417542
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 417542
Текст
417542 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз СоветскихСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт, свидетельстваЗаявлен 1972 ( 1735176/2 М. Кл, С 23 с 13/08 Н 051 с 130присоединением заявкиГосударственный коиит Совета Министров ССС по делам изооретеннй и отирытийриоритетпубликовано 28.11,1974. Бюллетень Ы 8ата опубликования описания 22.И 1.1974 САДК 621 3 049 75 002 2 (088.8) Авторыизобретения Д, Рагузин елехи явитель ОГОМЕСТНЪЙ ДЕРЖАТЕЛЬ ПОДЛОЖ рг 3 гдгъ ъд 1эле- овок во относится кустройств устанможет быть испленочных моэлектроннойнности. редлагаемое устроисттам внутрикамерныхуумного напыления иано при производствем в электронной, радитехнической промышле м в оль- кро- раы шеи ие эффекти изобретения - п иксации подложе остигается теы, едставляет собо неподвижные ра порные выступы тифты, а элемен виде подвижнойразмещены ш Цельости ф Это д основание державе жестко скреп- , одна из которых для подложек, другы фиксации выполпланки с пазами, в тифты неподвижной что д мки. И. Беляков, Е, В, Дмитриев,Известна . конструкция держателеи подложек, в которой для фиксации подложек на плоскости основания в качестве фиксаторов применены штыри крестообразной формы, имеющие пазы с размещенными в цих волнистыми пружинами. Подложки прижимаются к основанию устройства волнистыми пружинами, Подложки прижимаются к основанию устройства волнистыми пружинами через круглые головки штырей, причем каждый гребень пружины упирается в штырь, а каждая впадина - в основание. На чертеже показан держатель подложек воткрытом и закрытом состоянии.Основание 1 держателя - это жесткая рамка с окнами, количество которых соответству ет количеству загружаемых подложек. Поуглам окон сделаны выступы (фаски) служащие опорными поверхностями при установке подложек. Толщина рамки 2 равна толщине подложек. По углам окон рамки 2 выполнены 10 центрирующне уступы, размеры которых соответствуют размерам подложки. Подвижная планка 3 имеет окна, а в двух диагонально противоположных углах каждого окна -- фиксирующие выступы для удержания подложек 15 в устройстве. По краям подвижной планкисделано четыре овальных отверстия под углом, например, 45 относительно сторон окна.В этих пазах размещены винты-направляющие 4, которыми также скреплеца рамка 2 и 20 основание 1. На подвижной планке 3 установлены винты-упоры 5, необходимые для работы возвратной пружины 6.Работает устройство следующим образом.С помощью приспособлений, например ва куумных присосок, захватов, или вручнуюподложки устанавливают в держателе таким образом, что каждая подложка своими углами опирается ца поверхности выступов основания 1 и ориентируется относительно окон Зо центрирующими уступами рамки 2. При сов41754211 1,стапптель Е. Куклин Редактор И. Грузова ектор Т. Добровольска кре мышникова Иад. М 1349осударственногопо делам и обМосква, М(-35,одписное Гираж 875ета Совета Министров СССРй и открытийсан наб., д. 45 П омит степ аьп" пографнн, пр. Сапунова. 2 мещении подвижной планки 3 с наружными сторонами основания фиксирующие выступы подвижной планки перекрывают два угла каждой подложки и происходит захват подложек в держателе, В зажатом состоянии держатель устанавливают (или механически перемещают) в направляющие (на чертеже не показаны) внутри камерного устройства для напыления подложек. После проведения цикла напыления держатель снимают с направляющих. Под действием возвратных пружин 6 устройство автоматически раскрывается, и напыленные подложки снимают с последующей установкой чистых заготовок держателе. Предмет изобретения Многоместный держатель подложек, содержащий основание, служащее для размещения 5 подложек, и элементы фиксации, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения эффективности фиксации подложек, основание выполнено в виде двух жестко скрепленных между собой неподвижных рамок, одна из ко торых содержит опорные выступы для,подложек, другая -- штифты, а элементы фиксации выполнены в виде подвижной планки с пазамн, в которых размещены штифты неподвижной рамки.
СмотретьЗаявка
1735176, 06.01.1972
МПК / Метки
МПК: C23C 14/50, H05K 3/18
Метки: 417542
Опубликовано: 28.02.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-417542-417542.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">417542</a>