Патенты с меткой «интерферометр»

Номер патента: 1518664

Опубликовано: 30.10.1989

Авторы: Кудряшов, Лакота, Тихонов, Шмальгаузен

МПК: G01B 9/02

Метки: диагностический, интерферометр, стабилизированный

...выполнен в виде одночастот 1ного полупроводникового лазера, управляемого по частоте, с блоком питания, фотоприемник выполнен в виде двух фотодиодов, расположенных на одной подложке и разделенных промежутком, величина которого не более 1/8 ширины интерференционной полосы, ыход блока управления через блок пигания подключен к лазеруИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля профиля поверхностиоптических деталей,Цель изобретения - повышение точности измерений за счет стабилизацииинтер,:,еренционной картины с помощьюотрицательной обратной связи с большим частотным диапазоном и амплитудой 10коррек ии,На -)ертеже приведена блок-схемасдиагностического...

Номер патента: 1523905

Опубликовано: 23.11.1989

Авторы: Назмеев, Феоктистов, Хуснутдинов

МПК: G01B 9/02

Метки: асферических, второго, интерферометр, поверхностей, порядка

...которой равен рассе,янию между фокусами контролируемойасферической поверхности 12, олок регистрации, оптически связанный черезсветоделитель 4 с линзой 9, Линза 9установлена так, что аплацатическаяточка-предмет первой поверхности совмещена с фокусом объектива 7,45Контролируемая асферическая поверхность 12 устанавливается так, что один из ее фокусов совмещается с вершиной второй поверхности 11 линзы 9, а другой ее фокус совмещен с центром кривизны поверхности 11. При этом линза 9 и контролируемая асферическая поверхность 12 составляют автоколлимационцую систему, Ножевая диафрагма 8 перекрывает половину пучка лучей, выходящего из объектива 7 и служит 55 для экранировация пучка лучей, отраженного вершиной поверхности 1 в обратном...

Номер патента: 1523906

Опубликовано: 23.11.1989

Авторы: Мамедов, Соколовский

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, сканирующий

...6, а уголсх определен из соотношенияы: эт 1(1)6 где Азаданная разность хода лучей интерферометра; 1толщина пластин; п - показатели преломления мате риала пластин; 9заданное максимальное значение угла поворота пластин.интерферометр работает следующм образом.Световой пучок от источнка падаю ет на светоделнтель 1 и делится на два параллельных пучка. Оба пучка проходят через узел сканнрованя, С состоящий их плоскопараллельных пластин 3 н 4, установленным под углом с(одна к другой на вращающемся основанми 5. Световой пучок, падающий На плоскопараллельную пластину (например, 3) под углом 9ПРН 0 бреТаеТ разность хода Ь(9) (ПО сравнению с 9 в о), определяемую выражениемгде 1толщина пластины; п - показатель преломления материала...

Номер патента: 1525444

Опубликовано: 30.11.1989

Автор: Подымака

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений

...последовательноот поверхностей 9 и 8; а эатем -5, 6, 2, 3, 6, 5, 3, 2, снова достигает отражателя 10. Теперь ходсигнальною луча в отражателе 10противоположен предыдущему и направлен от поверхности 11 к 12, а впространстве отражатадей 1 и 4 междуповерхностями 2, 3, 5, 6, 3 2, 5, 6Далее сигнальный луч, отражаясь от поверхностей 8.и 9 отражателя 7 и проходя через расщепитель 14, образует два интерференционных поля с опорными лучами 18 и 19. Таким образом, в интерферометре сигнальный луч образует двадцать дискретных измерительных проходов, которые пространственно распределены в четырех параллельных плоскостях. Расстояние Й между измерительными плоскостями равно проекции иа плоскость, перпендикулярную поверхностям 1 1 и 12, расстояние...

