Магниторазрядный насос

(22) Заявлено 05,01.77 (21) ) 44108)/18-) 5 (51 М, Кл.Н 01 У 41 Г 1) оединением заявки Ю ГООУДВ РОтддниый наммт 6 оаата МинидтРОВ СОС ОО делам изодрдтдннй и Отиры 7 иЙ) Дата опубликования описания ОЗ,О,У П, Решетн НЫИ НАСОС: 4) МЛГНИТОр ого материежду ними 2.цин являтояние меьно, и оботкачки ет- ж- ес- гаповышен эконом Изобретение относится к. области ваку.умной гехники и может быть использовано в установках, требующих безмасляной откачки газов.Известны магниторазряднце насосы, в которых ячеистый анод, расположенйый в магнитном поле между катодами из геттерного материала, состоит из множества ячеек одного диаметра и, по крайней мере, одной ячейки большего размера, расположенной между первыми ячейками (.7 акое исполнение насоса не позволяет получить максимального значения скорости откачки с плошади, занимаемой анодом, потому что в этом случае только часть площади аьода, например занимаемая ячейками малого диаметра, работает эффективно при определенном давлении, в то время как другая часть плошади анода, занимаемая большими ячейками, работает неэффективно. Б результате суммарная скорость откачки со всей плошади анода получается меньше той, которую можно было бы получить, если бы анод был заполнен ячейками одного оптимально о размера. Известны также магниторазрядные насосы, в которых внутри герметического корпуса в магнитном поле размещены катоды 2 в виде двух пластин из геттерн ала н анод, расположенный м выполненный в виде спиралиНедостатком такой конструк ся то, что нельзя изменять расс ду витками анода, а следовател печивать наибольшую скорость зов. Целью изобретения вляетсстабилизации скорости откачкиности насоса,о Это достигается тем, что в предлагаемомнасосе анод выполнен в виде упругой спирали с перфорированными упругими перегородками между витками и снабжен устрой.ством для плавного изменения расстояния 5 между витками спирали.Устройство для плавного изменения расстояния между витками спирали выполнено в виде подвижной оси, иа одном конце которой установлено ограничительное кольцо, а другой ее конец выведен в атмосферу через вакуумный ввод вращения.Иа фнг. 1 показан описываемый ма; инто.разрядный насос, общий Вид с частичным вырезом стенки для лучшего показа кон.струкции; на фиг. 2 - разрез по А. - Л 25 на фнг. 1.Применение предлагаемого насоса позволяет повысить и стабилизировать скорость откачки в широком диапазоне давлений, что приведет к значительной экономии при эк- аа сплуатации насоса,.остввитель А. СенчихинТехред О. Луговая Корректор В. Паин Тираж 9 бО Подписное Редактор Л. БЗаказ 3918/42 амова НИИПИ Государствееюго комитета Совета Миидво делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж-Зб, Раушская наб., д мая, 4 город, ул. Про ал ППП Патента, г,3Магниторазрядный насос содержит гер. метический корпус 1, катоды 2, спиральный анод 3, подвижную ось 4, на которой с одного конца крепится ограничительное кольцо 5, а другой конец оси выведен через вакуумный ввод б вращения в атмосферу, ф.Магнитное поле в насосе создается при помощи катушки 7, Фланец 8 предназначен для крепления насоса к вакуумной системе, Между витками спирали находятся перфорированные упругие перегородки 9, кото рые одним концом прикреплены к спирали. Для изменения расстояния между виткамн спирали анода 3 при помощи герметичного ввода б вращают в ту или иную сторону подвижную ось 4. При этом упругие перегородки 9, образующие ячейки, будут складываться в случае раскручивания и уменьшать размеры ячейки, в случае скручивания распрямляться и увеличивать ее размеры. 1. Магниторазрядный насос, содержащийгерметический корпус, внутри которого в магнитном поле размещены катоды в виде двухпластин из геттерного материала, и анод,расположенный между ними, выполненныйв виде спирали, отличающийся тем, что, сцелью повышения стабилизации скорости откачки и экономичности насоса, анод выполнен в виде упругой спирали с перфорированными упругими перегородками между витка.ми и снабжен устройством для плавногоизменения расстояния между витками спирали,2. Насос по п. 1, отличающийся тем, чтоустройство для плавного изменения расстояния между витками спирали выполнено ввиде подвижной оси, на одном конце которой установлено ограничительное кольцо, адругой ее конец выведен в атмосферу черезвакуумный ввод вращения.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Патент США3.364.370, кл. 33 -17, 1968.2. Патент Франции1,506.644, кл.Г 04 1, 1966.