Угловой сканирующий интерферометр
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СС 10 Э СОБЕТСНИХСОИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН С 11.) Ф,ълФ ЪФ 56786 ЕЕННЫЙ НОМИТ; ТЕНИЯМ И ОТНРЬТИЯЛг СР ГОСУЛАРС ПС ИЗСБР ПРИ ГННТ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТК АВТОРСКОМУ СВЯДЕ П;Г 1 ЬСТВУ кибернегики еочо впг 1 ледований ИЙ ИНТЕ пт честим овано как ин ист чптпческих и вывода,71) Институт техническойАН БОР(56) Приборы лля научных асс(57;1 Изорсзение относи 1 ся к оизмерениям и может быть использтатчнк просгранс Гьенпого положеника изл ения, а также нипуюгци устройствах ввод информации. Цель изобретения - уменьше. ние габаритных размеров устройства и упро. щенке конструкции. Это достигается тем, что излучение лазера 1 разделяется на два потока излучения в формирователе 2 пучков и направляется на объектив 5, за которым расположен зеркальный дефлектор 6. Потоки излучения направляются зеркальным дефлектором 6 на дифракционную решетку 7 и фокусируются вблизи ее поверхности. Взаимодействуя в симметричных порядках ингерференции, потоки излучения от дифракционной решетки 7 возвращаются на зер кальный дефлектор 6 и направляются им н фотоприемник 8, формирующий импульсные сигналы в процессе сканирования зеркального дефлектора 6. 1 ил.Изобретение относится к оптической обработке информации и может быть исполь)вдно в системах угловой развертки лазерного пучка при вводе и выводе информации., 1 елью изобретения является уменьшение гдбаритных размеров интерферометра и упрощение его конструкции.На чертеже показана оптическая схема предлагаемого углового сканирук)щего интер ферометра.Устройство содержит лазер 1, оптически связанный с формирователем 2 пучков, включающим полупрозрачное зеркало 8 и зеркало 4, объектив 5, зеркальный дефлектор 6, дифракционную решетку 7 и фото- приемник 8. Устройство работаег следующим образом.Излучение лазера 1 направляется в формирователь 2 пучков, состоящий из полупрозрачного зеркала 3 и зеркала 4. 1 ддощий на формирователь 2 пучков поток излучения лазера разделяется полупрозрачным зеркалом 3, стоящим на входе на двд потока прямой и отраженный. Отраженныи от полупрозрачного зеркала 8 поток излучения направляется на обьектив 5, и прямой на зеркало 4, расположенное под углом к оптической оси лазера 1. Отраженнь(й ог зеркала 4 поток излучения направляется также нд об.ьектив 5. Расстояние междУ сями двух приходя(цих на объектив пот- ков излучения выбирается из условия где г, длина волны излучения .)зерд;Г, пространственная часто гд дифракционной решетки;фокусное рдссгояние объектива;Л( и Л -номера взаимодействуя)шихпорядков дифракции.Вышедшие из формирователя 2 пхцков потоки излучения попадают в обьектив 5, направляются далее на зеркальный дефлектор 6, установленный под углом к оптической оси объектива и фокусируются вблизи поверхности дифракционной решетки 7. Дифракционная решетка 7 выполнена отражательной на сферической поверхности и расположена таким образом, что ее центр совпадает с осью вращения зеркального дефлектора 6. В результате взаимодействия с дифракционной решеткой каждый из потоков, дифрагируя на ней, образует дифракционную картину. Одновременно потоки излучения взаимодействуют между собой, интерферируя и приходя на зеркальный дефлектор, попадают в объектив 5. Однако в данном случае рабочими могут быть только симметричные порядки дифракции: Т 1, 2 я 15 г.д., при этом (Л)- - ,Ъ 2) =2,4,6, Это вызвано тем, что только при этом условии интерф( рнруюп(ие порядки дифракции от дифрдкционной ре(иетки 7 направляются по нормали к поверхности этой решетки и попадают на зеркальный дефлектор 6, направляющий данный пучок на фотоприемник 8.Ука)анный фотоприемник будет постоянно осве(цен изображением сменяющейся интерференционной картины. Угловой сканирующий интерферометр,содержащий оптически связанные лазер, формирователь пучков, объектив, зеркальный дефлектор, дифракционную решетку и фото приемник, отличающийся тем, что, с цельюуменья(ения габаритных размеров интерферометра и упрощения конструкции, дифракционндя решетка выполнена сферической, сотражающим покрытием и установленатдк, ч го (цч(тр сферической поверхности 35 совпадает с осью вращения зеркальногодсфлекторд, расположенного на оптической си объектива, объектив установлен между формирователем пучков и зеркальным дефлектором та с, что его фокус совпадает с 4 О поверхностью дифракционной решетки, а фотоприемник оптически связан с объективом и установлен на его оптической оси со стороны формирователя.
СмотретьЗаявка
4343784, 15.12.1987
ИНСТИТУТ ТЕХНИЧЕСКОЙ КИБЕРНЕТИКИ АН БССР
ЛАРЧЕНКО ЮРИЙ ВИКТОРОВИЧ, ЛЕОНОВ АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, ТАБАКАЕВ ГЕННАДИЙ КИРИЛОВИЧ, БОРИСЕВИЧ НИКОЛАЙ ВАЛЕНТИНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, сканирующий, угловой
Опубликовано: 30.05.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1567868-uglovojj-skaniruyushhijj-interferometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Угловой сканирующий интерферометр</a>
Предыдущий патент: Способ измерения толщин и деформаций слоев многослойных конструкций с плоской поверхностью
Следующий патент: Интерферометр для измерения перемещений
Случайный патент: Устройство для обработки поверхности деталей