Патенты с меткой «раствор»
Раствор для электрохимического полирования металлов
Номер патента: 1429596
Опубликовано: 27.05.1999
Авторы: Воронина, Гак, Сироткин, Суворов, Шишкова
МПК: C25F 3/24
Метки: металлов, полирования, раствор, электрохимического
Раствор для электрохимического полирования металлов, преимущественно марганецсодержащих сплавов, содержащий ортофосфорную и серную кислоты, этиловый спирт, соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции C16-C20 и воду, отличающийся тем, что, с целью снижения шероховатости и повышения отражательной способности поверхности, он дополнительно содержит моющее средство "Ама" при следующем соотношении компонентов, мас.%:Серная кислота - 30 - 42Ортофосфорная кислота - 35 - 45Этиловый спирт - 9 - 20Соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции C16-C20 - 0,01 - 0,03Моющее средство "Ама" - 0,01 - 0,05Вода...
Раствор для электрохимического полирования металлических изделий
Номер патента: 747104
Опубликовано: 27.05.1999
Авторы: Воронина, Карязин, Кашеев, Филиппенко, Харитонов, Штанько
МПК: C25F 3/24
Метки: металлических, полирования, раствор, электрохимического
Раствор для электрохимического полирования металлических изделий, содержащий серную и ортофосфорную кислоты, этиловый спирт и органическую добавку, отличающийся тем, что, с целью повышения класса чистоты и степени блеска поверхности стальных изделий, в качестве органической добавки он содержит соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции C16-C20 при следующем соотношении компонентов, об.%:Серная кислота (уд.вес. = 1,84 г/см3) - 35 - 45Ортофосфорная кислота (уд.вес = 1,71 г/см3) - 35 - 45Этиловый спирт (уд.вес = 0,80 г/см3) - 15 - 25Соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции...
Раствор для электрохимического полирования металлов
Номер патента: 598363
Опубликовано: 27.05.1999
Авторы: Воронина, Карязин, Саратова, Штанько
МПК: C25F 3/16
Метки: металлов, полирования, раствор, электрохимического
Раствор для электрохимического полирования металлов, содержащий фосфорную кислоту, амид органической кислоты и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества полирования магнитных сплавов, содержащих ванадий, в качестве амида органической кислоты он содержит амид насыщенной карбоновой кислоты общей формулыгде R = H, C2H4OH;n = 8 - 16;при следующем соотношении компонентов, мас.%:Фосфорная кислота - 80 - 90Амид насыщенной карбоновой кислоты - 0,1 - 0,2Вода - Остальное
Буровой раствор
Номер патента: 1238377
Опубликовано: 27.05.1999
Авторы: Бадалов, Джанмамедов, Костенко, Левицкий, Смольнякова, Черняховский
МПК: C09K 7/02
Метки: буровой, раствор
Буровой раствор, содержащий глину, углещелочной реагент, гипан, углеводородную жидкость, хлорид натрия и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости до 255oC, он дополнительно содержит хлориды кальция и магния, двунатриевую соль этилендиаминотетрауксусной кислоты (трилон Б), гидроксид натрия и сульфат металла, выбранного из группы: медь, алюминий, железо, хром при следующем соотношении компонентов, мас.%:Глина - 3,0 - 15,0Углещелочной реагент - 0,65 - 0,75Гипан - 1,04 - 1,20Трилон Б - 0,020 - 0,125Гидроксид натрия - 0,6 - 0,8Хорид натрия - 28,0 - 30,0Хлорид кальция - 0,25 - 0,5Хлорид магния - 0,25 - 0,5
Раствор для извлечения серебряных комплексов из отфиксированного галогенсеребряного фотографического материала
Номер патента: 1110304
Опубликовано: 20.06.1999
Авторы: Биктеев, Бушева, Владыченко, Журба, Фридман
МПК: G03C 5/38
Метки: галогенсеребряного, извлечения, комплексов, отфиксированного, раствор, серебряных, фотографического
1. Раствор для извлечения серебряных комплексов из отфиксированного галогенсеребряного фотографического материала, содержащий воду, отличающийся тем, что, с целью повышения механической прочности набухшего слоя желатины, сокращения времени окончательной промывки и расхода промывной воды, он дополнительно содержит комплексную соль формулы в концентрации 4 10-3 - 6 10-2 моль/л.2. Раствор по п.1,...
