Рето

Номер патента: 373330

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Вихров, Рето, Смолкин, Фадеев

МПК: C23C 14/50

Метки: вакуумных, нагреватель, подложек, установок

...охлаждения нагревателя в вакууме около 1 10 -мм рт. Ст, от 600до 50 С равно 10 - 12 мин без дополнительныхохлаждающих устройств,зс Рабочая поверхность предлагаемого дугоНАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖ Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.Известен нагреватель подложек для вакуумных установок, представляющий собой металлическую полосу. Однако рабочая поверхность такого нагревателя ограничена.Целью изобретения является увеличение рабочей поверхности нагревателя. Это достигается тем, что металлическая полоса выполнена в виде прямолинейных площадок с выступами между ними, расположенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.На чертеже показан предлагаемый нагреватель. Он представляет собой...