Устройство для поддерживания деталей при обработке

(5 Н)(57) ДЕТАЛЕЙ П но полупр содержаще поперечны соединенн ДЛЯ ПОДДЕРЖИВАНИЯ Е, преимуществен-,монокристаллов,становленный в ющих и шарнирно гидроцилиндр, СТРОЙСТВО И ОБРАБОТ водниковы корпус, направля й со стан нои,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ 21) 3368873/18-21(71) Брянский орденинститут транспортн(56) 1. Авторское сИ 712100, кл. В 23 0121/00; В 23 0 3/О 8 размещенный в корпусе и соединенныйс источником гидравлического давления,поршень, установленный в гидроцилиндре со сквозной осевой расточкой, в которой подвижно установлен шток с закрепленным на его конце вакуумным присосом, и оправку для закрепления заготовки, о т л и ч а ю щ. е е с я тем,что, с целью повышения качества отрезаемых пластин и расширения технологических возможностей устройства,оправка для закрепления заготовкиснабжена приводом вращательного дви"жения и размещена соосно с гидроци"линдром, который установлен с возмекностью осевого вращения.1 10292Устройство относится к полупроводниковому производству и предназначенодля поддержания монокристаллов полупроводниковых материалов в процессерезки и съема отрезанных пластин,Известно устройство для поддерживания деталей при обработке, содержащее корпус, установленный в попереч"ных направляющих и шарнирно соединенный со станиной, гидроцилиндр, разме-, 10щенный в корпусе и соединенный с источником гидравлического давления,поршень, установленный в гидроцилиндрсо сквозной осевой расточкой, в которой подвижно установлен шток с закрепленным на его конце вакуумным присосом и оправку для закрепления заготовки 1 3,Однако данное устройство не обеспечивает высокого качества. иэделий.Цель изобретения - повышение качества обрабатываемых пластин и расширения технологических возможностейустройства.Цель достигается тем, что оправкадля закрепления заготовки снабженаприводом вращательного движения и размещена соосно с гидроцилиндром, который установлен с возможностью осевого,вращения.На фиг.1 изображено устройство,общий вид; на фиг.2 - разрез А-А нафиг. 1.Устройство содержит корпус 1 с за"прессованной втулкой 2 и гидроцилиндр3, который установлен во втулке 2 сзазором 4, В зазор 4 через штуцер 5и жиклеры 6 подведен сжатый воздух.Полученный подшипник скольжения с газовой смазкой обеспечивает чрезвы.чайно, легкое практически без трения40осевое вращение гидроцилиндра 3 вкорпусе. Для осевой фиксации гидроцилиндра передняя крышка .7 гидроци-.линдра 3 имеет фланец, который входит в щель, образованную проточкой 45во втулке 2 и накладкой 8, с ширинойна 0,1-0,7 мм больше толщины фланцакрышки 7.Внутри гидроцилиндра 3 расположенпоршень 9, в осевой расточке которого 50находится шток 1 О, имеющий возмож. ность осевого перемещения относительно поршня. На свободном концештока 10 установлен. вакуумный присос11. Внутри штока 10 выполнен канал 5512, который одним концом сообщаетсяс вакуумным присосом, а другим - скольцевой выточкой 13, соединенной каналом через трубопровод 14 с вакуумной установкой (не показана.Сброс отрезанной пластины в накопитель 15 с вакуумного присоса 11 осуществляется сжатым воздухом, для подвода которого от. источника (не по" казан) к вакуумному присосу 11 служит трубопровод 16, канал 17, кольцевая выточка 18, с которой при крайнем левом положении штока 10 (во время от" вода) соединяется канал 12 в штоке. Канал 17 выполнен меньшим диаметром, чем канал 12, что уменьшает пневматический удар при действии сжатого воздуха на отрезанную пластину.