Номер патента: 1525445

Опубликовано: 30.11.1989

Автор: Старков

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, перемещений

...по амплитуде полупрозрачным слоем на отраженный пучок ",б" и проходящий "в" внутрь призмы. Проходящий пучок "в" отражается на гранях полного внутреннего отражения и возвращается обратно на полупрозрачную поверхность. Отраженные пучки а и б направляются вдоль оси Х и падают на гипотенузную грань отражателя 4. Пучок "б" преломляется, отражается на гранях отразателя 4 и возвращается параллельно самому себе вновь на светоделитель 3, где встречается с пучком "в", Оба пучка "б" и "в" делятся вторично по амплитуде, интерферируют и создают две системы интерференционных полос в плоскостях регистрирующих блоков 6 и 7.Пучок "а" падает на гипотенуэную грань отражателя 4 в месте полупрозрачного слоя, где делится нм по амплитуде нв два равных...

Номер патента: 1525446

Опубликовано: 30.11.1989

Авторы: Савкин, Федченко

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений

...оптически связанас зеркалом 5, а вторая - с зеркалом7, две световозвращающие системы16 и 17, установленные в каждой ветви интерферометра, два дополнительнык уголковых отражателя 18 и 19,оптически связывающие световозвращающие системы 14, 15 и 16, 17 соответственно. Каждая иэ световозвращенных систем состоит из уголковогоотражателя соответственно 20-23,укрепленного на каретке 13, двух 25уголковых отражателей, соответственно 24, 25, 26, 27 и 28, 29, 30, 31и двух зеркал 32 и 33 (фиг.З), оптически связанных с уголковым отражателем соответственно 20, 21, 22, 23и установленных таким образом, чторебра уголковых отражателей соответственно 24 и 28 (Фиг,1), 25 и 29,26 и 30, 27 и 31 перпендикулярныребру уголкового отражателя соответственно 20,...

Номер патента: 1536194

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Гусейнов, Попков

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...на исследуемом объекте 9. Первый (или один из следующих) дифракционный максимум 12 отраженного от ре 5 щетки 8 пучка 11 проходит через полупрозрачное зеркало 5 и попадает на экран 6, где в результате интерференции световых пучков 10 и 12 образуется интерференционная картина, на блюдаемая через микроскоп 7. С помощью зеркал 4 и 5 оптическая схема юстируется таким образом, чтобь 1 угол между пучками 10 и 12 был близок нулю.Направление распространения дифрак 15 ционных максимумов излучения, отра- женного от решетки 8, или углы дифракции с (где И = 1,2,3) определяются из условия:зпц= 1 М,где М - номер дифракционного максимума;- длина волны излучения лазера; 25Ь - период дифракционной решетки,При интерференции двух коллимированных световых...

Номер патента: 1536195

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Бакеркин, Коварский, Контиевский

МПК: G01B 9/02

Метки: бокового, интерферометр, сдвига

...светоделителъную боковую грань, а другая часть попадаетв призму 2, и после отражения от кры ши призмы 2 - на светоделительнуюгрань 1, В результате взаимодействияволновых Фронтов возникает интеферен.ционная картина.55Призма 2 установлена с возможностью смещений по трем направлениямдва из которых являются рабочими длясоздания необходимой величины сдвигаД волновых Фронтов, а одно - остировочным. Смещение призмы 2 возможно в плоскости главного сечения призмы, проходящей через ребро крыши, в направлении, перпендикулярном ребру крыши (рабочее), в направлении, параллельном ребру крьши(юстировочное) . а также в направлении, перпендикулярном плоскости главного сечения призмы (рабочее). Сдвиг 6 волновых фронтов получается в результате смещения...

Номер патента: 1548663

Опубликовано: 07.03.1990

Авторы: Никитин, Удалов

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: вращения, интерферометр, оптических, поверхностей

...вокруг центра кривизны образцовой сферическойповерхности. Отклонение профиляконтролируемой детали определяется как разность измеренного по Фотографии порядка интерференции на любом репере с расчетным для этого репера (табличным) значением. 3 ил. рых нанесены реперы в виде частей(дуг) концентричных колец,Интерферометр работает следующимобразом.Контролируемую деталь 8 устанавливают на поворотном столе 1 и центрируют так, что ее ось симметрии совпадает с осью вращения стола 1, ацентр кривизны средней зоны совпадает с центром кривизны образцовойсферической поверхности, Параллель,ный пучок света от лазера 3 проходит объектив 4 и формирует в егоФокусе точечный источник света, Осветительный. объектив 6 с помощью светоделителя 5 проектирует...

