Патенты с меткой «чет»

Номер патента: 382772

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Есо, Ордена

МПК: C23C 14/36, C23C 14/50

Метки: 1вдтентно-текшпег, чет

...нан подложки в,од Цель изобр на обе сторонмощью механизма, состоящего из шестерен б и 7, одна из которых монтирована на оси 8, а другая - на оси 9, соединенной с вращающимся шлифом и механизмом вращения (на 5 чертеже не показаны). Вакуумная камераставится на металлическую плиту 10, соединенную с откачной системой. На плите монтировано распылительное устройство. Высота каждой .из оправив примерно на 0,5 лтм меньше О половины толщины покрываемой детали. В,одну из оправ помещается подложка, а другая ответная оправа ставится сверху и соединяется с помощью скоб 5, соединенных с осями 8, вставленными в пазы стоек 11. Катоды 15 шарнирно соединены со стойками 12 и подьемными механизмами 18 (на чертеже катоды ,1, 2 показаны в нерабочем...