ZIP архив

Текст

ОП, И-Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 302856 Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ авт. свидетельства1970 ( 1405979,26-9) ависи МПК Н ле иоединением иоритет Комитет по делам зобретеикй и открытий при Совете Вцистров СССРУДК 621.3.049,75 (088.8 Опубликовано 28,17.1971. Бюллетень МДата опубликования описания 1 Л 11.197 т,вторызооретения Зайцева рантиров, А. Б, Невский и Григорьев,аявитель ТОШАЬАО лона. Это тке, где р ма малы. Н ть получено пленки, бл,Известен фотошаблон, выполненный в виде прозрачной стеклянной подложки с нанесенным на ее поверхность маскирующим непрозрачным слоем по заданному рисунку схемы.Цель изобретения - увеличение срока службы фотошаблонов.Для этого в качестве материала кирующего слоя,использована пленка бор металла, например циркония с равномер распределенными по толщине слоя микро нулами циркония и бора,11 рименение борида металла определяет высокую адгезию максирующего слоя к подложке, а гранулы чистого металла и бора служатак бы армирующим звеном, снимающим внутренние напряжения и предотвращающим сноявление микротрещин при тепловых ударах.Сущ ра ы граность фмикроэлэлементние моънул вещным. сооенно важно в азмеры отдельных аилучшее разрешепри размерах гратзких к молекуляротоша ектрон в вес ет бь ества масиданотра дмет изобретени пр озрач. ным на ее озрачным отличаюия срокаматериала ленка бос ра,внослоя микзмер ло с 20 ественную роль играют пределяющие разрезаш Фотошаблон, выполненныи в виденой стеклянной подложки с нанесенповерхность маскирующим непрслоем по заданному рисунку схемысссссйся тем, что, с целью повышенслужбы фотошаолонов, в качествемаскирующего слоя использована прида металла, например, циркониямерно распределенными,по толщинерогрануламн циркония и бора.

Смотреть

Заявка

1405979

В. А. Григорьев, Н. Ф. Карантиров, А. Б. Невский, И. Д. Зайцева

МПК / Метки

МПК: G03F 7/26, H05K 3/06

Метки: 302856

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-302856-302856.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">302856</a>

Похожие патенты