют фотополимером, подвергают избирательному облучению ультра фиолетовым светом, проявляют ц вытрявл 11 вдют металлическую плецку с пробелсип.сх участкоь, получая с прямого цегативд (поз 1 гпсвя) зеркальцьсй цегдтцв (позитив). Известные способы изготовлелоса для печатного монтажа,удалении методом травленияучастков металлизироваицойобеспечивают получения фотонстяточцо высокой...

Номер патента: 196139

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Гайд, Монтримас, Садаускас

МПК: H05K 3/06

Метки: печатных, резистивных, схем, токопроводящих, элементов

...качества схем и упрощение технологии их изготовления достигается использованием в качестве проявителя для токопроводящих участков мелкодисперсного порошка серебра (75 - 85%), покрытого слоем смолы (25 - 15%), например канифоли, который после проявления скрытого изображения подвергают термообработке при температуре 700 - 750 С в течение 2 - 3 час. Проявитель резистивных элементов содержит по 12 - 18% мелкодисперсного серебра и палладия, 55 - 65% легкоплавкого стекла и 8 - 12% смолы, например канифоли. После проявления его также подвергают термообработке.Описанные проявители позволяют получить электропроводные элементы с сопротивлением порядка 1 ом на квадрат площади и Предмет изооретенияСпособ изготовления токопроводящих и...

Номер патента: 208057

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Борисов, Лубашевский, Хренова

МПК: H05K 3/06

Метки: гибридных, дорожек, схем, твердых, токоведущих

...тем, что, с целью улучшения качества токоведущих алюминиевых дорожек, 2 О в качестве материала для изготовления маскииспользуют ванадий, а для удаления маски применяют азотную кислоту. Известен способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем, который заключается в том, что подложку покрывают токопроводящим слоем, например, алюминия, наносят маску фотолитографическим методом, вытравливают пробельные участки и удаляют маску. Однако в процессе удаления маски про. исходит частичное разрушение дорожек.Описываемый способ отличается тем, что для повышения качества дорожек в качестве материала для изготовления масок используют ванадий.После напыления на подложку слоя алюминия толщиной до 2 х 1 к на него вакуумным...

Номер патента: 240792

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Гериц, Седол

МПК: H05K 3/06

Метки: кремния, моноокиси, раствор, травления

...сосдпнительных проводников многослойных пленочных схем и конденсаторов с диэлектрикоиз моноокиси кремния. скорости ачеств изобретенредм Раствор для используемый,0 элементов пе ристоводородн ний, от.гичпюг чения скорост шения качеств 5 створ, содерж ристоводородн стого аммони ляют 201 - 22 рода.Известен раствор для травления мкремния, используемый, например, иговлении элементов печатны: схем, сщий фтористоводородную кислотустый аммоний.Цель изобретения - увеличениепроцесса травления и повышениевытравливаемых фигур.Достигается это, тем, что в раствожащий 2 - 22 вес, ч. 48%-ной фториродной кислоты, 6 - 36 вес. ч. фторисмония и 12 - 108 вес. ч. воды, до201 ввес. ч. 30% -ной перекиси водРаствор не разрушает защитнуюфоторезиста,...

Номер патента: 247365

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Гринвальд, Кривомлин, Менис, Слышано, Сойфер, Тимофеев

МПК: H05K 3/06

Метки: печатных, плат, травления

...пальца 15, расположенного на конце головки штока 16 приводного цилиндра 7. Рычаг 9 шарнирно соединен со штоком 16. Нижняя рама 4 своими толкателями 5 входит из камеры 3 в камеру 1 и в камеру 2, Толкатели 5 расположены через определенный промежуток и служат для перемещения плат. Длу разгрузки штока 16 в исходном положении рама 4 соединена с рамой б посредством вертикально установленных пружин 10. После обработки плат в камере 1 крайний левый толкатель 5 извлекает плату из захвата 17 камеры 1 и передвигает ее в5 камеру 2. Вначале хода поршня цилиндра 7палец 15 свободно перемещается в прорези 14 до упора 11. В это время рычаги 8 и 9 опускают раму 4. Затем палец 15 упирается в конец прорези 14 упора 11, преодолевает со 10 противление...

