Донорный раствор для диффузионного легирования кремния
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1593507
Автор: Нисневич
Описание
Растворитель - 45 - 62
Тетраэтоксисилан - 19,4 - 28,5
Азотная кислота - 0,2 - 1,5
Ортофосфорная и ортомышьяковая кислота - 18 - 31
Заявка
4412284/25, 18.04.1988
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина
Нисневич Я. Д
МПК / Метки
МПК: H01L 21/225
Метки: диффузионного, донорный, кремния, легирования, раствор
Опубликовано: 27.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1593507-donornyjj-rastvor-dlya-diffuzionnogo-legirovaniya-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Донорный раствор для диффузионного легирования кремния</a>
Предыдущий патент: Способ формирования мезаструктур при изготовлении кремниевых высоковольтных диодов
Следующий патент: Устройство для суммирования одноразрядных чисел
Случайный патент: Устройство для обрезки ботвы корнеплодов на корню