Билоголовка

Номер патента: 1168635

Опубликовано: 23.07.1985

Авторы: Билоголовка, Волощук, Кустов, Мазуркевич, Пешехонова, Щербина

МПК: C30B 33/00, H01L 21/00

Метки: жидкофазной, кассета, поверхности, подложек

...10 в межоперационный период.На фиг. 1 изображена кассета для жидкофаэной обработки поверхности подложек, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сверху. 15Кассета состоит иэ корпуса, содержащего основание и фиксатор подложек, которые при помощи направляющей стойки 1, гайки 2 и шпилек 3 жестко соединены между собой. Осно ванне кассеты образовано тремя параллельно расположенными распределяющими трубками 4, которые посредством несущей трубки 5 соединены с направляющей стойкой 1. В последней имеет ся осевое отверстие для подачи газа, сообщающееся посредством несущей трубки 5 с полостью распределяющих трубок 4, в которых прорезаны попе,речные пазы для размещения подложек, 30 причем глубина пазов больше толщины стенок распределяюидх трубок, что...