Раствор для нанесения активной электродной массы
Номер патента: 919386
Опубликовано: 10.07.1999
Авторы: Голубков, Дубов, Красилова, Кубасов, Кутняшенко, Кутянин, Левенберг, Мазанько, Оленин, Тейшева
МПК: C25B 11/00
Метки: активной, массы, нанесения, раствор, электродной
Раствор для нанесения активной электродной массы на титановую основу электрода, содержащий оксихлорид рутения, четыреххлористый титан и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости электрода в процессе электросинтеза хлоратов при температурах выше 70oС при сохранении высокого выхода по току, он дополнительно содержит перекись водорода при следующих соотношениях ингредиентов, г/л:Оксихлорид рутения - 60 - 300Четыреххлористый титан - 360 - 700Перекись водорода (100%) - 2 - 10Вода - До 1 л
Катализаторный раствор для получения динитрата этиленгликоля
Номер патента: 396918
Опубликовано: 20.08.1999
Авторы: Ермаков, Лихолобов, Осипов
МПК: B01J 23/44, B01J 31/28
Метки: динитрата, катализаторный, раствор, этиленгликоля
1. Катализаторный раствор для получения динитрата этиленгликоля, содержащий соли палладия и азотную кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения активности и стабильности контактного раствора, в его состав введен органический растворитель, например диоксан.2. Катализаторный раствор по п.1, отличающийся тем, что органический растворитель введен в количестве от 20 до 80% от общего объема раствора.
Способ перевода оксалатов трансплутониевых элементов в азотнокислый раствор
Номер патента: 1822109
Опубликовано: 27.08.1999
Авторы: Гордеев, Дураков, Корнилов, Лебедев, Ядовин
МПК: C01G 56/00
Метки: азотнокислый, оксалатов, перевода, раствор, трансплутониевых, элементов
Способ перевода оксалатов трансплутониевых элементов в азотнокислый раствор, включающий обработку их раствором неорганического соединения и азотной кислотой, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и снижения потерь трансплутониевых элементов, в качестве неорганического соединения используют перекись водорода и перевод осуществляют раствором смеси перекиси водорода и азотной кислоты с концентрацией 2 - 5 моль/л.
Раствор для фосфатирования
Номер патента: 1324343
Опубликовано: 20.10.1999
Авторы: Капралов, Кутузов, Чумаевский
МПК: C23C 22/13, C23C 22/14
Метки: раствор, фосфатирования
Раствор для фосфатирования, содержащий фосфорный ангидрид, ионы цинка, никеля, нитратов, хлоратов, фтора, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости и толщины покрытия, он дополнительно содержит цитраконовый ангидрид при следующем соотношении компонентов, г/л:Фосфорный ангидрид - 4 - 27Ионы цинка - 6 - 28Ионы никеля - 0,04 - 0,3Ионы нитратов - 9 - 42Ионы хлоратов - 0,12 - 0,8Ионы фтора - 0,06 - 0,5Цитраконовый ангидрид - 0,005 - 0,06
Раствор для травления нихрома
Номер патента: 747105
Опубликовано: 20.10.1999
Авторы: Валяева, Любимова, Савенкова
МПК: C23F 1/28
Метки: нихрома, раствор, травления
Раствор для травления нихрома, содержащий раствор хлорного железа, азотную и соляную кислоты, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости травления и исключения шламообразования при травлении, он дополнительно содержит фтористый натрий при следующем соотношении компонентов, об.%:Раствор хлорного железа (уд. вес 1,42) - 65 - 75Соляная кислота (уд. вес 1,19) - 10 - 24Азотная кислота (уд. вес 1,4) - 3 - 5Фтористый натрий (4%-ный водный раствор) - 8 - 10
