C23C 14/24 — вакуумное испарение

Номер патента: 212702

Опубликовано: 15.02.1988

Авторы: Кондрацкий, Найдич

МПК: C23C 14/18, C23C 14/24

Метки: алмазные, нанесения, покрытий, порошки

...в качестве металлического порошка используют хром.212702 Редактор Н.Сильнягина Техред Л. Олийнык Корректор Л.Патай Заказ 771 Тираж 990 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5Подписное Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Известны способы нанесения металлических покрытий, например хромовых, на алмазные порошки электролизом, а также методом адсорбции металла на1поверхность алмаза из жидкого расплава в вакууме. Однако эти способы при" менимы лишь для металлизации относительно крупных алмазных зерен,Для получения равномерных покрытий со средним размером частиц до 120 мк алмазный порошок смешивают с металлическим порошком...

Номер патента: 788831

Опубликовано: 15.07.1989

Авторы: Минайчев, Михневич, Одиноков, Савин

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...разделенную перегородками 4 сотверстиями 5 на секции с размещенными в них источником 6 нанесения покрытий, щпюзовую систему 7 загрузкивыгрузки иэделий, транспортирующееустройство 8 с направляющими 9, герметично поджатыми в вакуумной камере1 по плоскости разъема 3. Перегородки 4 секции выполнены подпружиненны" 10ми и размещены между крышкой 2 вакуумной камеры и направляющими 9 транспортирующего устройства 8,Наружное давление в.:вакуумной камере 1 поддерживается с помощью сред" 15ства 10, В вакуумной камере 1 уста".новлены натекателн 11 рабочего газа.Подвижные перегородки 4 перемещаютсяс помощью рычагов 12 через герметичные вводы 13, установленные на крышке 2. Изделия выгружаются иэ магазинов 14 и загружаются в магазины 15через...

Номер патента: 1581776

Опубликовано: 30.07.1990

Авторы: Гриценко, Крючин, Петров, Сергиенко, Юдин

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, многокомпонентных, напыления, покрытий

...заполнена крупинками 9. Камера регулировки вязкости снабжена регулируемымнагревателем 10. Нагреватели 11 и 12предназначены для обеспечения рабочихтемператур бункера и камер испаренияи перегрева пара соответственно.Устройство работает следующимобразом,Расплав 2 в бункере 1 нагревается до температуры, лежащей между Тмногокомпонентного состава и Т исксамого легколетучего компонента. Дав-ление насыщенных паров в бункере 1пренебрежительно мало по сравнению сгидростатическим давлением, равнымуКЬ, где р- плотность расплава,д - ускорение свободного падения,Ь - высота столба жидкости в трубопроводе и бункере, и в дальнейшем неучитывается. Расплав 2 под действиемгидростатического давления поступаетпо трубопроводу 4 в камеру 5 регулирования...

Номер патента: 329806

Опубликовано: 07.11.1990

Авторы: Давыдов, Жилов, Минайчев, Пеккер

МПК: B22F 1/02, C23C 14/24

Метки: материалы, нанесения, покрытий, сыпучие

...и обращенысвоей отражающей поверхностью внутрькамеры. Сверху устройства расположен бункер 1 с сыпучим материалом 2, который подают через питатель 3 в вакуумную камеру 4. Внутри камеры 4 укреплен спиральный лотковый вибротранспортер 5, снабженный отражателями 6 с плоской, выпуклой или вогнутой поверхностью 7. Вибротранспортер 5 заполнен испаряемым и движущимся материалом 8. Материал с нанесенным покры" тием ссыпается в приемный бункер 9 через затвор 10. Вакуум создают вакуум-насосом 11. В бункере 12 находится покрывающий материал в виде порошка или жидкости. Нагревательные электрические элементы 13 вмонтированы в вибротранспортер 5, с их помощью последний подключен к электрической цепи низ- кого напряжения. Отражатели 6 выполнены под...

Номер патента: 1678899

Опубликовано: 23.09.1991

Авторы: Левченко, Радзиковский

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...нанесении покрытий на вертикально расположенные подложкодержатели и упрощение конструкции.На чертеже изображено устройство, общий вид.Устройство содержит трубопроводы 1 и 2 и крышку 3, установленные последовательно и поддерживаемые штифтом 4 и пружиной 5, закрепленные на кронштейне 6. Трубопровод 2 окружен нагревателем 7, в нем также размещена позиция 8 для испаряемого материала. Подложкодержатель 9 расположен напротив выходного отверстия трубопровода 1.Трубопроводы 1 и 2 и крышка 3 могут быть также соединены на резьбе или за счет сужений на концах.Устройство работает следующим образом.После откачки до рабочего вакуума включают нагреватель 7 и нагревают трубопровод 2 с позицией 8 до температуры испарения. Поток испаренного материала...

