Донорный раствор для диффузионного легирования кремния

Номер патента: 1593507

Автор: Нисневич

Описание

Донорный раствор для диффузионного легирования кремния, содержащий растворитель, тетраэтоксисилан, катализатор, ортофосфорную кислоту и соединение мышьяка, отличающийся тем, что, с целью повышения глубины диффузионных слоев до 100 мкм при сохранении высокой поверхностной концентрации, в качестве катализатора использована азотная кислота, а в качестве соединения мышьяка использована ортомышьяковая кислота, причем соотношение ортофосфорной и ортомышьяковой кислот составляет от 8:1 до 1:1 по объему при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Растворитель - 45 - 62
Тетраэтоксисилан - 19,4 - 28,5
Азотная кислота - 0,2 - 1,5
Ортофосфорная и ортомышьяковая кислота - 18 - 31

Заявка

4412284/25, 18.04.1988

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Нисневич Я. Д

МПК / Метки

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузионного, донорный, кремния, легирования, раствор

Опубликовано: 27.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1593507-donornyjj-rastvor-dlya-diffuzionnogo-legirovaniya-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Донорный раствор для диффузионного легирования кремния</a>

Похожие патенты