Абсорбирующий раствор сорбционных холодильных машин
Номер патента: 1215358
Опубликовано: 10.12.1999
Авторы: Князев, Орехов, Рязанов, Щербаков
МПК: C09K 5/02
Метки: абсорбирующий, машин, раствор, сорбционных, холодильных
Абсорбирующий раствор сорбционных холодильных машин, включающий бромид лития, хромовокислый литий, гидроксид лития и воду, отличающийся тем, что, с целью увеличения смачивающей способности без ухудшения рабочих характеристик, он дополнительно содержит тетрагидро-1,4-оксазин при следующем соотношении компонентов, мас.%:Бромид лития - 58,00 - 62,00Хромовокислый литий - 0,18 - 0,26Гидроксид лития - 0,10 - 0,19Тетрагидро-1,4-оксазин - 0,50 - 1,00Вода - Остальное
Раствор для фосфатирования стальных и чугунных поверхностей
Номер патента: 1369334
Опубликовано: 27.12.1999
Авторы: Капралов, Скворцова, Чумаевский
МПК: C23C 22/13, C23C 22/14
Метки: поверхностей, раствор, стальных, фосфатирования, чугунных
Раствор для фосфатирования стальных и чугунных поверхностей, содержащий ионы цинка, фосфата, нитрита, сульфата, хлората и никеля, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости покрытия, он дополнительно содержит моносахариды и 5-оксиметилфурфурол при следующем соотношении компонентов, г/л:Zn2+ - 16,1 - 22,1NO-3 - 9,2 - 14,6P2O5 - 11,8 - 17,8SO2-4 - 11,9 - 19,5Ni2+ - 0,11 - 0,20ClO-3 - 0,14 - 0,50Моносахариды - 0,0014 - 0,145-оксиметилфурфурол - 0,00007 - 0,007Вода - До 1 л
Раствор для фосфатирования металлической поверхности
Номер патента: 1407101
Опубликовано: 27.12.1999
Авторы: Краснова, Мазилов, Чумаевский
МПК: C23C 22/07
Метки: металлической, поверхности, раствор, фосфатирования
Раствор для фосфатирования металлической поверхности, содержащий соединения, образующие при диссоциации ионы цинка, магния, никеля, нитрата, фосфата, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости фосфатного покрытия в комплексе с лакокрасочным, он дополнительно содержит N- -оксиэтил)-иминодиуксусную или левулиновую кислоту при соотношении компонентов, г/л:Соединение, образующее ионы Zn2+ (в пересчете на Zn2+) - 0,8 - 4,6Соединение, образующее ионы Mg2+ (в пересчете на Mg2+) - 0,19 - 1,5Соединение, образующее ионы Ni2+ (в пересчете на...
Раствор для удаления фтора с поверхности изделий из цирконий-ниобиевых сплавов
Номер патента: 944389
Опубликовано: 20.02.2000
Авторы: Агапитов, Блохин, Головин, Зусманович, Кузьмин, Можаев, Огурцов, Фомин, Хрипунова
МПК: C23G 1/14
Метки: поверхности, раствор, сплавов, удаления, фтора, цирконий-ниобиевых
1. Раствор для удаления фтора с поверхности изделий из цирконий-ниобиевых сплавов, содержащий едкую щелочь, отличающийся тем, что, с целью полного удаления фтора с поверхности длинномерных изделий и предотвращения их наводороживания, раствор дополнительно содержит ниобий при следующем соотношении компонентов, г/л:Гидроокись натрия - 400 - 750Ниобий - 0,0018 - 7,52. Раствор по п.1, отличающийся тем, что он содержит ниобий в виде металлического порошка.3. Раствор по п.1, отличающийся тем, что он содержит ниобий в виде травильного шлама.