Номер патента: 1566214

Опубликовано: 23.05.1990

Авторы: Клотиньш, Крейцбергс, Орлов, Штернберг

МПК: G01B 21/02, G02F 1/00

Метки: гетеродинный, интерферометр, лазерный, модулятор, электрооптический

...имеет вид где Е Е - максималыие величиныхв усклярных: компонентовэлектрического поля вплоскости чертежа илерпендикулярно плоскости чертежа;8 - фазы комонент Е, ЕЫ - оптическая частота;- время.515662 4 6Модулятор 10 характеризуется мат- а азимутальный угол модулятора равенрицей Джонса 4) . и лежит между плоскостями поляри 1 ИНзации первого 3 и второго 4 пучков,е О На выходе, модулятораО частота.0-е (2)5первого 3 и второго 4 пучков сдвинута на величину 2 й соответственно,где Я- частота врещеиия оптической вверх и вниз по отношению к частотеоси, входного пучка;+(сд 2 й)1 3 ,2 Ц " е1,"Е +(Ю1 3 1291 " " Я (3)0 -е Е есУсловия для интерпретации и Фото- ствующие матрицы Джонса равны:детектирования первого и второго пуч- для анализатора 6ков...

Номер патента: 1567868

Опубликовано: 30.05.1990

Авторы: Борисевич, Ларченко, Леонов, Табакаев

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, сканирующий, угловой

...зеркала 3 и зеркала 4. 1 ддощий на формирователь 2 пучков поток излучения лазера разделяется полупрозрачным зеркалом 3, стоящим на входе на двд потока прямой и отраженный. Отраженныи от полупрозрачного зеркала 8 поток излучения направляется на обьектив 5, и прямой на зеркало 4, расположенное под углом к оптической оси лазера 1. Отраженнь(й ог зеркала 4 поток излучения направляется также нд об.ьектив 5. Расстояние междУ сями двух приходя(цих на объектив пот- ков излучения выбирается из условия где г, длина волны излучения .)зерд;Г, пространственная часто гд дифракционной решетки;фокусное рдссгояние объектива;Л( и Л -номера взаимодействуя)шихпорядков дифракции.Вышедшие из формирователя 2 пхцков потоки излучения попадают в...

Номер патента: 1567869

Опубликовано: 30.05.1990

Авторы: Носов, Переходько, Стеблин

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, перемещений

...соединенными светоцувствительными площадками, в результате чего фотоприемник представляет собой два фотоприемника со светочувствительными площадками размером 1 Х 2 мм в об(цем корпусе.Устройство работает следующим образом.Луч От источника 1 когерентного излучения нона;шет в светоделитель 2 на полунрозрачнук) зону ), из которой он выходит н дву направлениях: луч а попадает на второй голкоиый отражатель 9 и луч в на нрн(,11 ОГковый отражатель 7. ОтразивИись Ог отражателей 9 и 7, лучи а и в ион(д( ОИа зеркальную 4 и прозрачную 5 зоны светоделителя 2 соответственно. ,1 ч а, Отразившись от зеркальной зоны 4, и луч в, прошедший прозрачную зону 5, с помошьк третьего уголкового отражателя 6 смешаются но высоте не менее, чем на диаметр...

