Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 801627829 А 1/24 01 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТА ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ З ИО; и ТЕ П Ь- О1 (1 111(л( ц коцро )ко. шимл(21) 4605626/28 (22) 18.11.88 (46) 15. 02. 91, 1)ол (72) В.А,еоктисто вышениености ко)чцоети и и 1 р ) . сцец 1 ляьцл ятецеция плруелА 1 поверхцос.тиц 1 о и и о е з (. р к л.п)ь 1о: иец(ос и вилс 1) 11 (11 11 Р о в ло цы 1;рля ее И С Ц.(ГЕНЫ вогнутой так, что ЦС)П С)(.Р,1,це ц 1 р кр 1 ци з й оверхцост отрл)кяю( с оптие К ОС) . 1 1 в обл ( от)и с т1 Уч ли,Ируемой цо которой и цо цлблюд тину, сфо ПЫТ Л НЦИЛ 1зоц, в т половицы Ности. 3 о коцтролируемля детлпь по оптеской оси ц.еМерол.( тр рзреэ.Ицтерферс)етр со;ер)с: ( сто:ик 1 лоцохромлт 1(ескогс) 1 )лучеия (;азер), коцвецс р 2 лд)рлглу 3, свс тодепцтель , объект 11 5, Ге,)едций (",окус со орого соимс Гец с 1(л.- рягмой 3, форлировлтеь 6 оцо;)цого пучка лучей, выпопцеицсй, цлиример, в виде светоделитепя, устяцоГпеццог перпендикупярцо оптическо( осц интерферометря, объектив 7, устлцонлениый с возло)(постыл Ги 1 цодл из потока излучения, коцтролрус".;1,сталь обознаенл позицией 8, Кроме того, устроство содержит лвтоколпи мационное зеркало 9 с отря и ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР(57) Изобретение отцосится к измертельной технике и предцлзцлчецо д.лконтроля вогиутых эплипсоидов и цлраболоидов с рабочей центрапьцойзоной и большими отцоситепы 1 ылиотверстиями. Пель изобретения - и Изобретение относится к измерительной технике и ло)ет быть использовано, для технологического и аттестационного контроля вогнутых эллипсоидов и пяраболоидон с рабочей центральцой золой и большими относительными отверстиями.11 ель изобретения - повьнцецие точности и производительности коцт роля за счет исключения затенения центральной части контролируемой оверхности.На фиг. 1 приведена оптическая схема интерферометра для контроля вогнутых эллипсоидов, на фиг. 2 - схема рабочей ветви интерферометра для коцтропя параболоидов, на фиг.верхностью 10, которая выполнена ввиде вогнутой полусАеры и блок 11регистрации, оптически связанный через светоделитель 4 с объективом 5.Лвтокоттттттмлттттоттттое зеркало 9 установлено тлк, что центр 0 кривизны икрая отрлжлюттей поверхности 10 совмещены с оптической осью (тА интерферометра. Котттролируемля деталь 8 10устанавливается так, что ее оптическая ась совмещается с оптическойосью ЛЛ интерАерометра, ближний фокус Гт детали. совмещается с центром0 кривизны отражающей поверхности 1510, л да(тьттитт Аокус Р совмещаетсяс изображением дилАрлгмы 3. При контроле элпипссптдл (фттг, 1) изображеттттс,1 лфрл Гы 3 находится В фокусе(Р объектива 7, При т,онтроле парлболоидл (фттг. 2) вык:тючлющийся объектив7 выводится из кодл лучей, л ттзображение дттлфрлгмы 3 переносится в бесконечность, где оно совмещается сд(тлт тттт Аокусом плраболоида. Световой размер лвтоколлимлционного зеркала мажет быть огрлтнтчен в осевомнаправлении (показано пунктиром нафт;г.2 и 3) по ходу луча от наружнойсветовой зотттт контролируемой летали. 30ИнтерАер(.тетр работает следуоттобразо;т,Пу тт;тт,:учей (стятг. 1) источника 1монохромлтического излучения собираются конценсорот 2 на дилАрагме 3,проходят через светоделитель 4 и объектив 5, Параллельные пучки частично отражаются светоделителем 6 ичастично проходят его. Частично отражающая поверхность светоделителя 6 40является эталонной плоскостью, Аормттруюгтетт опорный пучок лучей интерферомтра. При контроле эллипсоидовпучки, частттчно прошедшие светоделитель 6, попадают в объектив 7, и 45пройдя длльтттттт Аокус Б, после отражения от элпипсоида собиратотся вего ближнем фокусе Р . При контролеплраболоидов (Аиг.2) объектив 7 выводится из хода лучей, Параллельныепучки, частично прошедшие светоделитель 6, попадают на контролируемыйпараболоид и после отражения от него собираются в Аокусе Р(. Далеелучи, отраженные от верхней (применительно к чертежу) половины контролируемой поверхности 8, попадаютна отражающую поверхность 10 автоколлимационного зеркала 9 и после отражения от нее идут по тому же пу- ти в обратном направлении к светоделителю 6, где интерферируют с лучами опорного пучка, Затем лучи проходят объектив 5, отражаются от свето- делителя 4 и попадают в блок 11 регистрации, в котором по анализу интерАеренционной картины судят о качестве контролируемой поверхности 8. Вследствие того, что лвтоколлимационное зеркало 9 отражает в обратном направлении пучки лучей, попадающие на него от половины контролируемой поверхности 8, интерАеренционная картина имеет вид полукруга, диаметр которого соответствует диаметру контролируемой поверхности. Поворачивая конгролируемую деталь вокруг ее оси, последовательно наблюдают интерференционнуто картину от всей поверхности.Повышение точности и производительности контроля вогнутых эллипсоидов и пардболоидов с рабочей центральной заной достигается благодаря таму, что отсутствует полное экранирование центральной зоны. Интерференционная картна Аормируется пучками, испытавнлтми двойное отражение от всех зон, в том числе и центральной, половины тсонтропируемой поверхности, Это дает возможность контролировать поверхности с рабочей центральной зоной, что необходимо при изготовлении линз с асферическими поверхностями. Все зоны полонины поверхности контролируются за один прием, что позволяет исключить допотттттттетьттую и менее точную операцию контроля рабочей центральной эоны с помощью пробного стекла,Формула и з о б р е т е н и яИнтерАерометр для контроля асферических поверхностей второго порядка, содержагтий последовательно установленные источник манохроматического излучения, конденсор, диафрагму, светоделитель, объектив, совмещенный передним Аокусом с диафрагмой, формирователь опорного пучка, объектив, установленный с возможностьювывода из потока излучения, иавтоколлимлционное зеркало и блокрегистрации, оптически связанный собъективом через светоделителЬ, о т1627829 6той полусферы и ориентировано так, что центр кривизны и края ее отражающей поверхности совмещены с оптической осью интерферометра. л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения точностн и производительности контроля, автоколлимационное зеркало выполнено в виде вогнуСоставитель В.КлимовРедактор Ю.Середа Техред М.Дидык3 ктор Л.Пата акаэ 330 о иэобре 35, Рауш осу рственно 11303издательский комбинат "Патент", г. Ужго оиэводстве Гагарина, 10 ТиражкомитетМосква,Подписноениям и открытиям при ГКНТ СССРая наб., д. 4/5