Патенты с меткой «51(088»

Номер патента: 432242

Опубликовано: 15.06.1974

Авторы: Латышев, Матвеева, Панкратьев

МПК: C23C 14/50

Метки: 51(088, удк

...19. Кассета 4 выполнена в виде сектора с поперечным пазом 20 и продольными каналами 5, расположенными в плоскости кассеты радиально и имеющими прорези 21. Каналы 5 закрыты крышками 22,На внутренней стороне нижней части 14 стойки находятся ограничители 23 с упорными винтами 24, а на кассете 4 со стороны ограничителей и между ними - выступ 25. С валом 16 подъемника при помощи полумуфты 26 сочленен сильфонный ввод вращения 27. Перемещение кассеты осуществляется рычажным механизмом перемещения с сильфоном, Вакуумноплотный зажим изделия 28 обеспечивается уплотнительным механизмом 29, расположенным в верхней части вакуумной камеры 1. Вакуумная камера присоединяется к вакуумной системе посредством патрубков 30.Введение, например, штанги 3 с...