Полость 19 гидроцилиндра 3 сообщается через трубопровод 20 с полостью рабочего хода силового цилиндра стола станка, а полость 21 - трубопроводом 22 с полостью обратного хода стола станка,На штоке 10 выполнен паз, в который своим гладким концом входит винт23 ограничивающий осевое перемещение штока 10 в расточке поршня 9.Корпус 1 установлен на верхнем столе станка в поперечных направляющих 24 и шарнирно связан с неподвижно закрепленной на станине станка направляющей линейкой 25 посредством планки 26, свободно скользящей .по линейке в шариковых подшипниках 27.Заготовка 28 закреплена с помощью гидропласта на оправке 29, которая установлена соосно с гидроцилиндром в шариковых подшипниках.30. Для сооб"щения вращения заготовке на стойке31 закреплен электродвигатель 32 оправкой 29 ременной передачей 33. Редуктор связан ременной передачей 33.К торцу заготовки 28 прикреплена теянологическая приставка 34 с цилиндрическим стержнем для базировки и закрепления в оправке 29,Устройство работает следующим об"разом,При включении рабочей подачи станка жидкость под давлением поступаетв рабочую полость силового цилиндраподачи стола станка и одновременночерез" трубопровод 20 в полость 19гидроцилиндра 3. При этом вакуумныйприсос 11 получает два последовательных перемещения: первое - быстроевместе с поршнем 10 до упора в крышку 7 под действием жидкости, приэтом расстояние между торцами присо"са и заготовки составляет 0,5-1 мм,и второе - медленное, обеспечиваю3 10292 щее безударный контакт с торцом заготовки 28 путем создания вакуума между торцаии присоса 11 и заготовки от постоянно включенной вакуумной ли-, нии через трубопровод 1 Ь и кольцевую выточку 13В процессе резания вакуумный присос 11 гюсредством вакуума находится, в постоянном контакте с от. резаемой пластикой, тем самым увеличивая ее прочность. 10При отрезании пластин .методом "вращающегося кристалла" заготовка, закрепленная на оправке 29, получает дополнительное вращение от электродвигателя 32 с встроенныи редуктором 1 через ременную передачу 33. Вращение от заготовки через отрезаемую пластину, вакуумкый насос 11 и винт 23, входящий в выточку,на штоке. 10, передается гидроцилиндру 3, представляющему совместно с втулкой 2 подшипник скольжения с газовой смазкой, в смазочный зазор 4 которого через штуцер 5 и жиклеры 6 подведен сжатый воздух.После отрезки пластина надежно удерживается на присосе 11 вакуумом. В это время срабатывает концевой переключатель столастанка, ижидкость начинает поступать в полость обратного хода цилиндра подачи стола стан 30 ка и далее через трубопровод 22 в по 68 4лость 21 гидроцилиндра 3. При этом гюршень 9 перемещается до упора в левую стенку гидроцилиндра 3, одно-. временно с помощью винта 23 передвигая в том же направлении шток 10 и присос с отрезаемой пластинойПри движении штока 10 канал 12, пройдя кольцевую выточку 13, отключается от линии вакуума и соединяет" ся через выточку 18, канал 17 и трубопровод 16 с магистралью сжатого воздуха. Сжатый воздух, попадая из , канала 17 с малым сечением в канал 9 большого сечения, снижает свое. давление и обеспечивает легкое отделение пластины от присоса и сброс ее в накопитель 15.При повторном включениирабочей подачи станка цикл повторяется автоматическии.Использование изобретения позволяет практически обеспечить разрезание слитков полупроводниковых материалов методом "вращающегося кристалла", т,е, расширяет технологические возможности устройства, а также получать шароховатость поверхности не более й = 0,5-0,6 мки, откло" нение от геометрической Фррмы 3- ч икм, что улучшает качество отрезаемых пластин в среднеи в 2,5 раза.НИИПИ Заказ 1990(51 Тираж 703 Подписн Фи ППП "Патент",3029268 Ужгород, ул, Проек