Номер патента: 1567870

Опубликовано: 30.05.1990

Автор: Переходько

МПК: G01B 9/02

Метки: величин, интерферометр, линейных

...5 попадает нз отражатель 7 со смещением относительно ребра 8 рабочего двугранного угла, где смецдается в вертикальном направлении, после чего луч возвращается по тому же пути в обратном направлении опять на свето- делитель только со смешением по вертикали. Второй луч с после светоделителя 2 отражается от зеркала 14 и отражателя 16, после которого смешается в плоскости чертежа и в обратной последовательности возвра 1 цается на светоделитель, но уже на зеркальную его зону 4. После отражения от зеркальной зоны 4 луч последовательно отражается от дополнительного огражателя 7 со сл 1 егцениел 1 чо высоте зеркальной зоны 4 светоделителя и точно в обр;тной последовательности возвращаетс, нз полупрозрачную зону 3 светоделителя, где смешивается с...

Номер патента: 1578457

Опубликовано: 15.07.1990

Авторы: Кокоулин, Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...2 на опорный, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и на измерительный, отраженный от нее. Измерительный пучок .отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачнойповерхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси У в зонеприемника 6 света формируется интер.ференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос (пятен).Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемещения отражателя 5,Плоскопараллельная пластина 4необходима для финишного совмещенияопорного и отраженного лучей на. приемнике 6 света, так как юстировочнаяподвижка зеркал 2 и 3 и уголковогоотражателя 5 приводит одновременнокак к смещению опорного и измеритель-ного, лучей параллельно друг...

Номер патента: 1578458

Опубликовано: 15.07.1990

Автор: Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...за счет воэможности задания требуемой точности измерения, например, при использовании в устройствах совмеще- ния для микролитографии.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для измерения линейных перемещений.Интерферсметр содержит источник 1 света, полупрозрачные зеркала 2 и 3,расположенные на оси источника 1 света, уголковые отражатели 4 и 5 (уголковые отражатели могут состоять как из двух, так и из трех отражающих поверхностей), расположенные по обе стороны от полупрозрачных.зеркал 2 и 3, со смещением по оси Х друг относительно друга. Величина смещения а определяется размером в полупрозрачных зеркал (эеркало 2 не должно перекрывать пучки света, отраженные от отражателей 4 и 5, то есть ав/2) Один из уголковых...

Номер патента: 1587326

Опубликовано: 23.08.1990

Автор: Амстиславский

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, учебный

...зависимости от положения второй призмы 5 в большей или меньшей степени покрывают полутемную область, соответственно увеличивая ее освещенность в области перекрывания, Прижатие15 20 призм и образование тонкой плоскопараллельной воздушной прослойки между гипотенузными гранями призм 4 и 5 приводит к полному перекрыванию бликов и в случае подготовленного интерферометра, когда соприкасающиеся грани призм тщательно очищены от пыли, в области перекрыванияформируются яркие и насыщенные красками интерференционные спектры,Отличительная особенность явления состоит в том, что картина представляет собойсовокупность полос равного наклона самыхпервых интерференционных порядков, и высокая степень временной ксгерентности перекрывающихся пучков...

Номер патента: 1587327

Опубликовано: 23.08.1990

Авторы: Мирошниченко, Салоид

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...к нормальному падению, на равнобедренную призму 3 с угломпри вершине 90, При этом траектория прохождения излучения не меняется, На малойграни 4 призмы 2 происходит деление потока излучения на два. Один поток, отразившись от светоделительного покрытия черезуголковый отражатель 6, попадает на ком-пенсирующую призму 8 и после отраженияпроходит все указанные элементы 4 и 3 вобратном направлении. Прошедший же через светоделительное покрытие поток проходит последовательно элементы 2, 7 и 8 впрямом направлении, После отражения вкомпенсирующей призме 8 лазерный лучпроходит элементы 7 и 2. Можно подобрать 45такое положение лазера 1, моноблока, состоящего из элементов 2, 3 и 8, при которомлучи, пришедшие от двух отражателей б и 7,совмещаются в...

