Номер патента: 382772

Авторы: Есо, Ордена

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 382772ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскик Содиалистикесккх Республиквисимое от авт. свидетельства Уев аявлено 24.Х.1971 (Ме 1699796/22-1;М. Кл. С 23 с 15 исоединением заявки ахо -итет -Номитет по делам аобретеиий н открытий прн Совете Министров СССР(088.8) Опубликовано 23.7,1973. Бюллетень х,еДата опубликования описания 14 Л 111.19 Авторы зобретени мазанов, В. В, Воронцова, В, А. Гендин и Н. П. Гусевардена Ленина красногорский механический завод аявител 1 Я"СТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЪЛЕНИ е относится к ооласти нанесев вакууме и может быть приа песен и я тонкопленочных пом катодного распыления, стройство для катодного распыащее вакуумную камеру, внутреплены подвижные катоды и атель, и механизм переметцестве подложко иж ио, ч то н на обе сторон звестном устр нтирован непо осить покрыти ном процессе, етения - нподложечки анесение покрытий в одном процессе,Это достигается,тем, что подложкодержатель выполнен в виде оправ, соединенных между собой скобами, связанными с механизмом перемещения.На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.Устройство состоит из вакуумной камеры (на чертеже не показана), внутри которой укреплены подвижные катоды 1, 2 и подложкодержатель, выполненный в виде двух металлических оправ 8, 4, представляющих собой круглые диски с посадочными местами для подложек. Оправы соединены скобами 5. Поворот подложкодержателя производится с поверх креп После обрай ка- минеытия. Изобретени ния покрытий менено для н крытий методо Известно у ления, содерж ри которой ук лодложкодерж ния,Однако в и держатель мо позволяет нан подложки в,од Цель изобр на обе сторонмощью механизма, состоящего из шестерен б и 7, одна из которых монтирована на оси 8, а другая - на оси 9, соединенной с вращающимся шлифом и механизмом вращения (на 5 чертеже не показаны). Вакуумная камераставится на металлическую плиту 10, соединенную с откачной системой. На плите монтировано распылительное устройство. Высота каждой .из оправив примерно на 0,5 лтм меньше О половины толщины покрываемой детали. В,одну из оправ помещается подложка, а другая ответная оправа ставится сверху и соединяется с помощью скоб 5, соединенных с осями 8, вставленными в пазы стоек 11. Катоды 15 шарнирно соединены со стойками 12 и подьемными механизмами 18 (на чертеже катоды ,1, 2 показаны в нерабочем положении). При таком положении катодов производится поворот подложкодержателя с подложками для О нанесения покрытий на вторую поверхность. Подготовленная к покрытию подложк мещается в одну из оправ 8, 4. Затем с ставится ответная оправа и обе оправы с ляются скобами 5, и полученная таким зом единая оправа одевается на ось 8. этого к одной из поверхностей детали, щенной к катоду, подводится кремниевь тод или поочередно танталовый и кре вый в зависимости от требуемого покр382772 Предзгет изобретения Л Б 8 ЯБ Составитель Л, Анисимова Текред Т. Курилко Редактор Л, Лаврова Корректор С, Сатагулова Заказ 428/1267 Изд Хе 585 Тираж 826 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж-З 5, Раушская набд, 4/5 Тип, Харьк. фил. пред, Патент После чего наносится требуемое покрытие па эту сторону. Далее катоды 1, 2 ставятся в нерабочее положение и производится поворот оправы с подложками с помощью механизма вращения для нанесения покрытия на вторую сторону, Затем также как и при нанесении покрытия на первую сторону подводится катод (или поочередно катоды) и производится нанесение покрытия на вторую сторону. Этим процесс запсанчивается, а готовая деталь с двусторонним покрытием снимается,Ъ стройство для катодного распыления, содержащее вакуумную камеру, внутри которой укреплены подвижные катоды и подложкодержатель, и механизм перемещения, от,гичаюигееся тем, что, с целью нанесения покрытий на обе поверхности подложки в одном процессе, подложкодержатель,выполнен в ви де оправ, соединенных между собой скобами,связанными с механизмом перемещения.

Смотреть

Заявка

1699796

Ордена Ленина красногорский механический завод, ЕСО

МПК / Метки

МПК: C23C 14/36, C23C 14/50

Метки: 1вдтентно-текшпег, чет

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-382772-1vdtentno-tekshpeg-chet.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">1вдтентно-текшпег: чет.</a>

Похожие патенты