Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев

Номер патента: 1338709

Автор: Нисневич

Описание

1. Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев, содержащий растворитель, катализатор, соединение элементов IV группы и неорганическое соединение бора, отличающийся тем, что, с целью повышения уровня и однородности легирования толстых диффузионных слоев, раствор дополнительно содержит органическое соединение бора при массовом соотношении органического и неорганического соединения бора от 7,5 : 1 до 30 : 1 и следующем количественном соотношении компонентов, мас.%:
Растворитель - 13 - 30
Катализатор - 0,3 - 1,0
Соединения бора - 28 - 55
Соединение элементов IV группы - 19,7 - 41
2. Раствор по п.1, отличающийся тем, что в качестве растворителя использована смесь этилового спирта с водой при объемном соотношении от 1,5 : 1 до 24 : 1 в пересчете на абсолютный спирт.
3. Раствор по пп.1 и 2, отличающийся тем, что в качестве органического соединения бора использован этиловый эфир ортоборной кислоты - триэтоксибор, а неорганического - борная кислота.
4. Раствор по пп.1 - 3, отличающийся тем, что в качестве соединения элементов IV группы использован этиловый эфир ортокремниевой кислоты - тетраэтоксисилан или его смесь с этиловым эфиром германиевой кислоты - тетраэтоксигерманий при объемном соотношении от 10 : 1 до 2 : 1.

Заявка

4015825/25, 31.01.1986

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Нисневич Я. Д

МПК / Метки

МПК: H01L 21/22

Метки: бором, диффузионных, легированных, пленкообразующий, раствор, слоев

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1338709-plenkoobrazuyushhijj-rastvor-dlya-polucheniya-legirovannykh-borom-diffuzionnykh-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев</a>

Похожие патенты