Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 23 1 В 9/02 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ оля о остеи.83-88,уе(56) Пуряев Д.Т. Методы контр итических асферических поверхнИ.: Машиностроение, 1976, с,рис.30.(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВТОРОГО ПОРЯДКА(57) изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля за счет одновременного контроля всей рабочей зоны асферической поверхности второго порядка. Пучки лучей источника 1 монохроматического излучения собираются конденсором 2 на диафрагме 3. Затем проходят через светоделитель 4 и объектив 5. Параллельные пучки лучей после объектива 5 частично отражаются све 2 тоделителем 6, а частично попадают в объектив 7, который формирует в апланатической точке-предмете первой поверхности 10 линзы 9 иэображения диафрагмы 3. При этом в апланатической точке-иэображении поверхности 10, совпадающей с вершиной поверхности 11 линзы 9, формируется безаберрационное изображение диафрагмы 3. Пучок лучей, последовательно отразившись от контролируемой асферической поверхности 12, от сферической поверхности 11 линзы 9, еще раз от контролируемой асферической поверхности 12, проходит через линзу 9, объектив 7, свето- делитель 6, объектив 5 и, отразившись от светоделителя 4, попадет в блок регистрации, в котором с опорным пучком лучей после отражения от светоделителя 6 формирует интерференционную С картину, по этой картине судят о качестве асферической поверхности. Точность и производительность контроля повышается благодаря тому, что вся асферическая поверхность контролир тся за один прием. 1 ил,1523905, Изобретение относится к измерительной техник и может быть использованодля контроля асферических поверхностей второго порядка.5Целью изобретения является повышение точцости и производительностиконтроля за счет одновременного контроля всей рабочей зоны асферическойповерхности второго порядка.На чертеже представлена функциональная схема ицтерферометра,Ицтерферометр содер.кит источник 1монохроматическаго излучения и последовательно установленные по ходу пучка лучей источника 1 моцохроматического излучения конденсатор 2, диафрагму 3, светоделитель 4, объектив 5,передний фокус которого совмещен сдиафрагмой 3, формирователь 6 опорного пучка лучей выполненный, например,1в виде светоделителя, установленногоперпендикулярно оптической оси ицтерферометра, объектив 7, ножевую диафрагму 8, устацовлеццую с возможностью 25поворота вокруг оптической оси интерферометра так, что ее рабочая кромкасовмещена с оптической осью ицтерферометра, линзу 9, первая поверхность10 которой по ходу пучка лучей источ- .,31цика 1 выполнена выпуклой сферической так, что ее апланатическая точкаиэображецие совмещена с вершиной в.орой поверхности линзы 9, вторая цо"верхность 11 линзы 9 выполнена в виде сферы с полупрозрачным покрытцрадиус кривизны которой равен рассе,янию между фокусами контролируемойасферической поверхности 12, олок регистрации, оптически связанный черезсветоделитель 4 с линзой 9, Линза 9установлена так, что аплацатическаяточка-предмет первой поверхности совмещена с фокусом объектива 7,45Контролируемая асферическая поверхность 12 устанавливается так, что один из ее фокусов совмещается с вершиной второй поверхности 11 линзы 9, а другой ее фокус совмещен с центром кривизны поверхности 11. При этом линза 9 и контролируемая асферическая поверхность 12 составляют автоколлимационцую систему, Ножевая диафрагма 8 перекрывает половину пучка лучей, выходящего из объектива 7 и служит 55 для экранировация пучка лучей, отраженного вершиной поверхности 1 в обратном направлении. Интерферометр работает следующимобразом.Пучки лучей источника 1 монохроматического излучения собираются конденсором 2 на диафрагме 3, проходят через светоделитель 4 и объектив 5, Параллельные пучки лучей после объектива 5 частично отражаются свето- делителем 6, а частично попадают в объектив 7. Частично отражающая поверхность светоделителя 6 является эталонной плоскостью, формирующей опорный пучок лучей ицтерферометра, Объектив 7 формирует в аплацатической точке-предмете первой поверхности 10 линзы 9 изображение диафрагмы 3, в апланатической точке-изображениипервой поверхности 10, совпадающей с вершиной поверхности 11 линзы 9, формируется безаберрациоцное изображение диафрагмь. 3. Далее пучок лучей падает ца контролируемую асферическую поверхность 12, отразившись от цее, затем от по" верхцостц 11 линзы 9 и вторично от контролируемой асферической поверхности 12, проходит через линзу 9 и попадает в объектив 7. Параллельный пучок лучей после объектива 7 проходит через светоделитсль 6 и интерферирует с опорным пучком лучей. Далее ба пучка лучей проходят через объектив 5, отражаются от светоделите- ля 4 и попадают в блок регистрации, в котором по анализу интерференционной картины судят о качестве контролируемой поверхности 12. При вращении ножевой диафрагмы 8 интерферецционная картина последовательно соответствует всей контролируемой поверхности.Формула изобретенияИнтерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу пучка лучей источника конденсор, диафрагму, све,тоделитель объектив, передний фокус которого совмещен с диафрагмой, формирователь опорного пучка лучей, второй объектив, линзу, вторая по ходу пучка лучей от источника поверхность которой выполнена в виде сферы, и блок регистрации, оптически связацСоставитель Л.Заболотский Редактор И,Мулла Техред И.Дидык Корректор Л,Бескид Заказ 7032/43 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Проиэводственно-иэдательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 51523905,6ный через светоделитель с линзой,ка выполнена выпуклой сферическойо т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с так, что ее апланатическая точка-изоцелью повьппения точности и произво- бражение совмещена с верщиной второй дительности контроля он снабжен но- поверхности линзы, линза устанволенаЭ5женой диафрагмой, установленной с воз- в положение, в котором апланатическая можностью поворота вокруг оптической точка-предмет первой по ходу пучкаоси интерферометра между вторым объ- лучей поверхности совмещена с фокуективом и линзой так, что ее рабочая сом второго объектива, а вторая по кромка совмещена с оптической осью 10 ходу пучка лучей от источника поверхинтерферометра, первая поверхность ность линзы выполнена с полупрозрачлинзы по ходу пучка лучей от источни- ным покрытием.