Интерферометр

(51)5 6 01 В 9/О ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ институт В.Г. Ремерительзованодля поверхноометрии. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(56) Авторское свидетельство СССМ 1471065, кл, 6 01 В 9/021, 198(57) Изобретение относится к изной технике и может быть испольопределения перемещений точексти методом спекл-интерфер Целью изобретения является повышение информативности эа счет обеспечения возможности получения интерференционной картины по всей исследуемой поверхности. Проходя через систему микрообъектива 1 и линзы 3, излучение коллимируется и освещает поверхность обьекта. Отраженное излучение фокусируется линзой 3 на отверстия диафрагмы 4 и зеркалами 5 и 6, размещенными в отверстиях, переотражается на линзу 7, которая строит иэображение в плоскости фоторегистратора 8 до и после перемещения объекта, в результате чего возникает интерференционная картина. 1 ил.20 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при исследовании перемещения точек поверхности методами когерентной оптики. Целью изобретения является повышение чувствительности по всей исследуемойповерхности объекта,На чертеже представлена оптическаясхема интерферометра,Интерферометр содержит источник корегентного излучения (не показан), систему освещения обьекта, состоящую из микро- объектива 1, плоского зеркала 2 и коллимирующей линзы 3, диафрагму 4 с двумя симметрично расположенными относительно оси интерферометра отверстиями, в которых размещены плоские зеркала 5 и 6, ориентированные так, что нормали к их поверхности совпадают с линией, соединяющей отверстия диафрагмы 4, линзу 7 строющую совместно с линзой 3 изображение исследуемого объекта на фоторегистраторе 8. Кроме того, показана исследуемая поверхность обьекта 9, на которую может наноситься отражающее дифракционное покрытие 10, выполненное в виде высокочастотного растра,Интерферометр работает следующим образом.Пучок когерентного излучения, пройдя через микрообьектив 1, размещенный в фокусе линзы 3, направляется зеркалом 2 в сторону исследуемого объекта и коллимируется перед объектом линзой 3. Сформированная линзой 3 плоская волна когерентного излучения падает на поверхность диффузно-отражающего объекта 9, рассеивается этой поверхностью и вновь попадает нэ линзу 3, Излучение, рассеянное объектом в направлениях, совпадающих с направлениями от центра линзы на отверстия диафрагмы 4, фокусируется линзой 3 на поверхности плоских зеркал 5 и 6, размещенных в точечных отверстиях диафрагмы 4, расположенной в фокальной плоскости линз 3 и 7, Выделенные пучки зеркалами 5 и 6 направляются на линзу 7, которой фокусируются в плоскости фоторегистратора Вразмещенного симметрично исследуемой поверхности объекта относительно плоскости диафрагмы, и образуют там интерференционную картину. Остальная часть излучения, рассеянного объектом 9, задерживается непрозрачной частьа диафрагмы 4,Если интерферометр снабжен дополнительно высокочастотным отражательным растром 10, нанесенным на исследуемую поверхность объекта 9, то излучение, падающее йа объект и дифрагированное рэством - покрытием, делится на три плоских 25 30 3 ц 40 45 50 55 волны: нулевого, плюс и минус первого порядков дифрэкции. При этом пучки И порядков фокусируются в точку линзой 3 на поверхности зеркал 5 и 6 в отверстиях диафрагмы 4. А пучок нулевого порядка задерживается непрозрачной частью диафрагмы 4. Далее все происходит аналогично случаю диффуэно-отражающего объекта.Так как чувствительность интерферометра определяется разностью векторов, определяющих направления на отверстиях диафрагмы 4, го естественный путь повышения чувствительности - увеличение апертурного угла эа счет уменьшения до минимума расстояния между исследуемой поверхностью объекта 9 и линзой 3, и разнесение от оптической оси отверстий диафрагмы 4, Р этом случае чувствительность зависит толька от величины индикатриссы рассеяния излучения исследуемой поверхностью, либо от угла дифракции растра - покрытия, Причем введение растра - покрытия позволяет исследовать с помощью предлагаемого интерферометра как диффузно-отражэ ощие, так и прозрачные и зеркальные обьекы. Формула изобретения Интерферометр, содержащий источник когерентного излучения, систему освещения объекта и расположенные последовательно по оси лнтерферометра держатель объекта, два плоских зеркала, размещенных симметричнс относительно оси интерферометра, диафрагму с двумя отверстиями, расположенными симметрично оси интерферометра, фокусирующую линзу и фоторегистратор, отл и ча ющи йс я тем, что, с целью повышения чувствительйости по всей исследуемой области, он снабжен дополнительной линзой, выполненной с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию фокусирующей линзы, и установленной на оси интерферометра между держателем объекта и диафрагмой непосредственно около держателя объекта, фокусирующая линза установлена так, что ее фокальная плоскость совмещена с фокальной плоскостью дополнительной линзы, диафрагма размещена в плоскости совмещения фокальных плоскостей фокусирующей и дополнительной линз, плоские зеркала установлены в отверстиях диафрагмы и ориентированы так, что нормали к их поверхностям расположены на линии, соединяющей отверстия диафрагмы, а система освещения выполнена в виде формирователя расходящегося пучка и размещена так, что центр формирования пучка расположен от дополнительной линзы на расстоянии, равном ее фокусному расстояний