Всесоюзну»я пдтеш1. -«; гго
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советскин Социалистичвскин Реслуолинтвависимое от авт. свидете л. С 23 с 13 4/26-9 рисоединением заявки М иорите Комитет ло лоламобретений и открытийри Совете МинистровСССР 539.234.002,5 (088.8) Опубликовано 13,Х 11,1972, Бюллетень2 за 1973 Дата опубликования описания 6.11.1973Авторызобретени Н Семи Н, Малеев аявите-1 УУМЕ О аявлено 14.Х 11.1970 (1 тв 160 СТРОЙСТВО ДЛЯ НАГРЕВА Изобретение относится к технике нанесения тонких пленок в вакууме и может быть использовано при изготовлении элементов микроэлектроники и оптически; покрытий.Известны омические и электронные нагре вателп для нагрева подложек и термообработки тонких пленок, нанесенных в вакууме. Электронные нагреватели подложек, содержащие вольфрамовый проволочный катод, экран и изолирующие стойки, имеют небольшой 10 срок службы, а для равномерного нагрева подложек требуют применения массивной металлической выравнивающей пластины.С целью равномерного нагрева подложек и повышения надежности работы устройства, 15 катод устройства для нагрева расположен внутри герметичного тонкостенного цилиндра из тугоплавкого материала, например молибдена; плоскость катода параллельна нижнему основанию цилиндра; давление остаточного 20 газа внутри цилиндра соответствует низкому вакууму.На чертеже изображено предлагаемое устройство и подложка.Водоохлаждаемый катод 1 с магниевым по крытием 2 посредством вакуум но-плотной сварки через керамический высоковольтный изолятор 3 крепится на держателе 4 устройства. К держателю 4 устройства также вакуумно-плотно приварен цилиндрическии корпус 5, изготовленный из тугоплавкого материала (молибден, тантал, титан). К нижней части корпуса параллельно катоду приваривается тонкий (0,1 - 0,3 лтя) диск (анод) б основание цилиндра, из такого же тугоплавкого материала. Для уменьшения теплоотдачи с нерабочей стороны нагревателя к держателю 4 приварен экран 7. Из корпуса нагревателя откачан воздух до давления 6 - 3 10-з млт рт. ст. Все устройство крепится посредством держателя 4 внутри вакуумной камеры в непосредственной близости от нагреваемой подложки 8.К катоду 1 нагревателя подводится высокое напряжение (до 6 кв). При подаче высокого напряжения на катод 1 внутри корпуса 5 в результате ионизации возникает аномальный тлеющий разряд, и между катодом 1 и диском (анодом) б протекает ток. Под действием тока диск б разогревается, Так как распределение тока в разряде равномерно по всей площади катода, то находящийся против катода анод прогревается с высокой степенью равномерности, а следовательно, посредством тепловой радиации равномерно нагревается и подложка. Вследствие малой толщины диска б потери на теплопроводность и теплоемкость нагревателя минимальны.362073 Предмет изобретения Вода Составитель М. Порфирова Техред Л. Богданова Редактор Л. Струве Корректор А. Дзесова Заказ 118/1 Изд.1020 Тираж 404 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 Для уменьшения распыления катода и увеличения срока службы устройства катод 1 покрыт тонким слоем магния, имеющего наименьший коэффициент распыления.Как показали проведенные эксперименты, нагреватель предлагаемой конструкции прн напряжении до 6 кв и разрядном токе до 0,3 а обеспечивает равномерный нагрев подложек до 600 С за 5 - 6 дсин при расстоянии от подложки до 10 - 20 лсм,Срок службы предлагаемого нагревателя практически не ограничен и определяется лишь качеством вакуумной сварки корпуса. Устройство для нагрева подложек в вакууме, содержащее катод, экран и источник 5 постоянного тока, подключенный к катоду,отлссссасосссееся тем, что, с целью обеспечения равномерности нагрева подложек и повышения надежности работы устройства, катод расположен внутри герметичного тонкостен ного цилиндра из тугоплавкого материала,например молибдена, причем плоскость катода параллельна нижнему основанию цилиндра, а давление остаточного газа внутри цилиндра соответствует низкому вакууму,
СмотретьЗаявка
1601694
В. Н. Малеев, В. Н. Семин
МПК / Метки
МПК: C23C 14/50
Метки: всесоюзну»я, гго, пдтеш1
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-362073-vsesoyuznuya-pdtesh1-ggo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Всесоюзну»я пдтеш1. -«; гго</a>
Устройство для нагрева подложек
Номер патента: 240059
Опубликовано: 01.01.1969
Авторы: Андреев, Козлов, Романов
МПК: H05K 3/00
...параллельно которому расположена по 1 дложка, от,гичающееся тем, что, с целью обеспечения постоянной и однородной температуры подложки, между основанием и подложкой помещен тонкий слой легкоплавкого материала. ы устройства для нагрева подложек ие нагреватель и металлическое осОднако они не обеспечивают пои однородной температуры подложОписываемое устройство отличается от известных тем, что в нем между основанием и подложкой помещен слой легкоплавкото материала.Это обеспечивает постоянную однородную температуру подложки.На чертеже изображена конструкция предлагаемого устройства.Подложка 1 прикреплена удголками 2 к массивному основанию 3, а между основанием и подложкой позгещен тонкий слой легкоплавкото материала 4 (например олова...
