Испаритель многокомпонентных материалов

(5)5 ТЕН осится к акууме окомпо ь изо онентн аслонку оивн технологии для получеентных мабретения; х материав виде рав- утреннего 00авиа ГОСУДАРСТВЕ+(ОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(56) Авторское свидетельство СССРМ 1491029, кл. С 23 С 14/24, 1987,(57) Использование: отн нанесения покрытий в ния тонких пленок мног териалов. Сущност испаритель многокомп лов содержит корпус и з новысотных внешне Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакуумной камере и может быть использовано для получения тонких пленок многокомпонентных материалов в микроэлектронике,Целью изобретения является улучшение качества наносимых покрытий.На фиг,1 изображен испаритель много- компонентных материалов в исходном состоянии; на фиг,2 - то же, в процессе накопления паров испаряемого материала; на фиг,3 - то же, в момент выпуска порции паров,Испаритепь многокомпонентных материалов состои из внешнего стакана 1 диаметРом О 1 внутр, обРазУюЩего коРпУс устройства, и коаксиально вставленного в него внутреннего стакана 2 диаметром О 2 вутр, выполняющего функции заслонки. стаканов, коаксиально установленных навстречу с возможностью возвратно-поступательного перемещения заслонки относительно корпуса, нагреватель, размещенный со стороны внешнего стакана, выходное отверстие, обРазованное кольцевым зазором между стенками стаканов, величина кольцевого зазора М и высота стаканов Н определяются из выражений 0.05М0,10; ОН20, где О - внешний диаметр внутреннего стакана, е центре дна внешнего стакана с внутренней стороны имеется цилиндрическое углубление, диаметр б и высота й которого определяются из выражения 0 О01 рнутр 1,4 О+ О 2 внутр, где 018 нУтР - внутренний диаметр внешнего стакана, мм; О 2,нУр - внутренний диаметр внутрен. него стакана, мм; т - толщина дна внешнего стакана, мм, 3 ил,Высота стаканов Н и величина кольцевого зазора М между стенками стаканов определяются иэ выражений (1). В дне внешнего стакана выполнено цилиндрическое углубление 3 диаметром б и высотой Н, в которое помещают навеску испаряемого материала 4, Диаметр с 1 и высота Ь углубления определяются иэ выражения (2). Торцы края внутреннего стакана 2 и дно внешнего стакана 1 в исходном состоянии плотно примыкают друг к другу, образуя при этом камеру испарения и смешивания 5, Выходное отверстие 6 кольцевой формы образовано кольцевым зазором между стенками стаканов 1 и 2, Стенки внешнего стакана 1 нагреваются косвенным методом нагревателем 7.Испаритепь работает следующим образом, Конструкцию устанавливают в вакуумной камере вертикально и включаютнагреватель 7. При определенной температуре, зависящей от состава испаряемого материала 4 в камере испарения и смешивания 5, накапливаются пары испаряемого материала (фиг,2). При достаточном давлении паров вещества стакан 2 приподнимается и происходит разгерметизация камеры испарения и смешивания, Пары многокомпонентного материала 4 через зазор 6 между стаканами 1 и 2 устремляются к подложке (фиг,З), При этом давление внутри камеры испарения и смешивания уменьшается, стакан 2 опускается на исходное место и отделяет камеру испарения и смешивания от выходного отверстия 6 (фиг.2). Через некоторое время давление паров испаряемов материала в камере испарения и смешивания вновь становится достаточным для ее разгерметизации, стакан-заслонка 2 вновь приподнимается и новая порция паров через выходное отверстие, образованное кольцевым зазором между стаканами 1 и 2, поступает к подложке. Далее процесс циклически повторяется, Иэ-за наличия углубления в дне внешнего стакана с помещенным в него испаряемым материалом практически исключается возможность попадания частиц испаряемого материала в зазор между торцами внутреннего стакана и дном внешнего стакана,Формула изобретенияИспаритель многокомпонентиых материалов, содержащий корпус и заслонку, выполненные в виде равновысотных внешнего5 и внутреннего стаканов, коаксиально установленных навстречу с возможностью возвратно-поступательного перемещениязаслонки относительно корпуса, нагреватель, размещенный со стороны внешнего10 стакана, выходное отверстие, образованноекольцевым зазором между стенками стаканов, а величина кольцевого зазора и высотастаканов выбраны из выражений005 М 0,10;15 0 Н 20,где М - величина кольцевого зазора, мм;Н - высота стаканов, мм;О - внешний диаметр внутреннего стакана, мм,20 о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения качества наносимых покрытий,в центре дна внешнего стакана с внутренней его стороны выполнено цилиндричеСкое углубление, диаметр и высота которогоопределяются иэ выражения;Об01 внутр 1,40+ 02 внутр,где б - диаметр углубления, мм;и - высота углубления, мм;О 1 ентр - внутренний диаметр внешнегостакана, мм;028 нутр - внутренний диаметр внутреннего стакана, мм;1 - толщина дна внешнего стакана, мм.1824451 иг,ис орректор Н. Корол едактор Заказ 2217 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5