Патенты с меткой «390200»

Номер патента: 390200

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Лагуткин, Шуберт

МПК: C23C 14/50

Метки: 390200

...усилия фиксации осуществляется перемещением груза д при помощи винта 2, перемещаемого относительно оси 7,ния ено ,ной Устройство для транспортировки подложки в вакуумной установке, содержащее прижим- фиксатор, отличающееся тем, что, с целью регулирования усилия фиксации, прижим-фиксатор выполнен в виде рычага, на котором посредством винта подвижно укреплен груз. Изобретение относится к области нанесе покрытий в вакууме и может быть примен для транспортировки подложки в вакуум установке,Известно устройство для транспортировки подложки в вакуумной установке, содержащее поижим-фиксатор, в качестве которого используют пружины различной конструкции, что не обеспечивает регулирования усилия фиксации.Целью изобретения является...