Графитовый нагреватель подложек
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О ПИЗОЬЕЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 347367 Союз Советских Социалистических РеспуеликЗависимое от авт. свидетельстваМ. Кл. С 23 с 13112 Заявлено 31.Х 11.1969 ( 139149722-1 присоединением заявкиКомитет по деламизобретений и аткрытипри Совете МинистровСССР Приоритет Опубликовано 10,Ч 11.1972. Бюллетень2Дата опубликования описания 1.1 Х.1972 ДК 621.793.14,002, А, Комаров и 3. М. Лерма аявитель ГРАФИТОВЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕ Изобретение касается нанесения вакуумныхпокрытий.В известном графитовом нагревателе подложек, содержащем пластину и электроды,не обеспечивается постоянная температура 5поверхности пластины, что снижает производительность вакуумной установки,Цель изобретения - обеспечение постоянной температуры поверхности пластины.Это достигается тем, что пластина соединена с электродами посредством металлическихпроводников, общая площадь поперечногосечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.На чертеже представлен предлагаемый нагреватель, общий вид,Электроды 2 зажимают в проводов вакуумной камер щадей поперечных сечений водников 8 составляет 35 таллических проводников в та получения тока, необхо пластины 1 с учетом токов проводников при минима Торцы пластины 1 покрыва обеспечения жесткого соед водниками методом пайки ыым припоем. жателяношениины 1атериют издля нагреваих сдью вя ихотемпе ер О ласт.1. М ыбира димого ого н льном ют ме инеи высок мет изобретения вый нагревательастину и электродцелью обеспечениповерхности пласс электродамих проводников, обсечения которыхо сечения пластин подложек, содеры, отличающийся я постоянной темтины, последняя посредством мешая площадь поменьше площади ы. пластины 1 пластиной одников 3, чения кото сечения пла Наг электр средст щая меньш пооб рых тиы. еватель состоит изодов 2, соединенных свом металлических провлощадь поперечного сее площади поперечного Графит жащий пл тем, что, с пературы соединена таллическ перечного поперечнотокае плои проал мер асчеагрева самих чении.целяхс про- ратурКорректор С. Сатагулова Редактор Е. Дайч ТипогоаФия. по Гяпчнлвя 2 Заказ 2678,15 Изд.1112 Тираж 40 б Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
1391497
А. А. Комаров, М. Лерман
МПК / Метки
МПК: C23C 14/50
Метки: графитовый, нагреватель, подложек
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-347367-grafitovyjj-nagrevatel-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Графитовый нагреватель подложек</a>
Предыдущий патент: Установка для нанесения покрытий в вакууме
Следующий патент: Способ металлизации поверхности керамическихизделий
Случайный патент: Устройство для измерения плотности тока в электролите