414652

414652 Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИСАНИЕИ ЗОБРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства -Заявлецо 19.05,71 1659944/26-25 1. Кл Н 011 41,00 с црисоедицецием заявки Ъе осударственный коми 1 етСаввта Министров СССРпо делам изебретенийи аткрытий Гриоритет - Опубликова 05.02.74, Бюллетень5 вация описания 16.12.74,У, 621.521 088,8 та опубли ЗАТЬ вторызобретеция М, Рейхрудель, Г. В, Смирцицкая и Л, Р, К Ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени Московс государственный университет им. М, В, Ломоносова явител ЪСОКОВАКУУМНЪЙ ОТКАЧНОЙ АГРЕГА ложеццого20 Изобретение отцосится к электронике и технике высокого вакуума.Известные высоковакуумцые откачцые агрегаты, содержащие, по крайней мере, два магциторазрядцых насоса (две ступени), соеди цепных последовательно, имеют низкую производительцость в интервале давлений высокого и сверхвысокого вакуума.Предложеццый агрегат позволяет повысить производительность откачки благодаря тому, 10 что ме.кду насосами установлена вращающаяся электропроводящая мишень, герметично разделяющая их, а отцошецие длины анода к его радиусу для магциторазрядцого насоса, непосредственно соединенного с откачиваемым 6 объемом, больше единицы, цо меньше двух, а для следующего магциторазрядцого пасоса это отцошецие больше двух.а чертеже показана схема предвакуумного агрегата.Откачиваемая вакуумная камера 1 соедицяется через высоковакуумцый вентиль 2 с камерой 3 агрегата, в которую помещен электро- проводящий цилиндр - мишень 4, извне приводимый во вращецие округ оси, совпадаю щей с осью камеры 3.Поверхность цилицдра-мишеци 4 сильно сорбируег газы. Г 1 ри некотором положеции цилицдра-мишеци ца части его ооковой поверхцости, ооращеццой в сторону камеры 1, зо сорбируются молекулы газа ц захватываются ионы, направляемые ца поверхность цилицдра-мишеци из магшторазрядцого насоса б. При повороте цилиндра-мишени сорбироваццые молекулы переносятся в объем, в котором размещен магциторазрядцый насос 6, Ионы из насоса 6 бомбардируют цоверхиость вращающегося цилицдра-мишеци 4 ц освооождают ее от сорбцроваццых молекул газа,Таким образом, вращающийся цилиндр является общей мишецью для двух магццторазразрядцых насосов 5 и 6. Для того чтобы иоццые потоки в Высоком вакууме охватывали всю часть поверхцостц цилиндра-мишеци 4, повернутую в сторону насоса б, отношение лины анода к его радиусу для насоса 5 больше единицы, цо меньше двух, а для насоса б - оольше двух. С этой целью ацодцые ячейки пасоса 6, в случае мцогоячеистого насоса, расположены в шахматном порядке.Освобождецньй газ удаляется цз насоса б мощным мап 1 цторазрядцым насосом 7, работающим в оптимальном режиме скорости откачки при давлении 10- 10лю рт. ст. Зецтиль 8 служит для предварительной откачки камеры 1. Обратное протекание газа из пасоса б в насос 5 через зазор между камерой 3 и цилиндром-мишенью 4 затруднено, так как радиус вцешцей поверхцости цилиндра 4 близок по величице к радиусу внутренней поектор А. Васильева Орловска Редакт ред исова Изд.477 Тираж 7 венного комитета Совета Министров и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, Зак ЦН аз 344 60 Подписное ИИПИ Государст СССР по делам изобретений 4/5 Типография4 Союзполиграфпрома, Москва, 121019, ул. Маркса - Энгельса, 143верхности камеры 3 (меньше на 0,2 лм), в то время как свободный пробег молекул газа при существующем здесь высоком вакууме очень велик - порядка сотен метров.Скорость вращения цилиндра-мишени 4 задается в соответствии со скоростью сорбции на его поверхности молекул газов. Режимы работы магниторазрядных насосов подбираются такими, что насос 5 способствует захвату молекул и инов газа мишенью, а насос б - освобождению их. С этой целью отношение длины анода к его радиусу для магниторазрядного васоса б выбрано меньшим, чем для насоса б.Диапазон рабочих давлений описанного высоковакуумного агрегата 10 з - 10 12 мм рт. ст. Напряжение на анодах 1500 - 6000 в; напряженность магнитных полей в магниторазрядных насосах 600 - 1200 э,5 Высоковакуумный откачной агрегат, содержащий, по крайней мере, два магниторазрядных насоса, соединенных последовательно, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности агрегата в интервале дав лений высокого и сверхвысокого вакуума,между насосами установлена вращающаяся электропроводящая мишень, герметично разделяющая их, а отношение длины анода к его радиусу для магниторазрядного насоса, непо средственно соединенного с откачиваемымобъектом, больше единицы, но меньше двух, а для следующего магниторазрядного насоса это отношение больше двух.