Устройство для изготовления пленочных схем

ОУ 491 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства ЛЗаявлено 01,11.1965 1 941302/26-9)с присоединением заявки МПриоритет 21 Я 1, 75.11 ПК Н О 1 Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Министровбликовано 18.Х 11.1965. Бюллетень М ДК 621.3.049,75.002 (088.8) 1 ия 8.П.1966 опублик ация опи Авторыизобретения А. П. Румянцев и Ф леда Заявител УСТРОЙСТВО Д ГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ рзсположе 1 одогрсва испарител алов. Известны устройства для изготовления пленочных схем, содержашие вакуумную камеру, снабженную испарителями наносимых ца подложку материалов, подвижные кассеты, служягцие для крепления подложек и мясо, нагреватель подложек и ВВсденць 1 й В вакуумную камеру микроскоп. Зти устройства не обеспечивают требуемого качества изготавливаемых пленочных схем.Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что кассеты установлены ца двух призмах, размеШенных параллельно одна другой, кассеты дл я подложе Вьпол псцы виде профильной пластины, имеющей вырезы и снабженной плоскими прухкинами, служацими для фиксации полоткеция подложек, и контрольными Отметками для Определени 51 положения подложек относительно масок, кассета Для мЯсок сцЯбжена уГ 1 ругими зажих 1 ами для крепления вдоль одного из их торцов масок, выполненных из упругого материала и снабженных контрольными Отметкам. Под масками установлена прижимная подпружиненная рамка и поворотный вал с двумя плоскими пружинами, опирающимися ца рамку,Эта особенность повышает точность работы устройства и улучшает качество изготавливаемых схем.На фиг,изображено предлагаемое устройство, поперечный разрез в рабочей плоскости; на фиг. 2 - кассета для подложек; на фиг. 3 - кассета для масок; на фиг. 4 - подпружиненная рамка с поворотным валом,Цилицдри 1 ескяя Взсуумная камера 1 снабжена патрубком 2 для присоединения се к ди 111 фузионноху насосу 8, смотровым люком 4 с хИкроскоцом з, полкахИ 6, по 1 Оторым камер, 1 Вдвига 10 т и ззкрепля 10 Т коробчатый каркас 7, несуций размецепные параллельно одна другой направляющие призмы 8 и 9. По направляющим призмам 8 и 9 при помоиГИ ходовых винтов 10 и 11 могут персмецаться каретки 12 и 13. На каретке 12 закреплена ле 1- косъехПзя ,асста 11 с маскахи 1 З, а ца карет 1 че 13 - леКосьехИяя кзссстя 16 с подложками 1/. Кзсстз 11 для х 1 асо 1 з снабжена упругими зажимами 18 для крепления винтами 19 краев масок 1 з, которые име 10 т контрольныс отметки 20.Кассета 16 с пйдложк 11 ми 17 Выполнена В виде профильной пластины 21 с вырезами 22 по форме подложек, плоскими пружинами 23, слухкзщими д;151 фиксации положения ИОдлО- же 1 и контрольными Отх 1 еткзми 21 для Определения положения подложек относительно масок 15Над кассетой 16 и регулируемый нагреватель 25 для 1 подложек 17, а в нижней чясти - ь 26 наносимых ЦЯ Г 10 ДЛОЖ 1 СУ МЗТСПИПод масками 15 на каркасе 7 закреплен патрубок 27, служащий для ограничения молекулярных пучков, поступающих из испарителя 26. На верхнем обрезе патрубка 27 под масками 15 установлена прижимная подпружиненная рамка 28, связанная указанными пружинами с каркасом 7, и поворотный вал 29 с двумя плоскими прукипами 30, опирающимися на рамку 28.При повороте вала 29 против часовой стрелки пружины 30 приподнимут рамку 28, которая при этом плотно прижмет находягцуюся над ней маску 15 к нижней поверхности кассеты 1 б и подложки 17. Совмещение контрольной отметки 20 одной из масок 15 с контрольной отметкой 24 соответствующей подложки 17 производится с высокой точностью с помощью микроскопа 5 посредством перемещения кареток 12 и 18 ходовыми винтами 10 и 11.Предмет изобретенияУстройство для изготовления пленочных схем, содержащее вакуумную камеру, снабженную испарителями наносимых на подложку материалов, подвижные кассеты, служащие для крепления подложек и масок, нагреватель подложек и введенный в вакуумную камеру микроскоп, отличаюи 1 ееся тем, что, с целью повышения точности работы устройства и улучшения качества изготавливаемых схем, кассеты установлены на двух призмах, разме Ощенных параллельно одна другой, кассеты для подложек выполнены в виде профильной пластины, снабженной вырезами и плоскими пружинами, служащими для фиксации положения подложек, и контрольными отметками для определения положения подложек относительно масок, кассета для масок снабжена упругими зажимами для крепления вдоль одного из их торцов масок, 2 О .выполненных из упругого материала и снабженных контрольными отметками, а под масками установлена прижимная подпружиненная рамка и поворотный вал с двумя пло скими пружинами, опирающимися на рамку/а Объем 0,27 изд. л. Подписное ткрытцй при Совете Министров СССР Серова, д, 4. Составитель Г. фридолинГехред Т. П. Курилко Корректоры: Т Заказ 81 Тираж 1100 формат бум. 60 К 90ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений иМосква, Центр, пр. ипография, пр, Сапунова,Н. КостиковаТ. В. Муллина