Устройство для регулирования положения корпуса транспортного средства
Номер патента: 623760
Опубликовано: 15.09.1978
Авторы: Лазарев, Миронов, Николаев
МПК: B60G 17/00
Метки: корпуса, положения, средства, транспортного
...без перекосов и опережения другдруга,Предлагаемое устройство обеспечиваетподъем и опускание ходовых мостов транс 10портного средства на величину Н - 11,гце Н -высота моста в верхнем положении;Й - высота моста в нижнем положении;ц Кроме того устройство дает возможностьизменять клиренс в процессе движения ификсировать корпус транспортного средства в любом положении. Иа корпусе транспортного средства с воможностью поворота от приводной звездочки, установленной на наружной поверхности цилиндра, резьбовой шайбой, размешенной внутри цилиндра и шарнирносоединенной с амортизатором, расположеным внутри цилиндра, и цепным приводом, Ьзаимодействуюшим с приводной. звездочкой,На фиг. 1 изображено устройство,разрез; на фиг, 2 - транспортное...
Устройство для растяжки цилиндрических корпусов фанерной тары
Номер патента: 124102
Опубликовано: 01.01.1959
Автор: Ханжин
МПК: B27M 1/00
Метки: корпусов, растяжки, тары, фанерной, цилиндрических
...10 находятся взаимодецствующие с ней радиально установленные подпружиненные штоки 11 и 12, свободные концы которых расположены против конечных выключателей 13 и 14, переключающих вращение электродвигателя. Зазор между концами штоков 11 и 12 и кнопками выключателей устанавливается регулировочными болтами с контргайками (на чертеже не показаны).Цилиндрическая обечайка фанерной тары надевается на полуцилиндры б и б.124102 При вращении ходового винта 2 движение через ведущую гайку 1 б, передается связанным с ней параллелограммам 3 и 4, которые распрямляются, в результате чего полуцилиндры б и б расходятся и растягивают обечайку фанерной тары. При достижении обечайкой заданного диаметра каретка 10 воздействует на соответствующий конечный...
Устройство для защитного покрытия корпусов судов
Номер патента: 134150
Опубликовано: 01.01.1960
Авторы: Константинова, Этин
МПК: B63B 59/00
Метки: защитного, корпусов, покрытия, судов
...2 - приспособление (навесная головка)для наклейки ленты.Устройство состоит из самоходной башни 1, подъемно-поворотнойстрелы 2, навесной головки 8, которая состоит из следующих основныхузлов: рамы 4, ролика продольной обкатки 5, ролика поперечной обкагки б, барабана для установки рулона покрытия 7, бугеля ролика продольной обкатки 8, бугеля ролика поперечной обкатки 9, цилиндраперемещения ролика продольной обкатки 10, цилиндра перемещенияролика поперечной обкатки 11, цилиндра вертикального поворота головки 12 и цилиндра горизонтального поворота головки 18.Устройство работает следующим образом; рулон покрытия вставляется в барабан 7 головки, затем головка с помощью стрелы 2 подводится к корпусу корабля и устанавливается в необходимое...
Устройство для обработки поверхности корпуса судна в доке
Номер патента: 789319
Опубликовано: 23.12.1980
Авторы: Мась, Рыбьяков, Тер-Минасов
МПК: B63B 59/00
Метки: доке, корпуса, поверхности, судна
...тележки. Выступ тяги 34 воздействует на конечные выключатели 45 и 46, электрически связанные с системой включения двигателя 14, в соответствии с положением перекидного рычага 35. На квадратный хвостовик 9 надевается съемный рычаг 47. Следящая рычажно-тяговая система занимает часть объема ниши корпуса тележки, а другая часть используется в качестве емкости (бака) гидросистемы грузоподъемного устройства мачты 17, при этом следяшая рычажно-тяговая система состоит из тяги 27, Т-образного рычага 28, ползуна 29, тяги 30, тяги 31и рычага 32,Устройство работает следующим образом.Для перемещения тележки вправо рычаг 35 поворачивают вправо, нажав на фиксатор 36 и повернув его вдоль сектора 38,При этом выступ тяги 34 воздействует наконечный...
Предыдущий патент: Устройство для измерения толщины
Следующий патент: Устройство для управления процессом получения многослойных интерференционных покрытий
Случайный патент: Оптический узел поворотных зеркал лазера со складным резонатором