Патенты с меткой «271599»

Номер патента: 271599

Опубликовано: 01.01.1970

Автор: Гаврилкин

МПК: G03F 1/00, H05K 3/06

Метки: 271599

...высокаяисунков обеспечива 1 совмещения на фовиде гребенки из овм олупроводнпковеличины, равго слоя,вой й псдовин т.е. с точноДля пост О ной линии сПРОВОДЕЕИКОВО прямоугольных в На чертеже п жение совме 1 цаемыхыступов и оказано с впадин,овместное изобра лемента фотошаблона водниковой пластине. совмещаемые элеменгребенки пз прямоуговпадин. Зто позволяет симметрично располоо" оонтура подуовмещаемогой пластине прпческих операцшаблон делаю элемен ци ряда й послепроведен ий каждь негативц отолитографцй фото сти гре 1 и впад ЕМ ДУюп 1 обла 15 паме выст Ф ор мул фотошаблон етени,7 мк. т; одни я цз анте отовления П 1 КОВЫХ1 НОГ,тем,к Увеличеен 1 я тОЧНОСтн СО полупроводниковой плас фотошаблона, элементы нены в виде гребенки 1 1 СУ.НК .иком...