Патенты с меткой «302856»

302856

Загрузка...

Номер патента: 302856

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Григорьев, Зайцева, Карантиров, Невский

МПК: G03F 7/26, H05K 3/06

Метки: 302856

...в виде прозрачной стеклянной подложки с нанесенным на ее поверхность маскирующим непрозрачным слоем по заданному рисунку схемы.Цель изобретения - увеличение срока службы фотошаблонов.Для этого в качестве материала кирующего слоя,использована пленка бор металла, например циркония с равномер распределенными по толщине слоя микро нулами циркония и бора,11 рименение борида металла определяет высокую адгезию максирующего слоя к подложке, а гранулы чистого металла и бора служатак бы армирующим звеном, снимающим внутренние напряжения и предотвращающим сноявление микротрещин при тепловых ударах.Сущ ра ы граность фмикроэлэлементние моънул вещным. сооенно важно в азмеры отдельных аилучшее разрешепри размерах гратзких к молекуляротоша ектрон...