Интерферометр

(51) 5 С 01 В ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНН А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ онныи иноролеваВ. Попков а, -М.: 09-113(57) Изоб тельной т ер ние относится к ике и мож ыть испол вано я определения деформ ел. Целью изобретени влявердь тся р рение функциональных Изобретенительной техни сслеоль етоделитель9 ра сположкой оси, пеой реш лиматор 2,дуемый объеодной оптичлярной отражполупроэкран 67 устан иэмери тносит и может быть исполеления деформаций ендикуке 8, а матовый зовано для опр твердых тел.Целью иэобр рение функцион за счет обеспе мерения деформ тельн зрачное зеркало 5 и наблюдательный овлены в направле етения является расшиальных возможностей 1 ИК РОС КО П и одногоФракциончения возможностиаций в плоскостиъекта. э ненулевых максимуой решетки 8,Интерферометр рщим образом.Луч от источник Ю 4 ь верхно о с ю едставлена сх тд когерентногоеэ коллиматор проидя чеет на свето луч ь 3 и дСвето зеркала 5, поде 11 ит е10 и 1ясь отзеркала поп ка:ражаого6, в два 10,роэрлится на вои пуч 4 и пол 11 1 Л Н Е ННЫИ И адае т на экран о стекл,С Н;111 ЕСЕ 1 П 1 ОИ НД1 й гет 1:ой 1. Световой мат го коо чок 11 Кг 1 Ю 11 ДО адае ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР На чертеже пр ема интерферометра.Интерферометр содержит источник 1 когерентного излучения (лазер), коллиматор 2, светоделитель 3, плоское зеркало 4, полупрозрачное зеркало 5, регистратор интерференционной картины, включающий матовый рассеивающий экран 6 и наблюдательный микроскоп 7, и отражающую дифракционную решетку 8, закрепленную на исследуемом объекте 9. Лазер 1, колЯО 1536194 А 1 можностей за счет измерения деформаций объекта. Для этого отражатель,укрепленный в интерферометре Майкельсона на объекте, выполнен в видеотражающей дифракционной решетки, аполупрозрачный экран, нд котором наблюдают интерференционную картину,установлен в направлении одного иэненулевых максимумов решетки. Придеформации объекта изменяется периоддифракционной решетки и, следовательно, направление дифрагированных пучков, что приводит к изменению интерференционной картины, ло которой судят о величине деформации объекта вплоскости на его поверхности. 1 ил.ракционную решетку 8, закрепленную на исследуемом объекте 9. Первый (или один из следующих) дифракционный максимум 12 отраженного от ре 5 щетки 8 пучка 11 проходит через полупрозрачное зеркало 5 и попадает на экран 6, где в результате интерференции световых пучков 10 и 12 образуется интерференционная картина, на блюдаемая через микроскоп 7. С помощью зеркал 4 и 5 оптическая схема юстируется таким образом, чтобь 1 угол между пучками 10 и 12 был близок нулю.Направление распространения дифрак 15 ционных максимумов излучения, отра- женного от решетки 8, или углы дифракции с (где И = 1,2,3) определяются из условия:зпц= 1 М,где М - номер дифракционного максимума;- длина волны излучения лазера; 25Ь - период дифракционной решетки,При интерференции двух коллимированных световых пучков 10 и 12, направленных под углом дРуг к другу, на экране 6 возникает интеренференционная картина, ширина полос интерференции на экране б определяется выражениемВ = Ъ/2 игде В - ширина интерференционной полосы,я - угол между интерферирующими 40пучками.При деформировании объекта 9 совместно с ним деформируется отражательная дифракционная решетка 8, так как изменяется период о дифракционной ре шетки. Это приводит к изменению углов дифракциии интерференции у,Вследствие этого изменяется ширина интерференционных полос на экране 6.Таким образом, по изменению ширины полос интерференции судят о величине деформации исследуемого объекта,Формула изобретенияИнтерферометр, содержащий источник когерентного излуцения, расположенные по ходу излучения коллиматор и светоделитель, размещенноепо ходу одного из разделенных пучковплоское зеркало, расположенный походу другого из разДеленных пучковотражатель, предназначенный для крепления на объекте, и установленный ввыходном пучке интерферометра регистратор интерференционной картины,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью расширения функциональных возможностей за счет измерения также идеформации объекта, отражатель выполнен в виде отражающей дифракционной решетки на эластичной подложке,плоское зеркало ориентировано так,что нормаль к его поверхности лежитв плоскости распространения пучкови составляет отличный от нуля уголс направлением распространения падающего на зеркало пучка, а интерферометр снабжен полупрозрачным зеркалом, предназначенным для формирования выходного пучка, размещеннымв направлении распространения одногоиз ненулевых максимумов дифракционной решетки в точке пересечения спучком, отраженным от плоского зеркала., и ориентированным так, что нормаль к его поверхности лежит в плоскости распространения пучков и совпадает с биссектрисой угла междунаправлениями распространения пучков,отраженного от плоского зеркала идифрагированного на дифракционнойрешетке соответственно,Заказ 100 Тираж 479 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при113035, Москва, Ж, Раущская наб., д, 4/5 Т СССР оизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул, Гагарина, 10