Номер патента: 298086

Авторы: Сейс, Ходак

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республикавт. свидстельстваависимое К Н 05 с 3/ 16/26-9 с присоединением заявкиКомитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССР(088.8) я 13 Х 197 а опуоликования опи Авторыизобретен Сейсяи и И, Ходак 3 аявител Я ЗАЗОРОВ СПОСОБ СОЗДА 0 Заявлено 08.1 Х,1969 ( Приоритет Опубликовано 11,111.19 Известен способ создания зазоров между электродами в тонкопленочных микроструктурах посредством использования шаблонов с зазорами.Цель изобретения - получение зазоров малой величины,Для этого используют фотошаблон, элементы рисунка в котором представляют собой два соединенных углами равных треугольника, причем у этих треугольников две стороны одного являются продолжениями другого, а величину зазора регулируют изменением угла при вершине треугольника и времени травления.Сущность изобретения состоит в применении фотошаблона, принципиальным отличием которого является отсутсгвие зазора между элементами рисунка, служащими для получения электродов в нанесенных на подложку тонкопленочных микроструктурах.На фиг. 1 представлен беззазорный фото- шаблон, элементы рисунка которого представляют собой два соединенных углами равных треугольника, у которых две стороны одного являются продолжениями сторон другого; на фиг. 2 - получившийся на тонкой пленке после обработки рисунок, наблюдаемый под микроскопом с сильным увеличением.По предлагаемому способу изготавливают фотошаблон, принципиальным отличием кото 10 15 20 25 рого является отсутствие зазора между элементами рисунка фотошаблона, служащими для получения электродов в нанесенных на подложку тонкопленочных микроструктурах.Элементы рисунка фотошаблона представляют собой два соединенных углами равных треугольника, у которых две стороны одного являются продолжениями сторон другого. Величина зазора в тонкой пленке в месте соприкосновения углов треугольников зависит от материала электродов, толщины пленки, величины угла треугольников рисунка фотошаблона и времени травления и хорошо регулируется изменением угла треугольников и временем травления. Получившийся на тонкой пленке рисунок виден под микроскопом с сильным увеличением (см. фиг. 2). При травлении получаются треугольники с несколько закругленными углами. Получены зазоры до 0,2 - 0 3 мкм.Используя размножение, на одной платеразмером 60)(48 млх получено более 450 элементов, имеющих размеры 2 К 1 лтм и расстояние между элементами 1 мм. Наблюдается хорошая повторяемость размеров зазоров по плате,Предмет изобретенияпособ создания зазоров между электрода- в тонкопленочных микросхемах, изготавлиСоставитель Н. Герасимо Редактор А. В. КорнеевТехред Л. Л. Евдонов Корректор О. С. Зайцев Заказ 1168/7 Изд.514 Тираж 473ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете МинисМосква, Ж, Раушская иаб., д, 45 одписиое ов СССР Типография, пр. Сапунова ваемых методом фотолитографии, отлачгпои 4 ийся тем, что, с целью получения зазоров малой величины, используют фотошаблон, элементы рисунка в котором представляют собой два соединенных углами равных треугольника,у которых дВе стороны одногд являются продолжениями другого, а величину зазора регулируют изменением угла при вершине треугольника и времени травления.5

Смотреть

Заявка

1359016

П. Сейс, И. Я. Ходак

МПК / Метки

МПК: H05K 3/06

Метки: зазоров, создания

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-298086-sposob-sozdaniya-zazorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания зазоров</a>

Похожие патенты