Номер патента: 254634

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Варденбург, Иосиф, Кудй, Смдорвв, Шапиро

МПК: H02K 3/26, H05K 3/06

Метки: машин, многослойной, обмотки, печатной, электрических

...наносят изоляционный слой 3, в качестве которого можно использовать эпоксидный компаунд. После этого на изоляционный слой известным способом осаждают слой 4 меди. В полученном слое металла фотохимическим способом вытравливают отверстия Б, образуется маска, через которую обнажается нижележащий изоляционный слой 3. Обнаженные места изоляции травят соответствующим растворителем. Прп использовании в качестве изоляции цедополцмсрцзо.ванной эпоксидной смолы в качестве растворителя можно выбрать ццклогексацоц. Прц этом в растворцтель изоляционного слоя добавляют хлорное железо, обеспечивающее фиксацию момента обнажения от изоляции распо ложенных под ней проводников по изменениюцвета меди, После этого всю поверхность снова химически, а...

Номер патента: 271598

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Воженин, Кандыба, Лаврищев, Морозова, Фоменко

МПК: H05K 3/06

Метки: 271598

...,слоях. Число резистивных слоев определя- ется диапазоном номиналов резисторов, входящих в микросхему, возможностями селективного химического травления их и требу емыми габаритами микросхемы и может быть равно одному, двумттрем и более (например, резистивные слон с ) =5000 ом/квадрат, 500 ом/квадрат и 50 ом/квадрат).Для изготовления резисторов с=50 ом/ 25 пользовать одну технологическую операциюдля двух целей,Изготовпение микросхемы, содержащейрезисторы с Я =50 ом/квадрат на основепленок нихрома Х 2 ОН 80 и сЯ=500 ом/квадрат на основе металлосилицидного сплава% 3, осуществляется следующим образом.На подложку испарением в вакууме не нищже 1 ф 10 мм рт.ст. наносят слои сплаваМ 3, а затем нихрома и золота,При изготовлении отдельных слоев...

Номер патента: 271599

Опубликовано: 01.01.1970

Автор: Гаврилкин

МПК: G03F 1/00, H05K 3/06

Метки: 271599

...высокаяисунков обеспечива 1 совмещения на фовиде гребенки из овм олупроводнпковеличины, равго слоя,вой й псдовин т.е. с точноДля пост О ной линии сПРОВОДЕЕИКОВО прямоугольных в На чертеже п жение совме 1 цаемыхыступов и оказано с впадин,овместное изобра лемента фотошаблона водниковой пластине. совмещаемые элеменгребенки пз прямоуговпадин. Зто позволяет симметрично располоо" оонтура подуовмещаемогой пластине прпческих операцшаблон делаю элемен ци ряда й послепроведен ий каждь негативц отолитографцй фото сти гре 1 и впад ЕМ ДУюп 1 обла 15 паме выст Ф ор мул фотошаблон етени,7 мк. т; одни я цз анте отовления П 1 КОВЫХ1 НОГ,тем,к Увеличеен 1 я тОЧНОСтн СО полупроводниковой плас фотошаблона, элементы нены в виде гребенки 1 1 СУ.НК .иком...

Номер патента: 272407

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Готман, Ценен

МПК: G03F 1/00, H05K 3/06

Метки: трафаретов

...производят известными способами, например при помощи установочного эталона, 25 приводя в совпадение установочные знаки фотооригинала с узлами штриховой сетки растровой пластинки установочного эталона, ставящегося на фиксаторы механизма совмещения. Затем установочный эталон снимают, и 30 на фиксаторы механизма совмещения 1 станавливают заготовку дубликата трафарета, покрытую светочувствительным слоет, например сухим коллодионом. Производят экспонирование рисунка, фотооригинала на заготовк 3 дубликата при помощи светового пучка, направленного по стрелке А. Заготовку дубликата снимают, производят обработку фотохимическими способами и получают дубликат трафарета, содержащий зеркальное изображение рисунка фотооригинала с той же ориентацией...

Номер патента: 273867

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Либенсон, Никит, Цельный

МПК: H05K 3/06

Метки: печатных, схем

...известныс способы нс обеспсчивао Олусипя точОго рисука схемл, с римснсние фоторсзиста усложняет тс хологию изготовления схем.С целью повышеия тоОсти изготолс 5 схем и упрощения тсхнологии их производства по предлагаемому способу защитпуо маску формируют, окисляя в соответствии с рисунком схемы отдельыс участки металлической пленки.В качестве сталлерсскои плски о)ксбыть использована пленка хрома, окислеис которой производят нагревом сс отдельных участков, образующих защитную маску в окислительной атмосфере, например в атмосфере кислорода, управляемым по заданной программе сканирующим лучом оптического квантового генератора.Исключение операции по нанесению фоторезиста и его обработке упрощает технологию производста схем, а малая...