Номер патента: 1587328

Опубликовано: 23.08.1990

Авторы: Бычков, Городишенин, Карцев, Коваленко, Титков, Черепица

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, расстояний

...направления излучения, и фотоприемник. блок измерения отношения сигналови СВЧ-генератор, выход которого электрически соединен с кристаллом, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью расширениядиапазона измерений, интерферометр снабжен первой и второй четвертьволновымипластинками, дополнительным двулучепреломляющим кристаллом, дополнительным фотоприемником и призмой Валастона, перваячетвертьволновая пластинка размещена между источником света и двулучепреломляющимкристаллом, дополнительный двулучепреломляющий кристалл, вторая четвертьволнов упластинка и призма Валастона установле Ьпоследовательно по ходу излучения между полупрозрачным зеркалом и фотоприемником,5 дополнительный фотоприемник размещен походу дополнительно...

Номер патента: 1597527

Опубликовано: 07.10.1990

Автор: Соловьев

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, клиновидности, оптических, пластин

...зрения изображенияполос интерференционной картины постоянной ширины независимо от расстояния между отражателями 8 и 9. Объек 2 О тив 4 с рефлектором в виде зеркал 6и 7 образуют телескопическую систему,Контролируемую пластину 13 устанавливают на столик 5 так, чтобы нор 25 мали к ее рабочим граням составлялинебольшой угол с оптической осьюобъектива 4, Пучки лучей источника 1излучения (например, лазера) проходятчерез конденсор 2, светоделитель 330 и объектив 4 и параллельным пучкомпадают на грани контролируемой пластины 13 и после отражения от них проходят через объектив 4, отражаютсяот светоделителя 3, и последовательно35 отразившись от зеркал 6 и 7 рефлектора, падают на отражатели 8 и 9 в виде волнового Фронта. Перед...

Номер патента: 1597528

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Башков, Воронов, Мурзаханов, Тагиров

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, объекта, прямолинейности

...чего пучки света интерферируют между собой, Результирующую интерференционную картину перехватывают регистратором 9, который осуществляет счет интерференционных полос, проходящих через фиксированную точку в плоскости регистратора, например щелевую диафрагму.сПри наличии линейного смещения углового отражателя 2 от оси распространения пучка света лазера 1, например, вверх на величину Ь переотраженный пучок света от отражателя 2 также смещается вверх на величину 2 Ьр 20 (на фиг. 1 показано. пунктиром), В выпуклых цилиндрических зеркалах 4 точки падения и отражения луча смещаются вправо. Наличие кривизны в выпуклых зеркалах 4 приводит к изменению угла 25 падения луча на светоделитель 5 на величину с . Пучок света при этом в канале...

Номер патента: 1405423

Опубликовано: 15.10.1990

Авторы: Батай, Зезюля

МПК: G01B 9/021

Метки: интерферометр, лазерный

...3 разности ходаоптических лучей перемещением призм4 и 5, Объектный пучок интерферометра(фиг. 1) светоделителем 2 отклоняетсяв оптическую систему 10 расширенияпучка и после расширения направляется в резонатор 11. Опорный пучок ин",терферомвтра через светоделитель 2направляется в резонатор 5. В случае смещения в интерферометре резонаторов опорнс"о и объектного каналов (фиг 2) объектный и опорный пучки полупрозрачным зеркалом 18 направляются в резонатор 1.На выходе резонаторов 11 и 15 (или резонатора 11 в случае совмещения резонаторов опорного и объектного каналов) как в объектном, так и в опорном канале появляется последовательность световых импульсов, интенсивность которых спадает по за- кону1405423 Б 10 15 20 25 30 где 1 -...

Номер патента: 1606855

Опубликовано: 15.11.1990

Автор: Юрлов

МПК: G01B 21/00

Метки: интерферометр, сканирующий

...быть условно подразделена на два процесса: формирование сканирующей интерферограммы; собственно контроль прямолинейности или плоскостности относительно интерферограммы.Процесс формирования сканирующей интерферограммы осуществляется следующим образом,Лв ( ио;с 1- ч --- сопзт = с,ЭАП Зо,ЗК,ЗМ(фиг. 1) могут быть выпол 20 нены, "например, в виде пластинок из пьезоэлектрических кристаллов с двумяметаллизированными обкладками для подведения сигнала, одна из которых находится в непосредственном контакте с входнойгранью АОМ 2, При этом возбужденные имив АОМ 2 ультразвуковые пучки параллельны и находятся в зоне действия пучка лазера 1. АОМ 2 имеет на противоположнойграни скос или поглотитель ультразвука для30 устранения режима стоячих волн,...