Поливочный раствор
Номер патента: 557584
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Кухарская, Окунев, Сопин, Тараканов, Христофоров
МПК: C08L 33/20
Метки: поливочный, раствор
Поливочный раствор, содержащий полиакрилонитрил или его сополимеры, диметилформамид и ацетон, отличающийся тем, что, с целью повышения пропускной способности фильтрата мембранами с сохранением высокой степени солезадержания при гиперфильтрации, он дополнительно содержит перхлорат магния, и поверхностно-активное вещество при следующем соотношении компонентов, мас.ч. :Полиакрилонитрил - 14 - 12Диметилформамид - 69 - 52Ацетон - 18 - 35Перхлорат магния - 3,6 - 5,2Поверхностно-активное вещество - 1 - 3
Буровой раствор
Номер патента: 1603762
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Гребнева, Ишмухаметова, Крысин
МПК: C09K 7/02
Метки: буровой, раствор
Буровой раствор, содержащий эфир целлюлозы, меламиноформальдегидную смолу и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения структурно-механических свойств бурового раствора в условиях полисолевой агрессии, в том числе по хлориду кальция до 40%, он дополнительно содержит сульфат алюминия при следующем соотношении компонентов, мас.%:Эфир целлюлозы - 0,16 - 0,55Меламиноформальдегидная смола - 1,6 - 3,0Сульфат алюминия - 0,06 - 0,08Вода - Остальное
Буровой раствор
Номер патента: 1195644
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Андреев, Ишмухаметова, Крысин, Крысина, Мавлютов, Опалев, Сухих, Утробин
МПК: C09K 7/02
Метки: буровой, раствор
Буровой раствор, содержащий полиакриламид, соль и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества раствора за счет снижения его фильтрации и вязкости, в качестве соли раствор содержит сернокислый алюминий или алюмокалиевые квасцы при следующем соотношении ингредиентов, мас.%:Полиакриламид - 0,05 - 0,3Сернокислый алюминий или алюмокалиевые квасцы - 0,005 - 0,02Вода - Остальное
Безглинистый буровой раствор и способ его приготовления
Номер патента: 1617947
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Крысин, Скороходова
МПК: C09K 7/02
Метки: безглинистый, буровой, приготовления, раствор
1. Безглинистый буровой раствор, содержащий полиакриламид, воду и добавку, отличающийся тем, что, с целью снижения фильтрации и вязкости бурового раствора при одновременном улучшении качества бурового раствора за счет повышения его антикоррозионных свойств и устойчивости к сульфидам, в качестве добавки он содержит побочный продукт производства диметилдиоксана - флотореагент Т-80 - и отход целлюлозно-бумажного производства - сульфитный упаренный щелок, а в качестве воды - минерализованную воду со степенью минерализации не менее 113,95 г/л, при следующем соотношении ингредиентов, мас. %:1%-ный раствор полиакриламида - 0,1 - 0,2Флотореагент Т-80 - 0,16 - 5,00Сульфитный...
Безглинистый буровой раствор для заканчивания скважин
Номер патента: 1391083
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Крысин, Крысина, Мавлютов, Скороходова
МПК: C09K 7/02
Метки: безглинистый, буровой, заканчивания, раствор, скважин
Безглинистый буровой раствор для заканчивания скважин, содержащий минерализованную воду, например пластовую воду, конденсированную сульфитно-спиртовую барду, кислоту, эфир целлюлозы и добавку, отличающийся тем, что, с целью повышения флокулирующих и пенообразующих свойств состава, он содержит в качестве кислоты щавелевую кислоту, в качестве эфира целлюлозы - модифицированную метилцеллюлозу, а в качестве добавки - кальцинированную соду и дополнительно содержит сернокислый алюминий и полиакриламид при следующем соотношении компонентов, мас.%:Полиакриламид - 0,11 - 0,12Сернокислый алюминий - 0,010 - 0,012Модифицированная метилцеллюлоза - 0,33 - 0,35Конденсированная...
Безглинистый буровой раствор
Номер патента: 1779040
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Горшенев, Гребнева, Илясов, Ишмухаметова, Крысин
МПК: C09K 7/02
Метки: безглинистый, буровой, раствор
Безглинистый буровой раствор, включающий оксиэтилцеллюлозу, порошкообразную водорастворимую меламиноформальдегидную смолу марки МРС-100C, 50%-ный раствор которой имеет вязкость 25 - 35 сПз и плотность 1,21 - 1,25 г/см3, пеногаситель, сульфат алюминия и воду, отличающийся тем, что, с целью обеспечения избирательной кольматирующей способности в отношении водной фазы проницаемых пластов и ускорения сроков проявления кольматирующих свойств, он содержит ингредиенты в следующем соотношении, мас.%:Оксиэтилцеллюлоза - 0,3 - 0,5Порошкообразная водорастворимая меламиноформальдегидная смола марки МРС-100C (50%-ный раствор ее имеет вязкость 25 - 35 сПз и плотность 1,21 - 1,25...