Номер патента: 277897

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Морозов, Одиноков, Рожков, Солин, Цвелев

МПК: G03F 7/22, H05K 3/06

Метки: нанесения, печатной, рисунка, схемы

...слоя.На чертеже изооражен общий вид световода и показан один из вариантов его конструкции,Информация о топологии печатной платы, записанная на программоноситель (например, перфоленту или перфокарту) с помощью устройства считывания (например, СПили ВУ) вводится в устройство преобразования (например, УП, УПили УП), где цифровой код преооразуется в напряжения, подающиеся на вход двухкоординатного регистрирующего построителя (например, типа ДРП-З), а также выраоатываются сигналы синхронной работы построителя и устройства контактной засветки.Двухкоординатный регистрирующий построитель и устройство контактной засветки являются исполнительными устройствами, у которых рабочий орган, выполненный в виде световода, закрепленного своим входным...

Номер патента: 280594

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Марингулов, Савельев

МПК: G03F 1/00, H05K 3/06

Метки: лблонов, многослойных, печатных, плат, пленочных, фотош

...вначале размещаются только те связи, которые це требуют пересечения с другими шнурами данного фотооригинала. Оставшиеся церазмещенныс связи трассируют таким образом, чтобы, пройдя по своей плоскости до пересечения со шнуром другой линии, они перешли ца другой фотооригинал через переходные шайбы 7 и возвратились в свой слой. Для этого в местах предполагаемого перехода из слоя в слой наклеивают (аналогично шнуру) выполненную в том же масштабе шайбу 7, изготовленную из резины или пластмассы в виде круга с небольшим отверстием в центре.Расположение переходных площадок должно быть согласовано с возможностью трассировки шнура на втором фотооригинале. Согласование производится ,визуально на просвет. Для установки ответной шайбы, не...

Номер патента: 290494

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Дадам, Коханов, Макаров

МПК: H05K 3/06

Метки: печатных, схем

...закрепление эксастков в парах ацетона. Лак нных участков удаляют теподой.с пробельныхчастков удалямег изобретени Изобретение относится к области технологии производства радиоаппаратуры, а именно к способу изготовления печатных схем на фольгированной диэлектрической плате.Известны способы изготовления печатных схем, основанные на получении электростатического изображения печатной схемы на фольгированной плате и травлении пробельных участков.Известный способ весьма трудоемок, так как требует изготовления офсетной фольги и печатной формы.Целью настоящего изобретения является разработка простого способа производства печатных схем, не требующего проведения промежуточных операций по изготовлению офсетной фольги и печатных форм.Изображение...

Номер патента: 293312

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Орлова, Ошарин, Серчугова, Филипьева

МПК: H05K 3/06

Метки: печатных, плат

...способом с использованием фоторезпста на основе поливинилового спирта (ПВС), наносят временное лаковое покрытие, например лак АК, и сверлят отверстия. Затем происходит имическая металлизация стенок отверстий, например обработка в растворах двухлористого олова (1 г/л) и хлористого палладия (1 г/л) и меднение в растворе состава:медь сернокислая 80 г/л натрий едкий бО г/л глицерин 50 г/л формалин 25 - 30,ил/л в течение 10 - 12 иин.После этого временное лаковое покрытие удаляют механическим способом, проводят гальваническое меднение стенок отверстий и печатных проводников до требуемой толщины, например, в борфторпстоводородном электролите.293312 Предмет изобретения Составитель Г. Челей Редактор Т, И. Морозова Тскрсд А. А....

Номер патента: 298086

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Сейс, Ходак

МПК: H05K 3/06

Метки: зазоров, создания

...продолжениями сторон другого; на фиг. 2 - получившийся на тонкой пленке после обработки рисунок, наблюдаемый под микроскопом с сильным увеличением.По предлагаемому способу изготавливают фотошаблон, принципиальным отличием кото 10 15 20 25 рого является отсутствие зазора между элементами рисунка фотошаблона, служащими для получения электродов в нанесенных на подложку тонкопленочных микроструктурах.Элементы рисунка фотошаблона представляют собой два соединенных углами равных треугольника, у которых две стороны одного являются продолжениями сторон другого. Величина зазора в тонкой пленке в месте соприкосновения углов треугольников зависит от материала электродов, толщины пленки, величины угла треугольников рисунка фотошаблона и времени...