Номер патента: 1610248

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Горшков, Лазарева, Пуряев, Фомин

МПК: G01B 9/02

Метки: выпуклых, интерферометр, поверхности, сферических, формы

...линзовой системы в сторону контролируемой детали 13 обращают ту из эталонных поверхностей,радиус кривизны которой ближе по значению к радиусу кривизны контролируемой поверхности. В процессе работы интерферометра на эталонную и контролируемую поверхности должно обеспечиваться нормальное падение лучей, Афокальный компенсатор и линзовая система сообща преобразуют гомоцентрический пучок, выходящий из обьектива 7, в гомоцентрический пучок, вершина которого совмещена с точками С и Ск, где располагаются центры кривизны эталонной и контролируемой поверхностей 12 и 13 соответственно. Рабочая интерференционная картина образуется в результате взаимодействия волновых фронтов, отраженных от поверхностей 13 и 12, причем поверхность 12 выполняет...

Номер патента: 1610249

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Байков, Бржозовский, Игнатьев, Мартынов

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, перемещений

...излучаемого светового потока; Я частота модуляции. Часть луча с частотой в - Я, имеющая вертикальную поляризацию, отклоняется первым поляризационным светоделителем 3 на уголковый отражатель 6, пройдя через который, сме шивается на третьем светосоединителе 12 с неотклоненной первым поляриэационным светоделителем 3 частью луча, имеющей горизонтальную поляризацию и прошедший через уголковый отражатель 7, С выхода третьего светосоединителя 12 на второй 5 светоделитель 9 поступает луч, содержащий две составляющие с оптической разностью хода, равной половине длины когерентности источника излучения, и ортогональными поляризациями.Часть этого луча смешивается на втором светосоединителе 11 с частью луча, имеющего частоту излучения щ,...

Номер патента: 1610250

Опубликовано: 30.11.1990

Автор: Мазуренко

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, многолучевой

...точке О, каждый раз смещается на зеркале 1 на величину 2 Л, где Ь- расстояние между центрами кривизны С 2 и Сз зеркал 2 и 3. Таким образом, полное число М лучей, интерферирующих в точке В, ограничено величинойМ = - ,(1)О2 Лгде О - поперечный разрез зеркала 1,Разность хода Я интерферирующих лучей Л 1, Л 2, а также последующих лучей, попадающих в точку В, равна с точностью до сферических аберраций. = 4 р + 2 Л Р/р, (2) где р - радиус кривизны зеркал;Р - расстояние от точки В до оси интерферометра, т,е. расстояние ВС 1. В выражении (2) первый член суммы соответствует разности хода в интерферометре со сферическими зеркалами. Это член не зависит от направления и положения пада ющего на интерферометр луча. Второй членсуммы зависит от...

Номер патента: 1613849

Опубликовано: 15.12.1990

Авторы: Богачев, Воеводин, Гржехник-Жуковский, Левиков

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, квазиплоских, поверхностей, прогибов

...с каждым зеркалом так, что образуют между собой зубчатое зацепление. Составитель М. МининТехред Л.ОлийныкКорректор Т, Колб Редактор А. Огар Заказ 3885 Тираж 492 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям пи ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г,ужгород, ул. Гагарина, 101 Из обретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием изобретения по авт, св,У 578562.Бель. изобретения - расширение диапазона контролируемых прогибов деталей,На чертеже приведена схема интерферометра для контроля прогибов квазиплоских поверхностей деталей,Интерферометр содержит осветительне показан), выполненный в виделазера и. коллиматора, зеркало...

