Испаритель для вакуумных установок

(57) Изобретенсения покрыт юл, М 33-3Л.Л., Васил Г.И., Степ свидетельсС 23 С 14/2ЕЛЬ ДЛЯ В нко Н нчико во СС 4, 197 КУУМ., ИвашовС,В.Р ЫХУ к области нане, в частности к ие относит й в вакуум омитст Российской Федерации о патентам и товарным знакам Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и экологически чистых технологических средах.Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыл яемый стержень с держателем, опирающийся на опорную площадку.Недостатком аналога является низкая равномерность распыления испаряемого вещества.Наиболее близким по технической сущности и достигаемом у результату к изобретению является испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыляемый стержень с держателем, причем стержень выполнен с конусным наконечником, свободно опирающимся острым концом на опорную площадку.Недостатком прототипа также является низкая равномерность распыления испаряемого вещества, так как со времени распыляемый конус вещества становится термическим испарителям для вакуумных установок. Испаритель для вакуумных установок содержит полый, цилиндрической формы испаряемый стержень, установленный торцом на опорной площадке, имеющей коническую форму, нагревательный элемент, установленный под опорной площадкой, стержень, связанный с держателем с воэможностью беззазорного осевого перемещения. 1 ил,усеченным и количество испаряемого вещества в единицу времени изменяется.В основу изобретения положена задачаповышения равномерности распыления испаряемого вещества.Задача решается тем, что стержень выполнен полым, цилиндрической формы,опорная площадка и контактирующий с нейторец стержня выполнены коническими, на- С)гревательный элементустановлен под опор- О 1ной площадкой, а стержень связан с О)держателем с возможностью беззазорного ( 1осевого перемещения, (ЯВведение в испаритель полого стержняс коническим торцом и конической опорнойплощадки, нагревательного элемента, установленного под.опорной площадкой, обеспечивает равномерное испарение веществараспыляемого стержня, что и позволяет достичь повышения равномерности распыления испаряемого вещества,Сопоставительный анализ заявляемогоиспарителя для вакуумных установок с г ро2000356 Составитель Л.АндрееваТехред М,Моргентал Корректор Н,Милюкова Редактор Заказ 3066 Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж. Раушская наб . 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент" г Ужгород ул.Гагарина 101 чтотипом показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники, позволило выявить в них совокупность признаков, отличающих заявляемое рещение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".На чертеже показан испаритель для вакуумных установок е разрезе.Испаритель для вакуумных установок содержит нагревательный элемент 1, распыляемый стержень 2 с держателем 3. Стержень опирается на опорную площадку 4. Он выполнен полым, цилиндрической формы, Опорная площадка 4 и контактирующий с ней торец 5 стержня 2 выполнены коническими, Нагревательный элемент 1 установлен под опорной площадкой 4. Стержень 2 связан с держателем 3 с возможностью осевого перемещения.Испаритель для вакуумных установок работает следующим образом.При подаче напряжения на нагревательный элемент 1 происходит нагрев опорной площадки 4 и постепенное расплавление и испарение вещества стержня 2, которое через полость в стержне попадает на обьект напыления, например подложку ( на чертеже не показана). При постоянном напряжении 0 сохраняется и постоянство испаренного вещества в единицу времени, При этом стержень 2постоянно контактирует с опорной площад 5 кой 4 и уменьшается по длине эа счет расплавления и испарения,. Беззазорноеосевое перемещение стержня 2 в держателе3 также обеспечивает равномерность распыления и строгую направленность потока10 испаряемого вещества вдоль оси стержнявверх.Испаритель целесообразно использовать при создании экологически чистого технологического оборудования электронной15 техники,Применение предложенного испарителя для вакуумных установок позволяет повысить равномерность распыленияиспа ряемого вещества.20 Формула изобретенияИспаритель для вакуумных установок,содержащий нагревательный элемент, распыляемый стержень с держателем, установленный на опорной площадке, о т л и ч а ю 25 щ и й с я т ем, что стержень выполнен полымцилиндрической формы и связан с держателем с возможностью беззазорного осевогоперемещения, опорная площадка и контактирующий с ней торец стержня имеют кони 30 ческую форму с вершиной конуса,направленной вверх вдоль вертикальнойоси стержня, нагревательный элемент расположен под опорной площадкой,