Патенты с меткой «криотронных»

Номер патента: 305832

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Войтович, Костышин, Михайловскав.в., Романенко

МПК: H05K 3/06

Метки: криотронных, схем

...удаления неполимеризовавшихся участков получают окна в фоторезисте. Травлением металла через окна получают пленки необходимой конфигурации, после чего фоторезист удаляют. С помощью фотолитографии изготавливают криотроны малых размеров, но для этого требуется большое количество технологических операций.Цель изобретения - повысить точность изготовления схем.Достигается это тем, что на слой сверхпроводящего материала требуемой толщины напыляют тонкий защитный слой металла (зоССР и Институ 1" "ой ССР подложку плн промежуточный слой наслой сверхпроводящего материала (нар, олова нлн свшща). На этот слой ндтся тонкий защнтнын слой нз малоакго материала, например золота нлн сстолщиной 30 - 150 нм, а на него активного материала, например Р 1...