Номер патента: 302856

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Григорьев, Зайцева, Карантиров, Невский

МПК: G03F 7/26, H05K 3/06

Метки: 302856

...в виде прозрачной стеклянной подложки с нанесенным на ее поверхность маскирующим непрозрачным слоем по заданному рисунку схемы.Цель изобретения - увеличение срока службы фотошаблонов.Для этого в качестве материала кирующего слоя,использована пленка бор металла, например циркония с равномер распределенными по толщине слоя микро нулами циркония и бора,11 рименение борида металла определяет высокую адгезию максирующего слоя к подложке, а гранулы чистого металла и бора служатак бы армирующим звеном, снимающим внутренние напряжения и предотвращающим сноявление микротрещин при тепловых ударах.Сущ ра ы граность фмикроэлэлементние моънул вещным. сооенно важно в азмеры отдельных аилучшее разрешепри размерах гратзких к молекуляротоша ектрон...

Номер патента: 305832

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Войтович, Костышин, Михайловскав.в., Романенко

МПК: H05K 3/06

Метки: криотронных, схем

...удаления неполимеризовавшихся участков получают окна в фоторезисте. Травлением металла через окна получают пленки необходимой конфигурации, после чего фоторезист удаляют. С помощью фотолитографии изготавливают криотроны малых размеров, но для этого требуется большое количество технологических операций.Цель изобретения - повысить точность изготовления схем.Достигается это тем, что на слой сверхпроводящего материала требуемой толщины напыляют тонкий защитный слой металла (зоССР и Институ 1" "ой ССР подложку плн промежуточный слой наслой сверхпроводящего материала (нар, олова нлн свшща). На этот слой ндтся тонкий защнтнын слой нз малоакго материала, например золота нлн сстолщиной 30 - 150 нм, а на него активного материала, например Р 1...

Номер патента: 309481

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Каданер, Котл, Осв

МПК: H05K 3/06

Метки: локального, травления, фольгированных, электрохимического

...на которой нанесено изображение рисунка схемы, Однако такие устройства не позволяют получить качественный рисунок схемы вследствие возможного проскальзывания цилиндрической матрицы относительно плоскости заготовки из-за наличия зазоров в подвижных частях устройства. С целью повышения точности вония рисунка в предлагаемом устрозоре между фольгнрованной заматрицей расположена перемещаюну растворения диэлектрическаящелью.На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.Оно содержит неподвижную матрицу 1, на которой нанесено плоское (зеркальное) изоб.ражение рисунка схемы, диэлектрическую пленку 2 со щелью определенных размеров, перемещающуюся в зазоре между заготов кой 3 и матрицей посредством механизма, непоказанного на...

Номер патента: 309664

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Вейко, Грамм, Коган, Либенсон

МПК: G03F 7/26, H05K 3/06

Метки: микрорисунков, рельефных

...находящийся под фоторезистом. х миктивномоптическом зистивСпособ получецця ре ков, заключающийся в 20 ровании фоторезиста и квантового генератора,ванин облученцых участ отличающийся тем щения операций экспон 25 цпя, под фоторезист ца риала, оптически не пр ния оптического квантов ну волны излучения вы зрачности фоторезиста.льефных мцкселективномзлучением опттермическомков резистивночто, с целыирования ц заносят подслойозрачного дляого генераторбирают в обла рорисуц- экспонического задублиго слоя, о совме- дубливаз мате- излучести п оИзобретение относится к электронной технике. Способ может в частности, найти широкое применение в технологии производства полупроводниковых и тонкопленочных интегральных схем.Известен способ получения...