Номер патента: 1758084

Опубликовано: 30.08.1992

Авторы: Левченко, Радзиковский

МПК: C23C 14/24, C23C 14/26

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...2973 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент". г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 В нагревателе 1 установлен трубопровод 2 с нэпыляемым материалом 3. Сужение 4 трубопровода 2 расположено в отверстии трубопровода 5, сужение 6 трубопровода 5 лежит на одной оси 7 с сужением 4. Трубопроводы 2 и 5 вьполнены идентичными, В отверстии трубопровода 2 установлена герметизирующая крышка 8, закрепленная посредством штифта 9 на кронштейне 10. Трубопроводы 2 и 5 поджаты к герметизирующему элементу пружинным элементом 11, закрепленным с помощью винта 12 на кронштейне 10. На крышке 8 закреплен стержень 13, свободный...

Номер патента: 1763520

Опубликовано: 23.09.1992

Автор: Каплунов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, локального, нанесения, покрытий

...бомбардировкой на одну поверхности изделия из источнико емого материала, расположенных в о обоих замкнутых объемах, после чего вляют развакуумирование замкнут мов одновременно, и камеры удаляотверстиями без помещения всего изделия в камеру.Предложенный способ поясняется блок-схемой, изображенной на чертеже, где изображены накладные вакуумные камеры 1, 2 с открытой стенкой с одной стороны; длинномерное изделие 3 со сквозными отверстиями 4 и покрываемыми участками 5 и 6; эластичные прокладки 7, источники 8, 9 испаряемого материала, система откачки и напуска газа 10.П р и м е р, Накладные вакуумные камеры 1 и 2 устанавливаются открытой частью на покрываемые участки 5 и 6 изделия 3 со сквозными отверстиями 4, Имеющиеся между изделием и...

Номер патента: 1387507

Опубликовано: 30.10.1992

Авторы: Абдуазимова, Абдулов, Булат, Гершович, Кирсон, Недлин, Хавин, Эстерлис, Юнусов

МПК: C23C 14/24

Метки: испаритель, линейный, металлов, электродуговой

...и катодные пятна уже собираются вблизи этой секции анода. Регулированиемчастоты переключения секций изменяют скорость перемещения пятен, авместе с этим и скорость испарения материала, т,е. производительность и качество нспаряемого материала.Принцип работы токоподводов: дополнительный анод 8 выполнен в виде сплошного электрода, расположенного вдоль всех секций анода 7 так, что он входит в область плазмыдуги, горящей у данной секции. Предположим,что управляющим импульсом от генератора управляющих импульсов (ГУИ) открыт тнристор 18 При его открыва 3нии емкость С, заряженная до напряжения 0 У-Б, где Ц - напряжение источника 15 питающего дугу, аЦ" напряжение горения дуги, Б0примерно 50-70 в оказывается включенной в цепь дополнительного...

Номер патента: 818201

Опубликовано: 30.10.1992

Авторы: Арифов, Кельберт, Розенблюм, Фахретдинов, Эстерлис

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумных, нанесения, поверхностью, подложки, покрытий, развитой

...за счет адсорбции ф атомов инертного газа,Целью изобретения является улучшение качества покрытия, "ееаеУказаннаяцель достигается спосо" бом нанесения вакуумных покрытий на подложки с развитой поверхностью, включающим создание атомарного потока наносимого материала его термическим испарением, рассеяние атомарного потока осуществляют путем термического испарения неравномерно нагретого на, 818201 СоставительТехред И.Моргентал Корректор 0 КравцоваТираж Подписноекомитета по изобретениям и открытиям при ГЕНТ СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Редактор Е,ГиринскаяЗаказ ч 574ВНИИПИ Государственного113035,Производственно-издательский комбинат "Патент", г,ужгород, ул. Гагарина, 101 носимого материала и осаждение егона подложку,При...

Номер патента: 1070948

Опубликовано: 30.10.1992

Авторы: Кельберт, Латипов, Лундин, Эстерлис

МПК: C23C 14/24, C23C 14/58

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...в процессе осаждения материала покрытия осуществляют обработкупокрываемой поверхности дуговым раз"рядом, причем разряд возбуждают в парах автономного источника испаренияВ результате электродуговой обработки обрабатываемого изделия, являющегося катодом, катодные пятна дугового разряда, горяцего в парах осаждаемого материала покрытия автономного источника испарения, оплавляют припо" верхностный слой покрытия с образова" нием сплава с материалом обрабатывае мого изделия, Так как время воздействия быстроперемец 1 аюцихся катодных пятен на обрабатываемый материал изделия мало и структурных изменений и разрушения материала основы не про. 3 О исходит, а продиффундировавшие в приповерхностный слой атомы обеспечивают высокую адгезию слоев,...

