Способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем

Номер патента: 208057

Авторы: Борисов, Лубашевский, Хренова

ZIP архив

Текст

208057 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикидетельствависимое от авт. с л. 21 аф, 75 аявлено 04.Х 1.1966 ( 1111132/26-9) вкиисоединением МП 1 Н 0 Комитет по делом зобретений и открыти яри Совете Министров СССРДата опубликования сания 26.11.1968 Авторыизобретени сов, А, В. Лубашевский и Е. В, Хренова итель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТО ТВЕРДЫХ И ГИБРВЕДУЩИХ ДОРНИХ СХЕМ изоб етения Предмет РСпособ изготовления токоведущих дорожектвердых и гибридных схем, основанный на покрытии подложки токопроводящим слоем, 15 например, слоем алюминия, нанесении маскифотолитографическим способом, вытравливании пробельных участков и удалении маски, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества токоведущих алюминиевых дорожек, 2 О в качестве материала для изготовления маскииспользуют ванадий, а для удаления маски применяют азотную кислоту. Известен способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем, который заключается в том, что подложку покрывают токопроводящим слоем, например, алюминия, наносят маску фотолитографическим методом, вытравливают пробельные участки и удаляют маску. Однако в процессе удаления маски про. исходит частичное разрушение дорожек.Описываемый способ отличается тем, что для повышения качества дорожек в качестве материала для изготовления масок используют ванадий.После напыления на подложку слоя алюминия толщиной до 2 х 1 к на него вакуумным напылением наносят слой ванадия толщиной 0,2 - 0,3 ик. На ванадий наносят слой кислотостойкого светочувствительного материала на основе диазосоединений. Через фотошаблон производят засыпку ультрафиолетовыми лучами и после проявления получают на пробельных местах участки ванадиевого слоя, свободные от светочувствительного материала. Ванадий с этих мест удаляют травлением в азотной кислоте, алюминий, находившийся под слоем удаленного ванадия - травлением в щелочи, причем одновременно разрушается и маска из светочувствительного материала. Ванадий, покрывающий токоведущие дорожки, удаляют растворением в азотной кислоте, и на поверхности подложки остаются только алюминиевые токоведущие дорожки.

Смотреть

Заявка

1111132

Б. С. Борисов, А. В. Лубашевский, Е. В. Хренова

МПК / Метки

МПК: H05K 3/06

Метки: гибридных, дорожек, схем, твердых, токоведущих

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-208057-sposob-izgotovleniya-tokovedushhikh-dorozhek-tverdykh-i-gibridnykh-skhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем</a>

Похожие патенты