Патенты с меткой «гго»

Номер патента: 362073

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Малеев, Семин

МПК: C23C 14/50

Метки: всесоюзну»я, гго, пдтеш1

...тантал, титан). К нижней части корпуса параллельно катоду приваривается тонкий (0,1 - 0,3 лтя) диск (анод) б основание цилиндра, из такого же тугоплавкого материала. Для уменьшения теплоотдачи с нерабочей стороны нагревателя к держателю 4 приварен экран 7. Из корпуса нагревателя откачан воздух до давления 6 - 3 10-з млт рт. ст. Все устройство крепится посредством держателя 4 внутри вакуумной камеры в непосредственной близости от нагреваемой подложки 8.К катоду 1 нагревателя подводится высокое напряжение (до 6 кв). При подаче высокого напряжения на катод 1 внутри корпуса 5 в результате ионизации возникает аномальный тлеющий разряд, и между катодом 1 и диском (анодом) б протекает ток. Под действием тока диск б разогревается, Так как...