Устройство для транспортирования и совмещения

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскиз Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства ЛЪ л, 21 а 4, 75 242773/26 явлено 27,Ч,196 присоединением заявки Лов ПриоритетОпубликовано 10,Ъ.1970. Бюллетень М 1Дата опубликования описания 14 Л 111,1970 ПК С 23 с 13/08 В 05 с 11/16 ДК 621.3.049,7.002.5Комитет по дел зобретений и открытпри Совете МинистреСССР Авторыизобретен 1 аврилов, В. В. Репин, М. И, Алехин и Н. М. Богачей вител и1 СТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАН ПОДЛОЖЕК И МАСОИ СОВМЕЩЕН Изобретение относится к области технологии радиоэлектронной аппаратуры, в частности к конструированию оборудования, используемого для изготовления многослойных тонкопленочных микросхем.Известны устройства для транспортирования и совмещения подложек и масок для изготовления тонкопленочных микросхем, содержащие соединенные с приводными механизмами и расположенные на транспортирующих дисках подложкодержатели и маскодержатели, снабженные центрирующими элементами. Нагревательные и охладительные элементы устройств выполнены либо с индивидуальными механическими приводами, либо без них, причем маскодержатели установлены неподвижно, а подложкодержатели имеют шесть степеней свободы или наоборот. Расположение нагревательных или охладительных элементов на требуемых расстояниях от подложек осуществляется с помощью индивидуальных приводов.Однако подобные устройства сложны в конструктивном выполнении, малопроизводительны в работе и ненадежны,С целью упрощения конструкции и повышения качества изготовления микросхем в предлагаемом устройстве маскодержатель выполнен в виде конического прямоугольного основания, опирающегося своими скошенными поверхностями на гнездо транспортирующего диска, снаоженного подпружиненными планками, а подложкодержатель упирается верхней плоскостью в неподвижные упоры гнезда транспортирующего диска, также снабженного подпружиненными планками.На фиг. 1 приведено схематическое изображение описываемого устройства; на фиг. 2 - конструкция маско- и подложкодержателей.Устройство содержит нагреватели 1 и охладители 2. Диск 8 подложкодержателей служит для транспортировки плавающих подложкодержателей 4 и в положении для транспортировки установлен на роликовых опорах 5. Ступица диска подложкодержателей укреплена на валу б посредством призматических шариковых опор 7, обеспечивающих его центрирование, передачу ему крутящего момента и свободное перемещение вала относительно диска подложкодержателей в осевом направ- О ленин. Диск 8 маскодержателей служит дляразмещения плавающих маскодержателей 9 и укреплен на валу на шариковых подшипниках 10, обеспечивающих его центрирование и свободу вращения относительно вала. Корпуса 11 роликовых опор служат направляющими скольжения и предохраняют диск 8 маскодержателей от проворачивания. Фиксатор 12 диска подложкодержателей и фиксирующие гнезда диска маскодержателей служат для их 30 взаимпо 1 о совмещения, Для точной регулиров 268523ки расстояния между дисками подложкодержателей и маскодержателей в рабочем положении служат винтовые упоры 13. Вал установлен в стойке 14 на шариковых опорах, обеспечивающих его свободное вращение и перемещение в осевом направлении, и вывешен на роликовых опорах рычага 15, приводимого в движение электромеханическим приводом. Для передачи валу вращательного движения служат зубчатые колеса 1 б и 17, а также мальтийский механизм 18, приводимые в движение электромеханическим приводом.Транспортирующее .устройство выполнено, например, шестнадцатипозиционным, каждое из которых снабжено устройством совмещения, подложка 19 закреплена в подложкодержателе, расположенном в гнезде 20 транспортирующего диска подложкодержателей, имеющего вращательное и вертикальное возвратно- поступательное перемещения. Подложкодержатель прижат к диску подложкодержателей посредством пружин 21 и планок 22. Перемещение подложкодержателя вверх ограничивается жесткими упорами 23 гнезда 20 диска лодложкодержателей. Маскодержатель расположен в гнезде 24 диска маскодержателей, имеющего возможность вертикального возвратно-поступательного перемещения, и прижат к нему посредством планок 2 б и пружин 2 б, Боковые стенки маскодержателя и гнезда 24 диска маскодержателей выполнены наклонными, что ограничивает перемещение маскодержателя вверх. Штифты 27 маскодержателя и отверстия 28 подложкодержателя служат для их взаимного совмещения. П р едм ет изобретения10 Устройство для транспортирования и совмещения подложек и масок для изготовлениятонкопленочных микросхем, содержащее соединенные с приводным механизмом и расположенные на транспортирующих дисках под 15 ложкодержатели и маскодержатели, снабженные центр ирующими элементами, например,штифтами и гнездами, и нагревательными иохладительными элементами, отличающеесятем, что, с целью упрощения конструкции уст 20 ройства и повышения качества микросхем,маскодержатель выполнен в виде коническогопрямоугольного основания, опирающегося своими скошенными поверхностями на гнездотранспортирующего диска, снабженного под 25 пружиненными планками, а подложкодержа-.тель опирается верхней плоскостью в неподвижные упоры гнезда транспортирующегодиска, также снабженного подпружиненнымипланками,268523 229 иг. ЛСоставитель А. Артюшии Редактор Т. И. Морозова Техред Л. В, Куклина Корректор Н. А. МитрохинаЗаказ 2187/11 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раунскан наб., д. 4/5Типография, пр, Сапунова, 2