Номер патента: 1812237

Опубликовано: 30.04.1993

Авторы: Акашкин, Ветошкин, Мандрыгин, Русинов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумных, испаритель, резисторов, сухих

...ребра на дне тигля относительно температуры в основании ребра, Анализ результатов расчета показывает, что температура в основании . четвертого ребра (точка 4 на графике) отличается от температуры в точке О не более чем на 20, а температура вершины ребра не более чем на 0,20/, отличается от температуры в основании ребра..Тепловая расчетная схема испарителя представлена на фиг.7. На ее основе математическая модель описывается линейным уравнением теплопроводностиСк Ъ - = Ьс( - + - + - -), 1=1,2 (13).(Я СТ 1 ДТ С 2 Тс 1 г (г 2 г ог д 2Используя численный метод решения, получим результаты перепада температуры по толщине резиста вдоль радиуса. При расстоянии между ребрами более 4 мм перепад температур превышает 50 С, Расстояние между ребрами...

Номер патента: 1824457

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Бородин, Вербенко, Волков, Дмитриев, Моисеев

МПК: C23C 14/24

Метки: испаритель, многокомпонентных

...(2). Торцы края внутреннего стакана 2 и дно внешнего стакана 1 в исходном состоянии плотно примыкают друг к другу, образуя при этом камеру испарения и смешивания 5, Выходное отверстие 6 кольцевой формы образовано кольцевым зазором между стенками стаканов 1 и 2, Стенки внешнего стакана 1 нагреваются косвенным методом нагревателем 7.Испаритепь работает следующим образом, Конструкцию устанавливают в вакуумной камере вертикально и включаютнагреватель 7. При определенной температуре, зависящей от состава испаряемого материала 4 в камере испарения и смешивания 5, накапливаются пары испаряемого материала (фиг,2). При достаточном давлении паров вещества стакан 2 приподнимается и происходит разгерметизация камеры испарения и смешивания, Пары...

Номер патента: 1827399

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Манулик, Мовчан, Оноприенко, Ульянов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, покрытий

...В качестве основного покрытия на проволоку наносили следуоцие материалы: титан, никель, алюминий, диборид титана, карбид кремния и диоксид циркония.Для сравнения были изготовлены образцы проволоки по прототипу и по авторскому свидетельству М 783361. В этих случаях в первый кристаллизвтор загружался слиток ферроцерия или магния,В этих опытах все металлические слитки были предварительно переплавленц элекронным лучом в вакууме, а штабики керамики спрессованы и отожжены в вакууме. Сплав ферроцерий-алюминий выплавлялся порциями непосредственно в установке У 3-173 У, В качестве исходных материалов применяли чистый аломиний и ферроцерий марки МЦ - 40 по ТУ 48 - 4-280-73. Химический. Состав ферроцерия был следующим: ( ,4), Се 52,8; Ее 2,1; Х РЗМ...

Номер патента: 2000356

Опубликовано: 07.09.1993

Авторы: Андреева, Василенко, Ивашов, Киселева, Степанчиков

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...испарение веществараспыляемого стержня, что и позволяет достичь повышения равномерности распыления испаряемого вещества,Сопоставительный анализ заявляемогоиспарителя для вакуумных установок с г ро2000356 Составитель Л.АндрееваТехред М,Моргентал Корректор Н,Милюкова Редактор Заказ 3066 Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж. Раушская наб . 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент" г Ужгород ул.Гагарина 101 чтотипом показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники, позволило выявить в них совокупность признаков, отличающих заявляемое рещение от...

Номер патента: 2005096

Опубликовано: 30.12.1993

Авторы: Алексеев, Быковский, Голота, Кривошеев

МПК: C01G 23/02, C23C 14/24

Метки: вакуумного, испарения, оксида, основе, титана

...истационарного плавления с постепеннымвыводом расплава иэ эоны индукционногонагрева.По отношению к прототипу у заявляемо 20 го изобретения имеются следующие отличительные признаки,Использование монооксида или металлического титана в смеси исходных материалов в качестве стартового материала,25 обеспечивающего возможность получениярасплава при прямом высокочастотном нагреве.Плавление смеси исходных материаловпрямым высокочастотным нагревом в холодном контейнере в режимах стартового истационарного плавления и с постепеннымвыводом расплава из зоны индукционногонагрева, обеспечивающее снятие внутренних.напряжений в плаве материала и пол 35 учение гранул заданного размера,благодаря чему стабилизируется процессиспарения, материал не...