Раствор для обработки призабойной зоны пласта
Номер патента: 911939
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Вахитов, Вилисов, Опалев, Уголев, Шалинов, Южанинов
МПК: E21B 43/27
Метки: зоны, пласта, призабойной, раствор
Раствор для обработки призабойной зоны пласта, содержащий кремнефтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности обработки карбонатных и терригенно-карбонатных пород путем предотвращения выпадения в осадок фторидов кальция и магния, в раствор вводят шестиводный кристаллогидрат хлористого алюминия при следующем соотношении компонентов, мас.%:Кремнефтористоводородная кислота - 5 - 45Шестиводный кристаллогидрат хлористого алюминия - 0,04 - 0,35Вода - Остальное
Безглинистый буровой раствор
Номер патента: 1469835
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Крысин, Крысина, Скороходова
МПК: C09K 7/02
Метки: безглинистый, буровой, раствор
Безглинистый буровой раствор, содержащий полиакриламид, добавку и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения его антикоррозионных и флокулирующих свойств при одновременном снижении показателей фильтрации и вязкости, он дополнительно содержит ортофосфорную кислоту, а в качестве добавки отход титанового производства - твердые хлориды титанового производства - при следующем соотношении ингредиентов, мас.%:Полиакриламид - 0,1 - 0,4Твердые хлориды титанового производства - 70,1 - 1,0Ортофосфорная кислота - 0,005 - 0,100Вода - Остальное
Безглинистый буровой раствор для промывки скважин в солевых отложениях
Номер патента: 1233473
Опубликовано: 10.04.2000
Авторы: Анисимова, Крысин, Крысина, Мавлютов, Опалев
МПК: C09K 7/02
Метки: безглинистый, буровой, отложениях, промывки, раствор, скважин, солевых
Безглинистый буровой раствор для промывки скважин в солевых отложениях, содержащий хлористый магний, стабилизатор и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения ингибирующих свойств по отношению к глинистым породам и полного исключения его растворяющей способности по отношению к солевым породам при одновременном сокращении времени его приготовления, раствор дополнительно содержит хлорное железо, а в качестве стабилизатора полиакриламид при следующем соотношении компонентов, мас.%:Хлористый магний - 27,8 - 37,4Полиакриламид - 0,006 - 0,32Хлорное железо - 0,0007 - 0,08Вода - Остальное
Раствор для химического травления сплава железа
Номер патента: 1824935
Опубликовано: 27.05.2000
Авторы: Самылина, Синякова, Чусов
МПК: C23F 1/04
Метки: железа, раствор, сплава, травления, химического
1. Раствор для химического травления сплава железа, преимущественно для фрезерования стали Р18 на стали 07 16Н6Ш, содержащий смесь азотной и плавиковой кислот, отличающийся тем, что, с целью повышения селективности травления, азотная кислота (1,35 г/см3) и плавиковая кислота (1,13 г/см3) взяты в соотношении (2-3):1 об.ч.2. Раствор по п.1, отличающийся тем, что, с целью снижения шламообразования, он дополнительно содержит 20-30 г/л бихромата калия.
Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком
Номер патента: 1616419
Опубликовано: 10.06.2000
Автор: Нисневич
МПК: H01L 21/22
Метки: кремния, легирования, мышьяком, пленкообразующий, раствор
Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком, содержащий тетраэтоксисилан, этиловый спирт, ортомышьяковую кислоту и катализатор, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности поверхностного сопротивления и снижения разброса по глубине диффузионных слоев толщиной до 8 мкм, раствор дополнительно содержит воду, а в качестве катализатора используют азотную или соляную кислоты при следующем количественном соотношении компонентов, об.%:Тетраэтоксисилан - 16,0 - 26,0Этиловый спирт - 61,3 - 73,9Ортомышьяковая кислота - 3,1 - 6,8Азотная (соляная) кислота - 0,5 - 1,4Вода - 4,5 - 6,5
Варочный раствор для получения целлюлозы
Номер патента: 1817500
Опубликовано: 10.06.2000
Метки: варочный, раствор, целлюлозы
Варочный раствор для получения целлюлозы, содержащий сульфатный щелок и алифатический спирт, отличающийся тем, что, с целью сокращения расхода щелочи на варку при сохранении качественных показателей целлюлозы, в качестве алифатического спирта он содержит изобутиловый спирт при следующем соотношении компонентов, в об.%:Сульфатный щелок - 30 - 70Изобутиловый спирт - 30 - 70.
Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев
Номер патента: 1338709
Опубликовано: 10.06.2000
Автор: Нисневич
МПК: H01L 21/22
Метки: бором, диффузионных, легированных, пленкообразующий, раствор, слоев
1. Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев, содержащий растворитель, катализатор, соединение элементов IV группы и неорганическое соединение бора, отличающийся тем, что, с целью повышения уровня и однородности легирования толстых диффузионных слоев, раствор дополнительно содержит органическое соединение бора при массовом соотношении органического и неорганического соединения бора от 7,5 : 1 до 30 : 1 и следующем количественном соотношении компонентов, мас.%:Растворитель - 13 - 30Катализатор - 0,3 - 1,0Соединения бора - 28 - 55Соединение элементов IV группы - 19,7 - 412. Раствор по п.1, отличающийся тем, что в качестве...
Раствор для осаждения пленок алюмосиликатного стекла
Номер патента: 1127483
Опубликовано: 20.06.2000
Авторы: Колоскова, Локтаев, Нисневич
МПК: H01L 21/316
Метки: алюмосиликатного, осаждения, пленок, раствор, стекла
Раствор для осаждения пленок алюмосиликатного стекла, содержащий растворитель - этиловый спирт 96o, тетраэтоксисилан, катализатор и азотнокислый алюминий(гидрат) с концентрацией в растворителе более 0,15 г/см3, отличающийся тем, что, с целью увеличения маскирующей способности пленки при диффузии бора и фосфора с поверхностной концентрацией более 1019см-3, отношение массы азотнокислого алюминия к массе тетраэтоксисилана берут равным 1,5 - 4,0, а компоненты в следующем количественном соотношении, мас.%:Этиловый спирт 96o - 60 - 80Азотнокислый алюминий, гидрат - 15 - 32Тетраэтоксисилан - 5 - 10.
Раствор для химического осаждения никелевого контактного покрытия на кремниевые полупроводниковые структуры
Номер патента: 1369598
Опубликовано: 27.06.2000
Авторы: Зайцев, Пинчук, Рюмшин
МПК: H01L 21/28
Метки: контактного, кремниевые, никелевого, осаждения, покрытия, полупроводниковые, раствор, структуры, химического
Раствор для химического осаждения никелевого контактного покрытия на кремниевые полупроводниковые структуры, содержащий никель сульфаминовокислый, натрий гипофосфат и воду, отличающийся тем, что, с целью уменьшения переходного сопротивления контакта к кремнию р-типа проводимости с поверхностной концентрацией основных носителей ниже 5 1018 см-2 при сохранении стабильной скорости осаждения, он дополнительно содержит гидразинсодержащую соль при следующем соотношении ингредиентов, г/л:Никель сульфаминовокислый - 30 - 70Натрий гипофосфит - 5 - 35Гидразинсодержащая соль - 0,4 - 1,45Вода...
Донорный раствор для диффузионного легирования кремния
Номер патента: 1593507
Опубликовано: 27.06.2000
Автор: Нисневич
МПК: H01L 21/225
Метки: диффузионного, донорный, кремния, легирования, раствор
Донорный раствор для диффузионного легирования кремния, содержащий растворитель, тетраэтоксисилан, катализатор, ортофосфорную кислоту и соединение мышьяка, отличающийся тем, что, с целью повышения глубины диффузионных слоев до 100 мкм при сохранении высокой поверхностной концентрации, в качестве катализатора использована азотная кислота, а в качестве соединения мышьяка использована ортомышьяковая кислота, причем соотношение ортофосфорной и ортомышьяковой кислот составляет от 8:1 до 1:1 по объему при следующем соотношении компонентов, мас.%:Растворитель - 45 - 62Тетраэтоксисилан - 19,4 - 28,5Азотная кислота - 0,2 - 1,5Ортофосфорная и ортомышьяковая кислота - 18 - 31