271599

Номер патента: 317335

Опубликовано: 05.04.1980

Авторы: Георгиевская, Мельникова, Пелезнева

МПК: H01L 21/32

Метки: нанесенным, пластину, полупроводника, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона

...и фиксируют рисунки наэкране преобразователя инфракрасного излучения в видимое,5Совмещение осуществляют следующим обраПластину с рисунком, нанесенным на однусторону, и фоторезистом, нанесенным на дру.10гую сторону, располагают на столике стандартФной кассеты для совмещения рисунком книзуи освещают снизу лампой с вольфрамовойнитью накала, Сверху накладывают фотошаблон.Столик с пластиной подводят к шаблону, но15между пластиной и шаблоном оставляют зазор,позволяющий перемещать шаблон вдоль плас.тины, Изображения рисунков фокусируют наэкране преобразователя с помощью микроскопа МБС - 2. Шаблон перемещают вдоль пластины до тех пор, пока изображения рисунковпластины и фотошаблона на экране преобразователя не совместятся. Затем пластину...

Номер патента: 414658

Опубликовано: 05.02.1974

Авторы: Дудко, Колегаев, Кравченко

МПК: H01L 21/302

Метки: выполнения, знаков, пластине, полупроводниковой, совмещения

...сполученные известным способом знаки совмещения не выдерживают длительной высокотемпературной обработки в окислительной среде, причем из-за окисления размеры знаков совмещения изменяются, что приводит к изменению расстояний между ними и изменению оптического контраста знаков.Цель изобретения - повышение стойкости знаков совмещения к окислению и обеопечение их высокой контрастности по отношению к окисному слою.Предлагаемый способ отличается тем, что в приповерхностных слоях пластины формируют дислокационные области путем электроннолучевой обработки пластины но заданному рисунку, затем методом фотолитографии вскрыдают в окисном слое окна по заданному рисунку и матируют обнаженные участки поверхности пластины путем вытравливания на них...

Номер патента: 367571

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Авторы, Коровин, Крепцева, Лесковска, Нов, Холстова, Шеходанов

МПК: H01L 21/027

Метки: заготовки, совмещения, схемы, твердой, фотошаблоном, экспонирования

...4, цилиндр 5, 10 жестко связанный с каретками б и 7, корпус8 с закрепленным на нем фотошаблоном 9 и опорную плиту 10. На штоке размещена колонка 11 со сферическим столиком 12 и закрепленной на нем заготовкой 13 твердой 15 схемы. На плите 4 размещена резьбоваявтулка 14 с микровинтом 15 и лимбом 1 б. Рьтчаг 17, шарнирно связанный с подвижной гильзой 3, выступом опирается на основание паза штока манипулятора. На цилиндре 5 20 размещена тормозная камера 18 с плунжером 19.Под действием сжатого воздуха шток двигается вверх и поворачивает рычаг 17, который свободным концом упирается в микро винт 15 и обеспечивает жесткую кинематическую связь с плитой 4 гильзы 3, Система шток - подвижная гильза двигается.вверх до прижатия заготовки 13 к...

Номер патента: 668510

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Глущенко, Косенко

МПК: H01L 21/311

Метки: вскрытия, локальных, окисленной, пластины, поверхности, полупроводниковой, участков

...выращенным на ней слоем окисла 2 и нанесенным дополнительным защитным покрытием 3. На поверхность защитного покрытия нанесена пленка фоторезиста 4, в которой после совмещения и проявления открыты окна 5 и дефекты б.На фиг, 2 показана пластина 1 после травления защитного покрытия 3, нанесения второго слоя фотореэиста 7, второго совмещения и проявления фоторезиста 7 с проявлением дефектов 8 во втором слое фоторезиста, которые не совпадают с дефектами б, протравленными в защитном по 5 10 15 крытии 3.На фиг, 3 показана пластина 1 после удаления фоторезиста 7 и дополнительного защитного покрытия 3 по вскрытыми окна 20 45 После проявления на пластинах травят пленку молибдена 3 в смеси азотной и ортофосфорной кислоты в течение 40 с. Этот...

Номер патента: 1675833

Опубликовано: 07.09.1991

Авторы: Башлай, Кобызев, Омельченко, Тоцкий

МПК: G03B 27/02, G03B 27/44

Метки: подложки, совмещения, фотошаблона, экспонирования

...валов 38,на которых сидят шарикоподшипники 36(фиг, 2).Подвижная рама 33 вместе с зафиксироО ванным на ней фотошаблоном 22 начинаетколебаться на шарикоподшипниках 36, вращающихся эксцентрично и колеблется дотех пор пока базовые знаки 77 на фотошаблоне 23 не совместятся с базовыми знаками5 в датчике 79 базирования.Механизм совмещения в предлагаемомустройстве аналогичен механизму Я 2 МЗ,859, входящему в установку ЭМ - 552 А,Принцип работы механизма совмеще 0 ния серийной установки ЭМА Я 2 М 3.859основан на преобразовании аналогичныхсигналов фотодиодов, реагирующих на световой поток, проходящий через.базовыезнаки фотошаблона в положительные им 5 пульсы переменной скважности при отсутствии совмещения,фотошаблона с егобазовым положением...