C23C 14/24 — вакуумное испарение
Страница 3
Способ нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1431365
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Григорьев, Клецков, Кузьмичев, Мрочек, Янович
МПК: C23C 14/24
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий ионную очистку, диффузионное насыщение подложки материалом катода и осаждение материала катода на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет снижения уровня остаточных напряжений и повышения адгезии переходного слоя, перед осаждением материала катода проводят закалку подложки.