Номер патента: 311433

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Белевич, Кильдишева, Молотков, Шапкин, Шоршигин

МПК: C23G 3/02, H05K 3/06

Метки: заготовок, одностороннего, плоских, травления

...конструкция предластва.раствор из бачка 1 поступает ны 3, обогреваемой водянымразбрызгивается ротором б с ается на заготовку б, которая транспортирующим механизит из сливного патрубка 8. льного раствора каждой секется подбором зазора между Изобретение и может быть печатных плат Известные у травления пл транспортирую вильным раст ками на секци щен ротор с л водить прецез мой подачей т Цель изобре ровки подачи Для этого в вые стенки ка ротора с лопас поворотными пластин прямо образующая к ной. На чертеже гаемого устро Травильный в секции 2 ва нагревателем 4 лопастями, под перемещается мом 7, и выход Расход трав ции 2 регулирповоротными щитками 9 и заслонками определяется глубиной травления, прим мым раствором, температурой и скор...

Номер патента: 318188

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Берг, Котлецов, Сибир

МПК: H05K 3/06, H05K 3/42

Метки: 318188

...15 Спосоо получения изолировавон пе а нных проводников на многоо ферритовой,пласпине:путем экспон светочувствительной соли палладия 20 дующей металлизацией, отличпютии что, с целью получения печатных пр в отверстиях, экспонирование произв лимированным пучком, направленны лом к поверхности, равным арктанге 25 щения диаметра отверстия к толщи зины, системытверстнойироваиияс после.,йся тем,оводников,одят кол.м под уг.псу отпопе пласИзобретение относится к радотопромышлепности и может быть использовано для получения системы печатных проводников на ферритовой пластине.Известен спосоо получепя системы пе ат,пых троводп 3 кров па дэлектрнеско подложке. Диэлектрическуо подложку обрабатывают двойной хлористой солью,палладия, высушивают,...

Номер патента: 333731

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Дмитраков, Матусевич, Рец

МПК: H05K 3/06

Метки: слоев, удаления, фоторезистов

...и схем методом фотолитографии, в частности к удалению слоев фоторезистов.Известен способ удаления слоев фоторезистов путем травления.Предложенный способ отличается от известного тем, что слой фоторезиста предварительно нитруют в смеси концентрированных серной и азотной кислот, Это позволяет повысить скорость процесса.По описываемому способу термообработанные (задубленные) слои фоторезистов предварительно нитруют в смеси, содержащей концентрированные серную и азотную кислоты в соотношении 1: 1, при температуре 50 - 60 С, после чего слой фоторезиста стравливают, например, 5 - 10%-ным водным раствором соды или органическим растворителем, например ацетоном и т. д,П р и м е р. Для удаления позитивного фоторезиста ФП, нанесенного на пленку...

Номер патента: 342314

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Злотин, Крейнин, Чудаков, Яншин

МПК: G03F 7/207, H05K 3/06

Метки: проекционное

...г. Для подъема и опускания плиты служит электродвигатель 8, управляемыйй по прогр а мме. мет изоб ойство, например, для в интегральных схем, ловки, координатного на нем пластинкой и мепускания фотоголовки Проекционно изготовления ш состоящее из стола с закрепл0 ханизма подъе е устр аблоно фот ого енной а и о Устройство предназначено дляния в радиопромышленности,промышленности, например, для ишаблонов интепральных схем.Известно проекционное устройствтол, оптическулетия перем В рабочем режиме плита находится,в ниж-.нем положении, и ролики катятся,по поверхности фотослоя фотопластинки 5, Благодаря механическому контакту, который паддержи вается силой остаточной тяжести плиты и фотоголовки, расстояние от объектива до плоскости...

Номер патента: 354617

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гериц, Цымбал

МПК: H05K 3/06

Метки: удаления, фоторезиста

...Е. Хвоиеваактор Л. Мазуроиок Техред Л. Куклина Корректор Е, Мироно каз 37616 Изд.1506 Тирзк 406 Подписное 1 ИИПИ Комитета ио делам изобретений и открытий ири Совете Министров СССРМосква, Ж.35, Раушская иаб., д, 4(5 пографня, ир. Сапунова, 2 ппп патент" Звк, ГЗУ 5 Изобретение относится к технологии флитографических процессов имеющих месттаких отраслях, как микроэлектроника, ратехника и полиграфия.Известен способ удаления фоторезистподложки обработкой в соответствующихтворителях и кислотах. Однако такой спхарактеризуется трудоемкостью и значитным расходом материалов.Цель изобретения - упрощеине,и сокрние технологического цикла, экономвя мриалов и повышение качества процесса удння фоторезиста..Сущность изобретения заключается вчто...