Раствор для травления моноокиси кремния

Номер патента: 240792

Авторы: Гериц, Седол

ZIP архив

Текст

Вг Гй вуйттптнс:- г:.хи ., 240792 ОПИСАНИЕ ИЗОВЕЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельс Заявлено 25.Х.1967 ( 119 8 г 26 Кл. 21 а 4, 75 48 г, 1/00 с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 01,1 т/.1969. БюллетеньКомитет по цел МПК Н 051С 231УДК 621.3,049,75:774(088.8)62 .794.422. (088 аобретений и открытийпри Совете МинистровСССР Дата опубликования описан И 11.авторыизобретен В. А. Седо Заявитель РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МОНООКИСИ НИЯ оноокиси ри изго. одержаи фториможет быть использован при изгоговлении сосдпнительных проводников многослойных пленочных схем и конденсаторов с диэлектрикоиз моноокиси кремния. скорости ачеств изобретенредм Раствор для используемый,0 элементов пе ристоводородн ний, от.гичпюг чения скорост шения качеств 5 створ, содерж ристоводородн стого аммони ляют 201 - 22 рода.Известен раствор для травления мкремния, используемый, например, иговлении элементов печатны: схем, сщий фтористоводородную кислотустый аммоний.Цель изобретения - увеличениепроцесса травления и повышениевытравливаемых фигур.Достигается это, тем, что в раствожащий 2 - 22 вес, ч. 48%-ной фториродной кислоты, 6 - 36 вес. ч. фторисмония и 12 - 108 вес. ч. воды, до201 ввес. ч. 30% -ной перекиси водРаствор не разрушает защитнуюфоторезиста, используемую в качествв процессе травления. Это улучшаетвытравливаемых фигур на поверхноски моноокиси кремния, скорость тпри этом увеличивается в 30 - 40 раз. р, содер- стоводотого амбавляюг орода,пленку е маски качество ти пленравления Раствор травления моноокиси кремния, например, при изготовлении чатных схем, содержащий фтоую кислоту и фтористый аммогийся тем, что, с целью увели- и процесса травления и повыа вытравливаемых фигур, в раащий 2 - 22 вес. ч. 48%-ной фтоой кислоты, 6 - 36 вес. ч. фтория и 12 - 108 вес, ч. воды, добаввес, ч, 30% -ной перекиси водо

Смотреть

Заявка

1193778

Д. И. Гериц, В. А. Седол

МПК / Метки

МПК: H05K 3/06

Метки: кремния, моноокиси, раствор, травления

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-240792-rastvor-dlya-travleniya-monookisi-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления моноокиси кремния</a>

Похожие патенты