Номер патента: 1737924

Опубликовано: 30.03.1994

Авторы: Власов, Морозов, Толшмяков, Холкин, Щедрин

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, градиентом, плотности, покрытия

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ С ГРАДИЕНТОМ ПЛОТНОСТИ В ВАКУУМЕ , включающий последовательный нагpев одним электpонным лучом электpонно-лучевого испаpителя с отклоняющей магнитной системой двух pазноpодных матеpиалов, испаpение этих матеpиалов и конденсацию паpовых потоков на подложке, отличающийся тем, что, с целью pасшиpения технологических возможностей за счет обеспечения возможности плавно изменять плотность наносимого покpытия по ноpмали к повеpхности подложки, испаpение каждого матеpиала ведут с пеpеменной интенсивностью путем изменения вpемени воздействия электpонного луча на каждый матеpиал, пpи этом вpемя воздействия на матеpиал опpеделяют из выpаженияt < ...

Номер патента: 1584433

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Грицкевич, Зыль, Точицкий

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, осаждения, пленок

СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, включающий испарение осаждаемого материала в тигле, инжекцию пара в вакуум с образованием кластеров, их ионизацию, ускорение и конденсацию на подложке, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, перед инжекцией пара в вакуум внутреннюю полость тигля герметично соединяют с внутренней полостью замкнутой инжекционной камеры, затем внутреннюю полость тигля отсекают от инжекционной камеры и осуществляют сжатие пара.

Номер патента: 1565065

Опубликовано: 15.09.1994

Автор: Ряхин

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, напыления, резистивного

СПОСОБ НАПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ РЕЗИСТИВНОГО МАТЕРИАЛА, включающий формирование на вольфрамовом испарителе в виде керна с навитой спиралью навески испаряемого материала, содержащего двуокись кремния и окись алюминия, нагрев испарителя электрическим током величиной 62-66А в течение 20-40 с, снижение тока до нуля и выгрузку изделий, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности процесса за счет повторного использования вольфрамового испарителя при сохранении качества напыляемых резистивных пленок, после выгрузки изделий через испаритель пропускают электрический ток величиной 64-76А в течение времени, достаточного для удаления остатков испаряемого материала и снижают ток до нуля в течение 30-300 с по линейному закону.

Номер патента: 663198

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Арустамов, Кельберт, Чистяков, Эстерлис

МПК: C23C 14/24, C23C 14/34

Метки: испаритель, легкоплавких, металлов, электродуговой

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ЛЕГКОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ, содержащий катод из тугоплавкого металла, анод и поджигающий электрод, отличающийся тем, что, с целью обеспечения непрерывности работы устройства, катод выполнен в виде двух разновысоких и соосно расположенных стаканов, в нижней части боковой поверхности внутреннего стакана находятся отверстия, служащие для подачи испаряемого материала.

Номер патента: 699813

Опубликовано: 27.06.1995

Автор: Ломовцев

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуум, загрузки

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМ, содержащее загрузочную камеру с крышкой, кинематически соединенной с приводом, и клапан напуска воздуха, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства в работе, клапан напуска воздуха кинематически соединен с приводом крышки.

Номер патента: 1468009

Опубликовано: 10.09.1995

Автор: Данилов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ по авт. св. N 1307887, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет повышения его равномерности, оно снабжено пальцем с шариком на торце, установленным радиально на конце вала, а во втулке выполнен фигурный паз, при этом шарик установлен с возможностью контактирования со стенками фигурного паза.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что стенки фигурного паза образованы двумя одинаковыми втулками-копирами, установленными оппозитно.

Номер патента: 1077334

Опубликовано: 27.12.1995

Авторы: Левченко, Тарасов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, пленок

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, содержащее подложкодержатель и испаритель направленного действия с выходным каналом, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения производительности, выходной канал выполнен в виде многоканального коллиматора, подложкодержатель расположен от коллиматора на расстояниигде l длина канала;d диаметр канала;b расстояние между соседними каналами.

Номер патента: 1685101

Опубликовано: 20.04.1996

Авторы: Кизельбаш, Нагайцев

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ преимущественно на детали газотурбинных двигателей и инструментальные пластины, включающий создание рабочего давления 10-1 Па в камере обработки, вращение обрабатываемых изделий на диске-держателе с угловой скоростью 0,4 с-1 и конденсацию парового потока на изделия со скоростью 20 нм/мин при ускоряющем напряжении 1,0 кВ и плотности тока 3 мА/см2, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, изделия дополнительно вращают вокруг оси, нормальной проекции изделия на плоскость, причем за один оборот диска-держателя изделия изменяют направление вращения кратно числу .

