Нагреватель подложек для вакуумных установок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕ Союз Советских Социалистических Респтблик.зависимое от авт. свидетельств Заяв.",сно т 7.Х 1.1970 (ЛЪ 14917,1 1 Кч С 23 с 13/1 нрисседннснт ем заявки Л митет по делам нор нт обретении н открытиири Совете МинистровСССР нублнковано 12.111.973. Ьюллстснь Л 14 УД К 621.733.14,002.52, (088.8) ата опубликования описания 13 М,1978 Авторызоб;стотия асильев ихров, В. Б. Смолкин и В, К. Фиде Заявителмещают на прямолинейные площадки, В результате расположения площадок по дуге всеподложки находятся от испарителя на расстоянии, обеспечивающем требуемую равномерность покрытий по толщине.Ниже приведены результаты испытания нагревателя, изготовленного из молибденовойполосы толщиной 0,2 мм, выполненной в видеодиннадцати прямолинейных площадок шири 10 иой 26 мм, расположенных по дуге с радиусом 150 мм. Прямолинейные площадкиразделены между собой П-образными выступами высотой и шириной, равными 2 мм. Молибденовая полоса скреплена заклепками из15 нержавеющей стали с двумя полукольцами измолибдена толщиной 0,2 мм с отверстиями2 мя, в которые помещены концы П-образныхвыступов.Количество одновременно загруженных гер 20 маниевых пластин 44 штуки.Неравномерность толщины пленки на пластинах не более 5%,Температура нагрева до 900 С с разбросомтемпературы в разных точках рабочей поверхвэ ности нагревателя в пределах +2 С.Время естественного охлаждения нагревателя в вакууме около 1 10 -мм рт. Ст, от 600до 50 С равно 10 - 12 мин без дополнительныхохлаждающих устройств,зс Рабочая поверхность предлагаемого дугоНАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖ Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.Известен нагреватель подложек для вакуумных установок, представляющий собой металлическую полосу. Однако рабочая поверхность такого нагревателя ограничена.Целью изобретения является увеличение рабочей поверхности нагревателя. Это достигается тем, что металлическая полоса выполнена в виде прямолинейных площадок с выступами между ними, расположенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.На чертеже показан предлагаемый нагреватель. Он представляет собой металлическую полосу, выполненную в виде прямолинейных площадок 1 с выступами 2 между ними, расположенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.Для придания нагревателю жесткости и дугообразной формы с определенным радиусом с двух сторон к металлической полосе прикреплены заклепками 3 два металлических полукольца 4, в отверстия которых помещаются выступы 2, Дугообразная часть нагревателя заключена между прямолинейными участками 5, служащими для получения равномерности температуры нагрева в разных точках рабочей поверхности нагревателя,Для проведения напыления подложки разВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК,Саказ 2518 Изд.1287 Тираж 826 ПодписноеЦНИИПИ Ксо 1 ттета по десаи изобретений и открытий прн Совеге Министров СССР Москва, Ж.З 5, Раушская наб., д. 4/5 Обт. тна. Кострозссосо т:павени 3;ГспсГз, потнГ 1:кнжн,н топ".овли образного нагревателя в 10 раз больше известных прямолинейных нагревателей.Возыожно проводить напыление на подложках разной конфигурации и размеров. Предмет изобретенияНагреватель подложек для вакуумных установок, представляющий собой металлическую полосу, отличающийся тем, что, с целью увеличения рабочей поверхности нагревателя, металлическая полоса выполнена в виде прямолинейных площадок с выступами между ними, 5 расположенными по дуге с радиусом, равнымрасстоянию от их центров до испарителя.
СмотретьЗаявка
1491735
рето И. В. Васильев, Г. В. Вихров, В. Б. Смолкин, В. К. Фадеев
МПК / Метки
МПК: C23C 14/50
Метки: вакуумных, нагреватель, подложек, установок
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-373330-nagrevatel-podlozhek-dlya-vakuumnykh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Нагреватель подложек для вакуумных установок</a>
Прибор для вычерчивания дуг окружностей больших радиусов
Номер патента: 75507
Опубликовано: 01.01.1949
Автор: Шестов
МПК: B43L 9/00
Метки: больших, вычерчивания, дуг, окружностей, прибор, радиусов
...линейки 3 равных (по абсолютной величине) изгибающих моМинистерство строительст за м 17-" (Зэ 93 Г) октября 1949 года ментов, а следовательно, и радиуса окружности, по котсрой изгибается линейка, достигается поворотом правого конца линейки отностельно лимба 4 ьиг. 1). Поворот пБс. изводтся рукояткойс зажмным устройством б, позволяюим закрепить оукоятку на лимбе.Левый конец линейки связан с лимбсм шарнирным механизмом, допускающим свободное сме:цение конца относительно лимба, но исключаю;им возможностьх отнссительного поворота.К линеке пркреплсны спецальные держател, при помощи которых она прижимается пальцами к чертежу во время прочерчивания дуги. Б случае необходимости закрепления механизма для обеспечения неизменности расстоян я...
