Патенты с меткой «донорный»

Номер патента: 1040975

Опубликовано: 23.04.1985

Авторы: Локтаев, Нисневич, Пайвель, Щицель

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузии, донорный, источника, поверхностного, раствор

...тем,что донорный раствор для полученияповерхностного источника, содержащийрастворитель 1 тетраэтоксисилан, ката"лизатор и ортофосфорную кислоту со"держит компоненты в следующем количественном соотношении, мас.7:Растворитель 45-62Катализатор 0,2-1,5Тетраэтоксисилан 19,4-28,5Ортофосфорная кислота 70 -ная 18-25.Причем в качестве растворителяиспользуется смесь воды и этиловогоспирта при их объемном соотношенииот 1:30 до 1:6,Соотношение компонентов растворапозволяет получить пленку легированного окисла (после термодеструкции)толщиной около 1 мкм с содержаниемв нем окисла фосфора около 60 мас,Е,которая является практически неограниченным источником фосфора при создании дидйузионных слоев и+-типа толщиной до 200 мкм.В то же время...

Номер патента: 1770155

Опубликовано: 23.10.1992

Авторы: Найда, Смирнов

МПК: B41F 31/14

Метки: валик, донорный, печатный

...в виде набора шайб и шайб-прокладок, диаметрыкоторых равны, частично уплотнен термомеханическим воздействием или пропитан, например, связующим составом,Кроме того, предлагаемый печатный донорный валик отличается тем, что с цельа дозированной подачи краски на различных скоростях и защиты резервуарного слоя оболочка валика выполнена из полос, образующих чередующиеся левые и правые винтовые слои-обмотки на цилиндрической поверхности резервуарного слоя, выполненные, например, из фильтровальных или сепараторных пористо-проницаемых материалов, при этом зазоры между витками не превышают 0,5 мм,Таким образом, в предлагаемом техническом решении достигается новое конструктивно и технологически простое лэменение размеров сечений и длины...

Номер патента: 1593507

Опубликовано: 27.06.2000

Автор: Нисневич

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузионного, донорный, кремния, легирования, раствор

Донорный раствор для диффузионного легирования кремния, содержащий растворитель, тетраэтоксисилан, катализатор, ортофосфорную кислоту и соединение мышьяка, отличающийся тем, что, с целью повышения глубины диффузионных слоев до 100 мкм при сохранении высокой поверхностной концентрации, в качестве катализатора использована азотная кислота, а в качестве соединения мышьяка использована ортомышьяковая кислота, причем соотношение ортофосфорной и ортомышьяковой кислот составляет от 8:1 до 1:1 по объему при следующем соотношении компонентов, мас.%:Растворитель - 45 - 62Тетраэтоксисилан - 19,4 - 28,5Азотная кислота - 0,2 - 1,5Ортофосфорная и ортомышьяковая кислота - 18 - 31