Номер патента: 1619014

Опубликовано: 07.01.1991

Авторы: Артеменко, Плохов, Речкалов

МПК: G01B 9/021

Метки: интерферометр

...совпадающих с направлениями от центра линзы на отверстия диафрагмы 4, фокусируется линзой 3 на поверхности плоских зеркал 5 и 6, размещенных в точечных отверстиях диафрагмы 4, расположенной в фокальной плоскости линз 3 и 7, Выделенные пучки зеркалами 5 и 6 направляются на линзу 7, которой фокусируются в плоскости фоторегистратора Вразмещенного симметрично исследуемой поверхности объекта относительно плоскости диафрагмы, и образуют там интерференционную картину. Остальная часть излучения, рассеянного объектом 9, задерживается непрозрачной частьа диафрагмы 4,Если интерферометр снабжен дополнительно высокочастотным отражательным растром 10, нанесенным на исследуемую поверхность объекта 9, то излучение, падающее йа объект и...

Номер патента: 1620817

Опубликовано: 15.01.1991

Автор: Сороко

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР нои технике и предназначено для контроля параметров конусных поверхностей. Цель - возможность исследования конических волновых фронтов света за счет использования многолучевой интерференции, для получения которой каждое из полупрозрачных зеркал выполняют на конусном носителе, носители устанавливают на заданном расстоянии друг от друга по оси интерферометра с учетом угла конусности носителя и его длины прямолинейной образующей. 1 ил. Работа интерферометра основана на следующем.При освещении интерферометра сходящимся пучком света с коническим волновым фронтом часто сходящиеся лучи света фокусируются в линейный кроссовер на оси интерферометра и превращаются в расходящиеся лучи света....

Номер патента: 1627829

Опубликовано: 15.02.1991

Авторы: Феоктистов, Хуснутдинов

МПК: G01B 11/24

Метки: асферических, второго, интерферометр, поверхностей, порядка

...Световой размер лвтоколлимлционного зеркала мажет быть огрлтнтчен в осевомнаправлении (показано пунктиром нафт;г.2 и 3) по ходу луча от наружнойсветовой зотттт контролируемой летали. 30ИнтерАер(.тетр работает следуоттобразо;т,Пу тт;тт,:учей (стятг. 1) источника 1монохромлтического излучения собираются конценсорот 2 на дилАрагме 3,проходят через светоделитель 4 и объектив 5, Параллельные пучки частично отражаются светоделителем 6 ичастично проходят его. Частично отражающая поверхность светоделителя 6 40является эталонной плоскостью, Аормттруюгтетт опорный пучок лучей интерферомтра. При контроле эллипсоидовпучки, частттчно прошедшие светоделитель 6, попадают в объектив 7, и 45пройдя длльтттттт Аокус Б, после отражения от элпипсоида...

Номер патента: 1627836

Опубликовано: 15.02.1991

Авторы: Косьмина, Цейтлин

МПК: G01B 21/08

Метки: двойной, двухлучевой, интерферометр, покрытий, толщины

...б,чггтсого мГ.у 5 тсрс 7 и ст,оп Я .. Рл.огт ь Ал зких сигилто с АР"спртс . -9 зл:иси г от гл эости хоотрлжеитик от с б ет;тл 1.", 1627836порядком дифракции рещетки 2. Таким образом, в направлениях Т и ТТ наблюдаются две бегущие интерференционные картины, интенсивности которых меняются с частотой Г акустической волны модулятора 7 и с фазами Ц ч 4 Чь ф Чйв Чб Юс14 ф Чв ф Чс фазы падающих на модулятор световых волн) . Разность фаз интерференцион О ных сигналов не меняется при любых перемещениях15образца, кроме перехода луча черезступень, образованную подложкой и покрытием, так как, если грани ступени плоские и лучи находятся на одинаковом расстоянии друг от друга, то20Ч 4Ь, = 28 Ч.,где ФЧ, 3 ЧЬ,Ц 1 С - приращения фаз соответ"ствующих...