Устройство для катодного распыления

Номер патента: 396451

Авторы: Александров, Шалимов

ZIP архив

Текст

сгОП ЙСсАтНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Согоз Советск,гх Социадмстммегскмх УгвсвубпмкК АВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства273616 М,Кл. С 23 с 15/00 Заявлено 03,7.197 ( 1652680 гг 22-)с прцсоелневам заявки- -Прцорцтет -Опубликовано 29.17111.973, Вюгглетець36Дата опубликования описания 17.1.1974 Госудврстввииьгй комитет Совета Министров СССР по делам ивооретеиик и открытийУД К 621.793.12.002.51 (088.8) Авторыизобретения Б. А. Александров и С. В. Иалимов Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДБОГО РАСПЫЛЕНИЯ Изобрете ие относится к области еганесеция покрытий в вакууме,и может быть применено для получения тонких пленок методом католного распыления. По основному авт. св,273616 цзвесто устройство для катодцого распыления, содержащее камеру с размещенными внутри нес катодами, анодами и подложкодержателями. Катоды выполнены в виде гребенки, заполняющей объем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели. В таком устройстве наблюдается значительная,потеря распыляемого материала, происходящая за счет осаждения его на стенки разрядной камеры, что снижает производитель- Е 1 ОСТЬ.Цель изобретения - повышение производительности.Для этого устройство снабжено дополнительными подложкодержателями, выполненными в виде полых усеченных конусов и укрвпленных между плоскими подложкодержателями и катодами.На чертеже представлено предлагаемое устройство для катодного распыления. Устройство состоит цз вакуумной камеры 1,внутри которой расположены дисковые катод 1 2 и дисковые подложкодержатели д, заключенные в разъемный полый цилиндр 4, вьиполненцый в виде двух цилиндрических поверхностей. Нд внутренней поверхности цилиндра укреплены дополнительные подложкодЮржатели 5, выполненцьге в виде полых усеченных конусов. Натекдтель 6 служит для ца О пуска рабочего газа в камеру 1.Устройство раоотает следующим ооразом.Подложки крепят цд подложкодерждтеляхЗц 5. В камере 1 создают давление (2 - 5) 10 лиг рт. ст. Через цатекдтель о ца пускают газ, например аргон, повышая давление в камере до (1 - -2) 10лиг рт. ст. К катодам 2 прикладывают потенциал 4000 в. Для получения пленок толщиной 1800 - 2000 Л вре 2 змя цацесецця О .цин. Предмет изобретения Устройство для катодного распыления по авт. св.273616, отгнчающееся тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено дополнительными подложкодержателями, выполненными в виде полых усеченных конусов ц укрвплвцными между плоскими подлояокодерждтелями и катодами..Заказ 6508 1 ИИПИ Обл. тип. Костролокого управлении издательств, полиграфии и книжной торговл Изд,908 осудар ственного по делам изо Москва, Ж, Тираж 82 бомитета Совета Минжтров СССРетеппй и открытийаушакая наб., д 4/5

Смотреть

Заявка

1652680

Б. А. Александров, С. В. Шалимов

МПК / Метки

МПК: C23C 14/36, C23C 14/50

Метки: катодного, распыления

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-396451-ustrojjstvo-dlya-katodnogo-raspyleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для катодного распыления</a>

Похожие патенты