Тара для полупроводниковых пластин

СОЮЭ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК И 9) (И) 02 А 3(50 Н 01 . 21/00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(56) 1. Авторское свидетельство СССРИф 572402, кл. В 65 0 45/00, 1975.2. Авторское свидетельство СССРИ 509501, кл. В 65 О 83/08, 1974.(54) (57) ТАРА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХПЛАСТИН, преимущественно кремниевых,содержащая корпус, крышку, замок и ручку, шарнирно соединенную с крышкойпосредством оси, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью расширенияфункциональных и эксплуатационныхвоэможностей, она снабжена подпружиненными крышками и фиксатором, расположенным на оси ручки, причем замоквыполнен в виде защелки с выступом иГ-образным упором, установленным с,возможностью взаимодействия с фиксатором оси ручки, а корпус снабжен кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его донной части.1 10468Изобретение относится к оборудованию для производства полуйроводниковых приборов и может быть применено для храненияи транспортированиякремниевых пластин на различных операциях технологического процесса.Известен контейнер для транспортирования концентратов цветных, металловсодержащий корпус, крышку, ручку изамок Г 1, 1 ООднако данный контейнер не приспособлен для перемещения тонкихплоских изделий и в силу конструктивных особенностей не может быть использован для транспортировки полупроводниковых пластин.Наиболее близкой к предлагаемойявляется тара, состоящая из корпуса,крышки, замка и ручки, шарнирно соединенной с крышкой посредством. 20осиГИзвестная тара предназначена дляобеспечения герметизации помещенныхвнутри изделий и неудобна для размещения и транспортировки лодочек с 25полупроводниковыми пластинами, таккак открывает доступ к ним толькочерез отверстие в верхней части тары. Кроме того, она не позволяет ме"ханизировать загрузку и выгрузкулодочек из-за отсутствия торцовыхотверстий,Цель изобретения - расширениефункциональных и эксплуатационныхвозможностей тары,Указанная цель достигается тем, цто тара для полупроводниковых плас" тин, преимущественно кремниевых, содержащая корпус, крышку, замок и ручку, шарнирно соединенную с крышкой посредством оси, снабжена подпружи" ненными крышками и фиксатором, рас" положенным на оси ручки, причем эа" мок выполнен в виде защелки с выступом и Г-образным упором, установлен" ным с возможностью взаимодействия с фиксатором оси ручки, а корпус снабжен кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его донной части.На фиг. 1 изображена тара с открытой крышкой общий вид; на фиг.2 то же, с закрытой крышкой; на фиг.3,- разрез А-А на фиг,2 (ручка поднята на фиг,4 - узелна фиг.2 ( ручка в поднятом положении); на фиг.5 - то 55 же(ручка в опущенном положении 2.Тара для полупроводниковых пластинфиг. 1-3) состоит иэ корпуса 1 и 02 2крышки 2, изготовленных из листовой нержавеющей стали толщиной 0,4 мм и соединенных шарниром 3, С боков тары расположены подпружиненные крышки 4, которые удерживаются в закрытом или открытом положении пружинными меха-. низмами 5. Ручка 6 для переноса тары жестко связана с осью 7, имеющей вцентре фиксатор 8. Тара снабжена замком, представляющим собой соединенную с крышкой 2 защелку 9, выполненную в виде упругой металлическойчпластины, на одном конце которои расположен Г-образный упор 10,а на другом - выступ 11, заходящий при закрытии тары за скобу 12, прикрепленную к корпусу 1. Защелка 9 выполнена с прорезью 13, в которую входит прикрепленный к крышке 2 металлический стержень 14 с пружиной 15, служащей для удержания защелки в закрытом положении. На дне тары закреплена штифтом 16 кварцевая защитная подложка 17, необходимая для того, цтобы предупредить появление задиров металла возникающих на внутренней поверхности тары при перемещении лодочки 18 скремниевыми пластинами 19 во времязагрузки вдиффузионную печь и исключить возможность попадания металлических частиц на направляющие лодочки, Перемещение лодочки в печьосуществлется с помощью толкателя 20,соединенного со штоком 2 1, Тара установлена на ножках 22 и удерживается от передвижения в загрузочной камере направляющими 23,Для размещения лодочки 18 с кремниевыми пластинами 19 внутри тарыпоследняя устанавливается на ножках 22, опускается ручка 6, откидываются назад подпружиненные крышки 4 и нажимается Г-образный упор 1 Озащелки 9. При нажатии на Г-образньйупор 10 сжимается пружина 15, слегкаприподнимается и выходит из-за скобы 12 выступ 1 защелки 9 и открывается верхняя крышка 2. После размещения на кварцевой подложке 17 лодочки 18 опускается верхняя крышка 2,тара запирается с помощью защелки 9,закрываются подпружиненные крышки 4и тара транспортируется за ручку 6 взагрузочную камеру диффузионной печи. Во время переноски, когда ручка 6находится в поднятом положении, Г-образный упор 10 защелки 9 взаимодействует с фиксатором 8 оси 7 для предупреждения случайного нажатия упо3 10468 ра 10 и последующего неожиданного открывания, крыаки 2. Помещенная в загрузочную камеру тара открывается й толкателем 20 лодочка 18 передвигается ,в печь. По окончании процесса диффу"5 зии.лодочка с помощью толкателя сноваМремещается в тару. 02 4Использование предлагаемой та" ры значительно облегчает транспортировку полупроводниковых пластин, позволяет за счет механизации процесса загрузки и вы- . грузки лодочек ускорить обработку пластин.тор А.Зимокос 7738/508 НИИ н 11303 Филиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул, Проект Тир Государс елам иэо Москва, Жж 703. Подписвенного комитета СССРретений и открытий35, Раущская наб., д.