C23C 14/50 — держатели подложек

Номер патента: 1644553

Опубликовано: 15.10.1994

Авторы: Коровкин, Полунина, Усачев

МПК: C23C 14/50

Метки: подложкодержатель

ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий многоярусный цилиндрический корпус, на ярусах которого размещаются обрабатываемые изделия, и привод вращения, кинематически соединенный с корпусом, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия по толщине, корпус выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, при этом шаг спирали равенH h,где H - шаг спирали, мм;h - высота обрабатываемой детали, мм,а расстояние между гнездами равноL l,где L - расстояние между гнездами, мм;l - наибольший размер обрабатываемой детали, мм.

Номер патента: 1828669

Опубликовано: 27.05.1995

Автор: Кульпинов

МПК: C23C 14/50, C23C 14/54

Метки: вакууме

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее подвижную камеру, размещенные в ней неподвижную стойку, средство технологической обработки, карусель с держателями изделий, выполненную в виде двух дисков, один из которых ведущий, а другой ведомый, сопряженных между собой с помощью пальца и группы отверстий, расположенных на ведомом диске, число которых соответствует числу обрабатываемых изделий, и привод планетарного вращения карусели, включающий две зубчатые пары, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения эксплуатационных характеристик, оно снабжено двумя тягами, подвижно установленными в стойке, каждая из которых жестко связана с ведомым элементом одной из зубчатых пар привода карусели, и снабжено n 1...

Номер патента: 1307887

Опубликовано: 10.09.1995

Авторы: Данилов, Малышев

МПК: C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, преимущественно на лопатки турбин, содержащее планшайбу с отверстиями, в которых установлены с радиальным и осевым зазором держатели с патронами для закрепления подложек, и концевыми упорами, переходное звено, кинематически соединенное с приводом вращения и планшайбой, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия, привод вращения снабжен эксцентриком с отверстием, а переходное звено выполнено в виде вала, расположенного под углом к оси привода, с осевым и радиальным зазором в отверстии эксцентрика, а планшайба жестко закреплена на валу.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по оси вала выполнено отверстие для циркуляции хладагента.3. Устройство по пп. 1 и...

Номер патента: 1179690

Опубликовано: 10.04.2005

Автор: Данилов

МПК: C23C 14/50

Метки: вращения

1. Устройство для вращения изделий, преимущественно для установок вакуумного нанесения покрытий, содержащее основание с отверстиями, держатели изделий с гнездами для изделий на одном конце и с концевыми упорами на другом, установленные в отверстиях основания с радиальным и осевым зазорами для обеспечения при вращении основания принудительного вращения держателей изделий вокруг осей и привод вращения основания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет улучшения его равномерности на изделиях со сложным профилем, оно снабжено предохранительным диском с отверстиями, в которых расположены держатели изделий с радиальным и осевым зазорами, основание выполнено в виде...

Номер патента: 1483973

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Ирков, Ковалев, Максаков, Пестов, Ткаченко

МПК: C23C 14/24, C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассетодержатель с кассетами, подложкодержатель, установленный в кассетах, и механизм поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, расширения функциональных возможностей и повышения производительности, кассетодержатель снабжен двумя проушинами и одним подпружиненным фиксатором для каждой кассеты, кассета снабжена роликом, рамками и двумя опорами, входящими в проушины кассетодержателя, причем кассета установлена с возможностью углового перемещения относительно кассетодержателя, при этом каждый подложкодержатель установлен в рамке со смещением центра тяжести относительно оси поворота, а механизм поворота снабжен...

Номер патента: 1380265

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Ирков, Максаков, Пестов, Ткаченко

МПК: C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассету с установленным в ней подложкодержателем, прижим для фиксации подложки, нагреватель и механизм поворота подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обслуживания, механизм поворота подложкодержателя выполнен в виде двух цапф, жестко закрепленных одним концом в подложкодержателе, а другим - шарнирно в кассете, расположенных по оси симметрии подложкодержателя, пружины кручения, размещенной на одной из цапф и закрепленной одним концом на подложкодержателе, а другим в кассете, и магнитного замка, один из магнитов которого расположен на подложкодержателе, а другой - на кассете.2. Устройство...

Номер патента: 1306161

Опубликовано: 27.04.2008

Авторы: Артоболевская, Володин, Евстропов, Качанов, Ким, Тазенков

МПК: C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, слоев, фотопроводниковых

1. Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее подложкодержатель для герметичной установки на него цилиндрической подложки, выполненный в виде стяжной трубы со сквозными продольными пазами и системы подвода и отвода теплоносителя в виде двух коаксиальных труб, установленных внутри стяжной трубы, и двух фланцев с прокладками, установленных на стяжной трубе с возможностью вращения, и испарители, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет повышения равномерности распределения температуры на всей поверхности подложки, на наружной трубе системы подвода и отвода теплоносителя выполнены отверстия, расположенные равномерно, а их площадь равна...

Номер патента: 1181332

Опубликовано: 10.09.2014

Авторы: Ашинов, Беров, Кушхабиев, Тавказаков, Тхагапсоев, Хажуев

МПК: C23C 14/50

Метки: материалы, нанесения, покрытий, порошковые

1. Устройство для нанесения покрытий на порошковые материалы, содержащее источник пара, загрузочный дозатор порошка, держатель-перемешиватель порошка с перегородками на рабочей поверхности, кинематически связанный с виброприводом, механизм для выгрузки обработанного порошка из держателя-перемешивателя, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия за счет его нанесения только на одну определенную дозу порошка, держатель-перемешиватель выполнен в виде корпуса с направляющими, в котором установлена тарелка для порошка, а механизм для выгрузки обработанного порошка выполнен в виде толкателя, расположенного в направляющих корпуса и рычага, кинематически связанных между...