Патенты с меткой «271598»

Номер патента: 271598

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Воженин, Кандыба, Лаврищев, Морозова, Фоменко

МПК: H05K 3/06

Метки: 271598

...,слоях. Число резистивных слоев определя- ется диапазоном номиналов резисторов, входящих в микросхему, возможностями селективного химического травления их и требу емыми габаритами микросхемы и может быть равно одному, двумттрем и более (например, резистивные слон с ) =5000 ом/квадрат, 500 ом/квадрат и 50 ом/квадрат).Для изготовления резисторов с=50 ом/ 25 пользовать одну технологическую операциюдля двух целей,Изготовпение микросхемы, содержащейрезисторы с Я =50 ом/квадрат на основепленок нихрома Х 2 ОН 80 и сЯ=500 ом/квадрат на основе металлосилицидного сплава% 3, осуществляется следующим образом.На подложку испарением в вакууме не нищже 1 ф 10 мм рт.ст. наносят слои сплаваМ 3, а затем нихрома и золота,При изготовлении отдельных слоев...