Номер патента: 1662127

Опубликовано: 20.11.1999

Авторы: Лубышев, Мигаль

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нагрева, подложек

Устройство для нагрева подложек в вакууме преимущественно к установкам молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащее корпус с размещенными в нем нагревателем и держателем подложек, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения однородности температурного профиля на подложках, нагреватель снабжен тепловыравнивающими пластинами из пиролитического нитрида бора и размещен между ними, при этом плоскости спайности пластин параллельны нагревателю, а толщина каждой пластины менее 4 мм.

Номер патента: 1561548

Опубликовано: 27.12.1999

Авторы: Воскресенский, Перова, Шкурко

МПК: C23C 14/24, C23C 14/54

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее подложкодержатель, испаритель в виде тигля, заслонку, установленную между испарителем и подложкодержателем, и датчик проводимости наносимого покрытия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок и повышения коэффициента использования материала покрытия, датчик проводимости установлен на заслонке со стороны испарителя, при этом датчик проводимости выполнен длиной рабочего участка, не превышающей диаметра тигля, и установлен по оси тигля.

Номер патента: 1483973

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Ирков, Ковалев, Максаков, Пестов, Ткаченко

МПК: C23C 14/24, C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассетодержатель с кассетами, подложкодержатель, установленный в кассетах, и механизм поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, расширения функциональных возможностей и повышения производительности, кассетодержатель снабжен двумя проушинами и одним подпружиненным фиксатором для каждой кассеты, кассета снабжена роликом, рамками и двумя опорами, входящими в проушины кассетодержателя, причем кассета установлена с возможностью углового перемещения относительно кассетодержателя, при этом каждый подложкодержатель установлен в рамке со смещением центра тяжести относительно оси поворота, а механизм поворота снабжен...

Номер патента: 685070

Опубликовано: 20.11.2005

Авторы: Абросимов, Булатов, Полетаев, Шилов

МПК: C23C 10/34, C23C 14/24

Метки: вакууме, диффузионного, металлами, насыщения

Способ диффузионного насыщения изделий металлами в вакууме путем переноса паровой фазы испаряемого металла и повышения давления в рабочем объеме при температуре интенсивного насыщения, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения качества изготавливаемых изделий, при температуре интенсивного насыщения давление повышают до 1·10-2-10 мм рт.ст.

Номер патента: 1114080

Опубликовано: 27.06.2007

Авторы: Балакир, Зотов, Кульга, Смирнов, Чавчанидзе

МПК: C23C 14/02, C23C 14/24

Метки: защиты, металлов, окисления, повышенных, температурах

Способ защиты металлов от окисления при повышенных температурах, включающий нагрев подложки и легирующих p-элементов в вакууме до образования паровой фазы и обработку подложки в среде легирующих элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения окислительной стойкости при повышенной температуре покрытия путем формирования диффузионных зон со структурой твердого раствора, подложку предварительно легируют d элементами из паровой фазы.

Номер патента: 1549103

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Аникеев, Кабалдин, Кожевников, Мокрицкий

МПК: C23C 14/24

Метки: катод, композиционных, нанесения, покрытий

Катод для нанесения композиционных покрытий преимущественно на металлорежущий инструмент, содержащий титан, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий, катод дополнительно содержит цирконий для покрытий, используемых при обработке простых конструкционных сталей, или бор для покрытий, используемых для обработки легированных конструкционных сталей, или молибден, диборид циркония, диборид ниобия, диборид тантала для покрытий, используемых для обработки титановых сплавов, при следующем соотношении компонентов соответственно, мас.%: цирконий 60-70, титан - остальное; бор 1-2, титан - остальное; молибден 40-45, диборид циркония 5-10, диборид ниобия 1-7, диборид тантала...

Номер патента: 1547365

Опубликовано: 27.12.2013

Авторы: Жоглик, Комлик, Мрочек, Романчук, Семенкевич

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, защитных, нанесения, основе, покрытий, соединений, титана

Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана, включающий ионно-плазменное распыление титана в реакционной среде при давлении в реакционной камере 5·10 -2 - 10-1 Па и осаждение соединений титана на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет увеличения их коррозионной стойкости, в качестве реакционной среды используют тетраэтоксисилан, который вводят в металлическую плазму.