ZIP архив

Текст

4 П 54 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социапистицеских РеспубпикЗависимое от авт. свидетельства МеЗаявлено 15.Х 1.1971 (Ме 1713697/26-25)с присоединением заявки МеПриоритет Ы. Кл. Н 011 41/00 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытийОпубликовано 15.1.1974. Бюллетень Ке 2 УДК 621.382(088.8) Дата опубликования описания 08 Лт.1974 Авторизобретения В. Г. Шугаев Заявитель.ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к средствам безмасляной откачки,Известны электроразрядные насосы, содержащие корпус и систему электродов, образующих разрядную ячейку.Однако известные насосы не могут обеспечить безмасляную форвакуумную откачку газов в диапазоне давлений от атмосферного до 10 -мм рт, ст,Для обеспечения безмасляной форвакуумной откачки газов в диапазоне давлений от атмосферного до 10 -мм рт. ст. предлагаемый насос содержит, по крайней мере, две разрядные ячейки, соединенные последовательно и разделенные общими стенками с установленными в них выхлопными клапанами, осуществляющими направленное вдоль разрядных ячеек движение откачиваемого газа, а система электродов каждой ячейки содержит один электрод, соединенный с корпусом насоса, и два электрода, изолированных от корпуса, причем одни из изолированных от корпуса насоса электродов соединены с источником постоянного тока через конденсатор, а другие - с высоковольтным высокочастотным источником питания через коммутатор.На чертеже схематически показан описываемый насос. Насос состоит из корпуса 1, содержащего последовательно соединенные друг с другом разрядные ячейки 2, разделенные между собой общими стенками 3 с установленными в них выхлопными клапанами 4,осуществляющими направленное вдоль раз 5 рядных ячеек движение откачиваемого газа.Система 5 электродов каждой ячейки 2 содержит три электрода, один из которых 6 соединен с корпусом 1 насоса, второй 7 соединенс источником 8 постоянного тока через кон 10 денсатор 9 и укреплен в корпусе через изолятор 10, а третий электрод 11 соединен с высоковольтным высокочастотным источникомпитания 12 через коммутатор 13 и укреплен вкорпусе через изолятор 14. Насос соединен с15 откачиваемым объемом 15 и осуществляет выхлоп газов в атмосферу 16.При заряженном конденсаторе 9 через коммутатор 13 на электрод 11 поступает поджигающий высокочастотный высоковольтный им 20 пульс, вызывающий разряд между электродами 6 и 7. В момент разряда газ, находящийся в первой разрядной ячейке, мгновенно нагревается до 3000 К, что вызывает повышениедавления газа, открывается клапан 4 и часть25 нагретого газа поступает в соседнюю разрядную ячейку, в которой описанный процесс повторяется.Последовательность электрических импульсных разрядов в разрядных ячейках 2 насоса 1Зо задается коммутатором 13,411547 Предмет изобретения Составитель В, Мирошкина Техред 3. Тараненко Корректоры: Л. Корогод и Е, ДавыдкинаРедактор И, Шубина Заказ 1062/14 Изд, Мо 1187 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 Предложенный насос позволяет откачивать газы с атмосферного давления до 10 -мм рт. ст., обеспечивая безмасляную откачку и необходимое давление для запуска магниторазрядных насосов.Также устройство позволяет откачивать газы, насыщенные парами воды. Электроразрядный вакуумный насос, включающий корпус и систему электродов, образующих разрядную ячейку, отличающийся тем, что, с целью обеспечения безмасляной форвакуумной откачки в диапазоне от атмосферного давления до 10 - з мм. рт. ст., он содержит, по крайней мере, две разрядные ячейки, соединенные последовательно и разделенные общими стенками с установленными в них 5 выхлопными клапанами, осуществляющиминаправленное вдоль разрядных ячеек движение откачиваемого газа, а система электродов каждой ячейки содержит один электрод, соединенный с корпусом насоса, и два электрода, 10 изолированных от корпуса, причем одни изизолированных от корпуса насоса электродов соединены с источником постоянного тока через конденсатор, а другие - с высоковольтным высокочастотным источником питания че рез коммутатор.

Смотреть

Заявка

1713697, 15.11.1971

МПК / Метки

МПК: H01J 41/12

Метки: 411547

Опубликовано: 15.01.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-411547-411547.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">411547</a>

Похожие патенты