Прибор для вычерчивания дуг окружностей больших радиусов
Номер патента: 75508
Опубликовано: 01.01.1949
Автор: Шестов
МПК: B43L 9/00
Метки: больших, вычерчивания, дуг, окружностей, прибор, радиусов
...линейки со звеньями механизма последним придано криволинейное очертание, при котором линейка оказывается свободной по,всей ее длине,Изменение радиуса круга достигается вращением регулировочного винта 6, закрепленного на продолжении звена 2 и 4 и упирающегося конец, перемецакгщийся по направпродолжением звена 3 и 4. Вследствие упругости линейки стрелка всегда плотно прижата к концу регулнровочного винта. К концу звена 2, 4 прикреплена шкала 8, Градуировка шкалы указывает величину радиуса дуги круга, по которой изогнута выпуклая сторона линейки прп различном положении стрелк:.По длине линейки может быть нанесена шкала с миллиметровымн делениями (с отсчетом гправо и вле75508во от середины линейки), которая будет полезна при...
Прибор для вычерчивания дуг окружностей больших радиусов
Номер патента: 204600
Опубликовано: 01.01.1967
Авторы: Левченко, Московский
МПК: B43L 9/00
Метки: больших, вычерчивания, дуг, окружностей, прибор, радиусов
...связи двух сторон заданных рычагов движутся по окружностям, уравнения которых (Х - г)2+ У 2 = Г 2 И (Х - Я)2+ У 2 = Я 2, тО вершина другого прямоугольного рычагадвижется также по окружности, уравнение которой в прямоугольной системе координат ХАУХ 2+ У 2 - 2 гХ+ = О, (1)/АВ К- коэффициент проп рВС 1 - КЗаказ ."ВИ, 1 О Тира;к 535 ПодписноеЦНЯ 1 ГР Ксиитета по дедам нзобретеиш и открьтий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д. 4 ипотрафня, пр. Сапунова, 2 ротных ползунов 3, 4, 6 и переставных шарниров А,Р( - ) и С, ВершинаВ рычага АВС с помощью шарнирно связанного с ней ползуна 6 соединена со стороной БР рычага АВС, а стороны АВ и АС с помощью вух пар шарнирно соединенных ползунов 3, 7 и 5, 8 связаны со стороной ВС рычага...
Прибор для вычерчивания дуг окружностей больших радиусов
Номер патента: 628005
Опубликовано: 15.10.1978
Авторы: Калмыков, Сакаев, Самсоненко
МПК: B43L 9/00
Метки: больших, вычерчивания, дуг, окружностей, прибор, радиусов
...установлены передвижнаяретка 2, зажим 3, в котором зацепштанга 4 с опорной иглой 5 посредсвинта 6, опоры 7, Каретка снабженамя роликами, два из которых 8 и 9новлены на неподвижных осях, а треролик 10 установлен на рычаге 11;жина 12 предназначена для силовогомыкания ролика с направляющей. Заж13 с винтом 14 служит для фиксациградуированной линейки 15, несущейшуший элемент 16, В зажиме имеетсокно 17 прямоугольной формы с рис18. Прибор настраиваютдуги окружности следуюшП оцписн о итета Совет тепий и отк шская наб., ц аз 5715113ЦНИИПИ Госу а Министров ССрытнй. 4/5 113 О 35, М ск лиал ППП "Патент, г, Ужгооод, ул. Проектная,Определяют величинупо Формуле=К-где й-радиус дуги окружности, которую необхоцимо вычертить;- радиус...
Прибор для вычерчивания дуг окружностей больших радиусов
Номер патента: 101117
Опубликовано: 01.01.1955
Автор: Голуб
МПК: B43L 9/00
Метки: больших, вычерчивания, дуг, окружностей, прибор, радиусов
...стяже-хорде 3. Линейка присоединена( кронштейнам неразъех- ным соединением, а кроцштсйцы присоединены к стяжке-корде прц помощи шарниров 4.Нижняя кромка 5 линейки прямая, а верхняя кромка б, ограничивающая разные по длине линейки высоты, выполнена по синусоиде с" целью изгиба линейки при сб:ие се.оцов по дугам окружности.Стяжка-хорда 3, с помощью которой сближаются концы линейки, состоит цз трубки 7 и входящего в цее одним концом стержня 8. 1 Лзхссне длины стяжки-хорды достигается вдвигацием стерЖня 8 в трубку 7 и выдвиганием его. На стержне 8 сделаны зубцы 9, а на трубке 7 укреплена шарнирно подпружшенная собачка 10 с упором 11 лля пальца руки.Для установки прибора на заданный радиус окружности ца трубке 7 нанесены дслеция и сделана...
Предыдущий патент: Способ анодирования изделий из тантала и его сплавов
Следующий патент: Моющая композиция для omhctkf металлической поверхностиgoscoseh: -im-“bvibahovgha,
Случайный патент: Способ укладки подводного трубопровода