Способ определения эффективной температуры горячих носителей тока в полупроводнике
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 550882
Авторы: Версоцкас, Кальвенас, Юзкевичене
Текст
А СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК БО 55 О 882 31 Оо ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ идете 31/О СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬ 1 ТИИ(71) Институт Физики полупроводниковАН Литовской ССР(54)(57) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ ГОРЯЧИХ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА В ПОЛУПРОВОДНИКЕ, заключающийся втом, что в однородном образце создают градиент концентрации горячих носителей тока, измеряют возникающую термо-ЭДС, и по ее величине судят об зФфективной температуре, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений, между омическим контактом, расположенным на одной стороне образца, и емкостным контактом - на другой прикладывают постоянное напряжение, поляр" ность которого на емкостном контак" те противоположна знаку основных носителей тока, затем снимают, это напряжение, а на часть образца с емкостным контактом накладывают импульс СВЧ излучения и измеряют импульс возникающей термо-Эдс,Д550882 Редактор О,ЮрковаТехред Ж. Кастелевич Корректор;С Шекмар Заказ 6475/2 , Тираж 873 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4 Изобретение относится к областиопределения электрических свойств полупроводниковых материалов.Эффективную температуру горячихносителей тока в полупроводнике обычно определяют по величине термоэдс, 5обусловленной градиентом концентрации носителей тока, который создаютпосредством лвгирования полупроводника, что является технологически слож, ным и трудно контролируемым процес Осом. В процессе измерения наряду сполезным сигналом обычно появляютсяи нежелательные ЭДС. Все это приводит к снижению точности измерений.В известном способе определения 15эффективной температуры горячих носителей тока в полупроводнике 1в части однородного образца с контактами, создаютэлектрическое поле,причем контакты находятся вне области электрического поля, освещают образец светом, в результате чего создается необходимый градиент концентрации носителей тока, приводящий квозникновению ЭДС.. Однако в известном способе необходимо оцениватй создаваемый светомградиент концентрации носителей тока,что значительно снижает точность измерений.Целью изобретения является повыше-З 0ние точности измерений,Это достигается тем, что по предлагаемому способу посредством элект"рического поля, приложенного к образцу между омическим контактом на одной 35 стороне образца и,емкостным контактом - на другой, заполняют медленные поверхностные состояния основными носителями така, затем после выключения электрического поля на часть образца с емкостным контактом наклады- вают импульс СВЧ излучения и измеряют импульс возникающей термо-ЭДС,Схема измерений по Описываемому способу показана на чертеже.В образце элвктричесКИм полем создается слой 1, обедненный основными носителями тока. Между образцом и стенкой резонатора, в который он по" мещен, существует диэлектрический зазор 2. При выполнении условия где в - заряд электрона К - постоянная Кольцмана, 7, - температура решетки полупроводника.. В полупроводнике, помещенном в электрическое поле , температура носителей тока ТВ (Е) связана с тер. моэдс следующим соотношениемК Те еТ 5 Е . 1 иднор ЧТО В дОстатОЧОно широких пределах изменений электричеокого поля величина термоэлектродвижущей силы однозначно связана с температурой горячих носителей то ка в полупроводнике.
СмотретьЗаявка
2093411, 03.01.1975
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ АН ЛИТССР
КАЛЬВЕНАС С. П, ЮЗКЕВИЧЕНЕ М. М, ВЕРСОЦКАС А. П
МПК / Метки
МПК: G01R 31/26, H01L 21/00
Метки: горячих, носителей, полупроводнике, температуры, эффективной
Опубликовано: 23.06.1983
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-550882-sposob-opredeleniya-ehffektivnojj-temperatury-goryachikh-nositelejj-toka-v-poluprovodnike.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения эффективной температуры горячих носителей тока в полупроводнике</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления многослойных обечаек для сосудов высокого давления
Следующий патент: Аппарат для выращивания микроорганизмов
Случайный патент: Способ определения колебательного потенциала антенны